문맥 (context)
[청구항1]
웨이퍼를 안착시켜 공정을 진행하는 반도체 소자 제조용 설비에 있어서
상기 웨이퍼에 대한 공정이 진행되는 공간을 제공하며 하부는 부분 밀폐되는 공정 장치
상기 공정 장치의 내부에 위치하여 상기 웨이퍼가 안착되는 공정 진행부
상기 공정 장치의 외측 상부에 설치되어 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 생기게 하는 상부 팬; 및
상기 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치되어 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한 하부 팬을 구비함을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 설비
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 상부 팬과 상기 공정 장치의 외측 상부 사이에 위치하며, 상기 상부 팬을 거친 공정 장치 외부의 공기를 필터링하기 위한필터더구비함을특징으로 하는반도체 소자 제조용 설비.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 상부 팬 및 상기 하부 팬은 서로 대응되게설치됨을특징으로 하는반도체 소자 제조용 설비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 소자 제조용 설비에서 상부 팬과 하부 팬은 각각 어떤 위치에 설치되며, 하부 팬의 설치 목적은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation상부 팬과 하부 팬의 설치 위치 및 하부 팬의 기능을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction상부 팬의 위치, 하부 팬의 위치, 하부 팬의 목적에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 공정 장치의 외측 상부에 설치되어 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 생기게 하는 상부 팬
- 상기 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치되어 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한 하부 팬
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 위치와 목적에 해당하는 구체적 문구를 선택한다.
- 상기 공정 장치의 외측 상부에 설치
- 상기 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치
- 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 상부 팬은 외측 상부에, 하부 팬은 하부의 개방된 부분에 위치하며 하부 팬은 공기 흐름을 외부로 유도함을 도출한다.
- 상기 공정 장치의 외측 상부에 설치
- 상기 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치
- 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한 하부 팬
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5결론 도출
conclusion_formulation상부 팬은 공정 장치 외측 상부에 설치되고, 하부 팬은 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치되며, 하부 팬의 목적은 내부 공기 흐름을 하부 외측으로 진행시키는 것이다.
- 상기 공정 장치의 외측 상부에 설치
- 상기 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치
- 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한 하부 팬
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 공정 장치의 외측 상부에 설치되어 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 생기게 하는 상부 팬
- 상기 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치되어 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한 하부 팬
근거 (evidence)
- 상기 공정 장치의 외측 상부에 설치되어 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 생기게 하는 상부 팬
- 상기 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치되어 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한 하부 팬
- 상기 공정 장치의 외측 상부에 설치
- 상기 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치
- 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한
- 상기 공정 장치 내부의 공기 흐름이 상기 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하기 위한 하부 팬
최종 답변 (final_answer)
상부 팬은 공정 장치의 외측 상부에 설치되며, 하부 팬은 공정 장치 하부의 부분 밀폐되지 않은 부분에 설치된다. 하부 팬의 설치 목적은 공정 장치 내부의 공기 흐름이 공정 장치 하부의 외측으로 진행되도록 하는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
상부 팬과 하부 팬의 설치 위치를 구분하고, 하부 팬이 공기 흐름을 외부로 유도하는 역할을 수행함을 이해하는 것이 핵심이다.