문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 어플리케이터는 상기 패터닝 디바이스의 클램프 영역을 습하게 하는가습기포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 가습기는상기지지체내포함되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 가습기는 상기 패터닝 디바이스의 클램프 영역으로 수증기를 포함한 가스를 안내하기 위해, 상기 지지체의 클램프 영역 내에유출구포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 가습기는 상기 유출구에 의해 제공된 상기 가스의 전체 또는 일부분을 안내하여 내보내기(guide away) 위해방출부유입구더포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 가습기는, 상기 유출구에 의해 제공된 가스의 양이 상기 방출부 유입구에 의해 안내되어 내보내지는 가스의 양과 전체적으로또는부분적구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 7]
제 5 항에 있어서,상기 지지체의 클램프는 진공 클램프(vacuum clamp)를 포함하고, 상기 방출부 유입구는상기클램프의진공흡입유입구인것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 8]
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 5 항에 있어서,상기 지지체의 클램프는 진공 클램프를 포함하고, 상기 지지체는 상기 패터닝 디바이스를 유지하는 경우에 상기 진공 클램프의 진공 챔버(vacuum chamber)를 형성하는 후퇴부(recess)를 포함하며, 상기 가습기는 상기 패터닝 디바이스가 상기 지지체로 운반되는 경우에 상기 진공 챔버를 실질적으로 채우도록 상기 유출구를 통해다량의상기가스제공하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 9]
제 2 항에 있어서,상기 가습기는 상기 리소그래피 장치의 스토리지 디바이스(storage device) 내에 포함되고, 상기 스토리지 디바이스는 상기 지지체로 운반되기 이전에상기패터닝디바이스저장하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 10]
제 2 항에 있어서,상기 가습기는 패터닝 디바이스 핸들링 로봇(patterning device handling robot) 내에 포함되고, 상기 패터닝 디바이스 핸들링 로봇은 스토리지 디바이스로부터 상기 지지체로상기패터닝디바이스운반하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 11]
제 2 항에 있어서,상기 방사선 빔에 의해 상기 패터닝 디바이스가 조사되는 경우, 전체적으로 또는 부분적으로 상기 패터닝 디바이스의 표면에 인접한 공간을 컨디셔닝하도록 구성된 컨디셔너를 더 포함하고, 상기 컨디셔너는 상기 공간 내에 실질적으로 습기 없는환경제공하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 12]
제 2 항에 있어서,전체적으로 또는 부분적으로 상기 패터닝 디바이스를 저장하기에 적합한 스토리지 디바이스 내의 공간을 컨디셔닝하는 스토리지 디바이스 컨디셔너를 더 포함하고, 상기 공간은 상기 방사선 빔에 의해 조사될 상기 스토리지 디바이스에 저장된경우의상기패터닝디바이스의표면인접하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
리소그래피 장치에서 가습기가 패터닝 디바이스의 클램프 영역으로 수증기를 포함한 가스를 안내하기 위해 지지체의 클램프 영역 내에 포함하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리소그래피 장치에서 가습기가 수증기를 포함한 가스를 안내하기 위해 지지체의 클램프 영역 내에 포함하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 가습기가 수증기를 포함한 가스를 안내하기 위해 지지체의 클램프 영역 내에 포함하는 구성 요소에 대한 언급을 추출한다.
- 상기 가습기는 상기 패터닝 디바이스의 클램프 영역으로 수증기를 포함한 가스를 안내하기 위해, 상기 지지체의 클램프 영역 내에유출구포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '가스를 안내하기 위해 클램프 영역 내에 포함하는 구성 요소'를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 지지체의 클램프 영역 내에유출구포함하는것
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4논리 통합
logical_integration가습기가 가스를 안내하는 목적을 달성하기 위해 지지체의 클램프 영역 내에 위치시키는 구성 요소는 '유출구'임을 확인한다.
- 상기 가습기는 상기 패터닝 디바이스의 클램프 영역으로 수증기를 포함한 가스를 안내하기 위해, 상기 지지체의 클램프 영역 내에유출구포함하는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '유출구'를 도출한다.
- 유출구
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6답변 생성
answer_generation추출된 단어를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 유출구
근거 (evidence)
- 상기 가습기는 상기 패터닝 디바이스의 클램프 영역으로 수증기를 포함한 가스를 안내하기 위해, 상기 지지체의 클램프 영역 내에유출구포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치
- 상기 지지체의 클램프 영역 내에유출구포함하는것
- 상기 가습기는 상기 패터닝 디바이스의 클램프 영역으로 수증기를 포함한 가스를 안내하기 위해, 상기 지지체의 클램프 영역 내에유출구포함하는것
- 유출구
최종 답변 (final_answer)
유출구
핵심 해석 (core_interpretation)
리소그래피 장치의 가습기가 패터닝 디바이스의 클램프 영역으로 수증기를 포함한 가스를 효과적으로 안내하기 위해, 지지체의 클램프 영역 내에 유출구를 포함하도록 구성하는 기술적 특징을 나타낸다.