문맥 (context)
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 높이 조절부는상기 공정 챔버의 외벽에서 상기 공정 챔버 내의 상기 히터 코일을 지지하는 지지바를 회전시켜 상기 지지바를 승하강시켜 상기 히터 코일의 높이를 조절하는, 높이 조절이 가능한 히터구비한유기금속 화학 기상 증착 장치.
제 1항에 있어서,상기 높이 조절부는상기 공정 챔버의 외벽에서 상기 공정 챔버 내의 상기 히터 코일을 지지하는 지지바를 회전시켜 상기 지지바를 승하강시켜 상기 히터 코일의 높이를 조절하는, 높이 조절이 가능한 히터구비한유기금속 화학 기상 증착 장치.
[청구항3]
제 1항에 있어서,상기 높이 조절부는상기 히터 코일을 지지하는 히터 서포트; 및상기 공정 챔버의 외벽에서 회전에 의하여 상기 히터 서포트를 승하강시켜 상기 히터 코일의 높이를 조절하는 높이조절 너트를 포함하는, 높이 조절이 가능한 히터구비한유기금속 화학 기상 증착 장치.
제 1항에 있어서,상기 높이 조절부는상기 히터 코일을 지지하는 히터 서포트; 및상기 공정 챔버의 외벽에서 회전에 의하여 상기 히터 서포트를 승하강시켜 상기 히터 코일의 높이를 조절하는 높이조절 너트를 포함하는, 높이 조절이 가능한 히터구비한유기금속 화학 기상 증착 장치.
[청구항4]
제 3항에 있어서,상기 히터 서포트는 세라믹 재질로 이루어지며,상기 높이 조절부는 상기 높이조절 너트를 상기 공정 챔버 외벽에 고정시키는 너트고정 브라켓을 더 포함하는, 높이 조절이 가능한 히터구비한유기금속 화학 기상 증착 장치.
제 3항에 있어서,상기 히터 서포트는 세라믹 재질로 이루어지며,상기 높이 조절부는 상기 높이조절 너트를 상기 공정 챔버 외벽에 고정시키는 너트고정 브라켓을 더 포함하는, 높이 조절이 가능한 히터구비한유기금속 화학 기상 증착 장치.
[청구항5]
제 3항에 있어서,상기 높이 조절부는상기 히터 서포트에 연결되어 상기 히터 서포트를 지지하는 서포트 지지부를 더 포함하며,상기 서포트 지지부의 하부에서는 나사산을 포함하며,상기 높이조절 너트의 회전에 의하여 상기 서포트 지지부가 승하강되어 상기 히터 코일의 높이를 조절하는, 높이 조절이 가능한 히터구비한유기금속 화학 기상 증착 장치.
제 3항에 있어서,상기 높이 조절부는상기 히터 서포트에 연결되어 상기 히터 서포트를 지지하는 서포트 지지부를 더 포함하며,상기 서포트 지지부의 하부에서는 나사산을 포함하며,상기 높이조절 너트의 회전에 의하여 상기 서포트 지지부가 승하강되어 상기 히터 코일의 높이를 조절하는, 높이 조절이 가능한 히터구비한유기금속 화학 기상 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
높이 조절부는 어떤 구성요소들로 이루어져 있으며, 높이조절 너트의 회전이 어떻게 히터 코일의 높이 조절로 이어지는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation높이 조절부의 구성요소와 높이 조절 메커니즘을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3, 4, 5에서 높이 조절부의 구성요소인 히터 서포트, 높이조절 너트, 너트고정 브라켓, 서포트 지지부를 추출한다.
- 상기 높이 조절부는상기 히터 코일을 지지하는 히터 서포트; 및상기 공정 챔버의 외벽에서 회전에 의하여 상기 히터 서포트를 승하강시켜 상기 히터 코일의 높이를 조절하는 높이조절 너트를 포함하는
- 상기 높이 조절부는 상기 높이조절 너트를 상기 공정 챔버 외벽에 고정시키는 너트고정 브라켓을 더 포함하는
- 상기 높이 조절부는상기 히터 서포트에 연결되어 상기 히터 서포트를 지지하는 서포트 지지부를 더 포함하며
-
3근거 선택
evidence_selection작동 원리와 관련된 서포트 지지부의 나사산 및 너트 회전 관계를 선택한다.
- 상기 서포트 지지부의 하부에서는 나사산을 포함하며
- 상기 높이조절 너트의 회전에 의하여 상기 서포트 지지부가 승하강되어 상기 히터 코일의 높이를 조절하는
-
4논리 통합
logical_integration높이조절 너트가 회전하면 나사산이 있는 서포트 지지부가 승하강하고, 이것이 연결된 히터 서포트를 움직여 코일 높이를 조절함을 통합한다.
- 상기 높이조절 너트의 회전에 의하여 상기 서포트 지지부가 승하강되어 상기 히터 코일의 높이를 조절하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation구성요소(히터 서포트, 높이조절 너트, 너트고정 브라켓, 서포트 지지부)와 작동 방식(너트 회전 -> 서포트 지지부 승하강 -> 히터 코일 높이 조절)을 정리한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 완성된 문장으로 답변을 생성한다.
근거 (evidence)
- 상기 높이 조절부는상기 히터 코일을 지지하는 히터 서포트; 및상기 공정 챔버의 외벽에서 회전에 의하여 상기 히터 서포트를 승하강시켜 상기 히터 코일의 높이를 조절하는 높이조절 너트를 포함하는
- 상기 높이 조절부는 상기 높이조절 너트를 상기 공정 챔버 외벽에 고정시키는 너트고정 브라켓을 더 포함하는
- 상기 높이 조절부는상기 히터 서포트에 연결되어 상기 히터 서포트를 지지하는 서포트 지지부를 더 포함하며
- 상기 서포트 지지부의 하부에서는 나사산을 포함하며
- 상기 높이조절 너트의 회전에 의하여 상기 서포트 지지부가 승하강되어 상기 히터 코일의 높이를 조절하는
최종 답변 (final_answer)
높이 조절부는 히터 코일을 지지하는 히터 서포트, 높이조절 너트, 너트고정 브라켓, 그리고 히터 서포트에 연결되어 이를 지지하는 서포트 지지부로 구성된다. 높이 조절 메커니즘은 나사산을 포함하는 서포트 지지부의 하부와 높이조절 너트 사이의 상호작용을 통해 이루어진다. 즉, 높이조절 너트가 회전하면 나사산에 의해 서포트 지지부가 승하강하게 되며, 이 서포트 지지부에 연결된 히터 서포트가 함께 움직임으로써 최종적으로 히터 코일의 높이가 조절된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
높이 조절부는 히터 서포트, 높이조절 너트, 너트고정 브라켓, 서포트 지지부를 포함하며, 너트의 회전력을 나사산을 통해 서포트 지지부의 승하강 운동으로 변환하여 히터 코일의 높이를 조절한다.