문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 원료는 테트라메톡시실란 또는 테트라에톡시실란더포함하는것을특징으로 하는절연막 성막용 원료.
[청구항3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 리튬의 알콕시드 화합물은 메톡시리튬, 에톡시리튬, n-프로폭시리튬, iso-프로폭시리튬, n-부톡시리튬, iso-부톡시리튬, sec-부톡시리튬 또는 tert-부톡시리튬인것을특징으로 하는절연막 성막용 원료.
[청구항5]
제 4 항에 있어서,상기 리튬의 카르복실산염은 포름산 리튬,아세트산리튬또는프로피온산리튬인것을특징으로 하는절연막 성막용 원료.
[청구항6]
제 4 항에 있어서,상기 유기용매는 에테르, 케톤, 에스테르, 알코올 및 탄화수소로부터 선택되는1종이상의유기용매인것을특징으로 하는절연막 성막용 원료.
[청구항7]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 원료 전량에 대한 리튬 알콕시드 화합물의 함유량이 5~8o중량인것을특징으로 하는절연막 성막용 원료.
[청구항8]
제 4 항에 있어서,상기 원료 전량에 대한 리튬의 카르복실산염의 함유량이 1~5o중량인것을특징으로 하는절연막 성막용 원료.
[청구항9]
제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 원료 전량에 대한 테트라메톡시실란 또는 테트라에톡시실란의 함유량이 5~75중량인것을특징으로 하는절연막 성막용 원료.
[청구항10]
제 1 항, 제 2 항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 원료는계면활성제더포함하는것을특징으로 하는절연막 성막용 원료.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
절연막 성막용 원료에 포함되는 리튬의 알콕시드 화합물의 구체적인 종류는 무엇이며, 원료 전량 대비 함유량은 어느 범위인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation리튬 알콕시드 화합물의 종류와 함유량 범위를 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 화합물의 종류를, 청구항 7에서 함유량 범위를 확인한다.
- 상기 리튬의 알콕시드 화합물은 메톡시리튬, 에톡시리튬, n-프로폭시리튬, iso-프로폭시리튬, n-부톡시리튬, iso-부톡시리튬, sec-부톡시리튬 또는 tert-부톡시리튬인것을특징으로 하는
- 상기 원료 전량에 대한 리튬 알콕시드 화합물의 함유량이 5~8o중량인것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 화합물 목록과 중량 범위 데이터를 선택한다.
- 메톡시리튬, 에톡시리튬, n-프로폭시리튬, iso-프로폭시리튬, n-부톡시리튬, iso-부톡시리튬, sec-부톡시리튬 또는 tert-부톡시리튬
- 5~8o중량
-
4논리 통합
logical_integration추출된 종류와 함유량 정보를 결합하여 문장을 구성한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation리튬 알콕시드 화합물의 종류는 메톡시리튬 등을 포함하며, 함유량은 5~80중량이다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 리튬의 알콕시드 화합물은 메톡시리튬, 에톡시리튬, n-프로폭시리튬, iso-프로폭시리튬, n-부톡시리튬, iso-부톡시리튬, sec-부톡시리튬 또는 tert-부톡시리튬인것을특징으로 하는
- 상기 원료 전량에 대한 리튬 알콕시드 화합물의 함유량이 5~8o중량인것을특징으로 하는
- 메톡시리튬, 에톡시리튬, n-프로폭시리튬, iso-프로폭시리튬, n-부톡시리튬, iso-부톡시리튬, sec-부톡시리튬 또는 tert-부톡시리튬
- 5~8o중량
최종 답변 (final_answer)
리튬의 알콕시드 화합물의 종류는 메톡시리튬, 에톡시리튬, n-프로폭시리튬, iso-프로폭시리튬, n-부톡시리튬, iso-부톡시리튬, sec-부톡시리튬 또는 tert-부톡시리튬이며, 원료 전량에 대한 함유량은 5~80중량이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
리튬 알콕시드 화합물의 구성 성분 목록과 그 함유량 수치를 파악하는 것이다.