기상 증착장치 및 플라즈마 소스

[청구항3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제2전극은 상기 제1전극의 내측면의 뾰족한 부분에서 먼 곳에서 적어도 일부가 상기 절연체 외부노출된,기상 증착장치. [청구항4] 제1항 또는 제2항에 있어서,가스를 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 공급하도록 상기 중공에 연결된 제1유로; 및상기 제1유로를 통해 공급된 상기 가스가 상기 플라즈마와 반응하여 생성된 여기체를 피증착 구조체 상으로 배출하도록 상기 중공에 연결된 제2유로더 포함하는,기상 증착장치. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 제2전극은 상기 제1유로의 상기 중공 방향 끝단과 상기 제2유로의 상기 중공 방향 끝단의 중앙부에서 적어도 일부가 상기 절연체 외부노출된,기상 증착장치. [청구항6] 제4항에 있어서,상기 제2전극과 상기 절연체는 제1방향으로 연장된 형상을 가지며, 상기 제1방향은, 상기 제1유로를 통해 상기 가스가 공급되고 상기 제2유로를 통해 상기 여기체가 배출되는 방향교차하는,기상 증착장치. [청구항7] 제4항에 있어서,상기 제2전극과 상기 절연체는 제1방향으로 연장된 기둥 형상을 가지며, 상기 제1방향은, 상기 제1유로를 통해 상기 가스가 공급되고 상기 제2유로를 통해 상기 여기체가 배출되는 방향과 교차하고, 상기 제2전극은 상기 제1방향과 교차하는 방향의 양단에서 상기 절연체를 관통하여 상기 절연체 외부노출된,기상 증착장치. [청구항8] 제1항에 있어서,가스를 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 공급하도록 상기 중공에 연결된 제1유로; 및상기 제1유로를 통해 공급된 상기 가스가 상기 플라즈마와 반응하여 생성된 여기체를 피증착 구조체 상으로 배출하도록 상기 중공에 연결된 제2유로;를 더 포함하고, 상기 제2전극과 상기 절연체는 제1방향으로 연장된 기둥 형상을 가지며, 상기 제1방향은, 상기 제1유로를 통해 상기 가스가 공급되고 상기 제2유로를 통해 상기 여기체가 배출되는 방향과 교차하고, 상기 제2전극은 상호 평행하게 배치된 제1서브전극과 제2서브전극을 포함하며, 상기 제1서브전극의 적어도 일부와 상기 제2서브전극의 적어도 일부는 각각 상기 절연체 외부에 노출되되, 상기 제1서브전극의 노출된 부분과 상기 제2서브전극의 노출된 부분은 상기 절연체의 중심을 기준으로 상호 반대방향인,기상 증착장치. [청구항11] 제9항 또는 제10항에 있어서,상기 펌핑유닛은 상기 소스가스 주입유닛에 인접한 제1펌핑존과, 상기 반응가스 주입유닛에 인접한 제2펌핑존포함하는,기상 증착장치. [청구항12] 제11항에 있어서,상기 펌핑유닛은, 상기 제1펌핑존과 상기 제2펌핑존 사이에 배치되며 가스를 하방으로 주입할 수 있는 퍼징노즐더 포함하는,기상 증착장치. [청구항15] 제13항 또는 제14항에 있어서,상기 제2전극은 상기 제1전극의 내측면의 뾰족한 부분에서 먼 곳에서 적어도 일부가 상기 절연체 외부노출된,플라즈마 소스. [청구항16] 제13항 또는 제14항에 있어서,상기 제2전극은 상기 제1유로의 상기 중공 방향 끝단과 상기 제2유로의 상기 중공 방향 끝단의 중앙부에서 적어도 일부가 상기 절연체 외부노출된,플라즈마 소스. [청구항17] 제13항 또는 제14항에 있어서,상기 제2전극과 상기 절연체는 제1방향으로 연장된 형상을 가지며, 상기 제1방향은, 상기 제1유로를 통해 상기 가스가 공급되고 상기 제2유로를 통해 상기 여기체가 배출되는 방향교차하는,플라즈마 소스. [청구항18] 제13항 또는 제14항에 있어서,상기 제2전극과 상기 절연체는 제1방향으로 연장된 기둥 형상을 가지며, 상기 제1방향은, 상기 제1유로를 통해 상기 가스가 공급되고 상기 제2유로를 통해 상기 여기체가 배출되는 방향과 교차하고, 상기 제2전극은 상기 제1방향과 교차하는 방향의 양단에서 상기 절연체를 관통하여 상기 절연체 외부노출된,플라즈마 소스. [청구항19] 제13항에 있어서,상기 제2전극과 상기 절연체는 제1방향으로 연장된 기둥 형상을 가지며, 상기 제1방향은, 상기 제1유로를 통해 상기 가스가 공급되고 상기 제2유로를 통해 상기 여기체가 배출되는 방향과 교차하고, 상기 제2전극은 상호 평행하게 배치된 제1서브전극과 제2서브전극을 포함하며, 상기 제1서브전극의 적어도 일부와 상기 제2서브전극의 적어도 일부는 각각 상기 절연체 외부에 노출되되, 상기 제1서브전극의 노출된 부분과 상기 제2서브전극의 노출된 부분은 상기 절연체의 중심을 기준으로 상호 반대방향인,플라즈마 소스.