문맥 (context)
[청구항1]
반도체 제조 설비로 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급시스템에 있어서,
내부에 탈이온수를 저장하는 공간을 가지는 저장 용기와,
탈이온수 공급원으로부터 상기 저장 용기로 탈이온수를 공급하는, 그리고 펌프 및 밸브가 설치되는 공급라인과,
상기 저장용기로부터 상기 반도체 제조 설비로 탈이온수를 공급하는 공급관과,
상기 저장용기 내 탈이온수의 저장량을 측정하는 측정 부재와,
상기 측정 부재가 측정한 탈이온수의 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가면, 상기 저장 용기 내 탈이온수를 충진하도록 상기 펌프 및 상기 밸브를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈이온수 공급시스템
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 반도체 제조 설비는,이온주입공정수행하는것을특징으로 하는탈이온수 공급시스템.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 탈이온수는,상기 설비의 공정 진행시 발생되는 열을 냉각하기 위한냉각수인것을특징으로 하는탈이온수 공급시스템.
[청구항4]
제 1 항 또는 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는,상기 저장 용기로 탈이온수를 공급하는 횟수 및 상기 저장 용기에 탈이온수가 충진되는 시간이 기설정된 횟수 또는 시간을 벗어나면이를표시부재표시하는것을특징으로 하는탈이온수 공급시스템.
[청구항5]
제 4 항에 있어서,상기 공급관은,복수의 설비들로 탈이온수를 공급하는 복수의 라인들을 가지고,상기 제어부는,상기 각각의 라인들에 설치된밸브제어하는것을특징으로 하는탈이온수 공급시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
탈이온수 공급시스템에서 제어부가 펌프 및 밸브를 제어하기 위해 판단하는 기준 조건과, 제어부가 수행하는 구체적인 동작은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제어부의 동작 조건과 구체적인 제어 대상 및 동작 내용을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제어부의 역할, 측정 부재의 역할, 제어 조건 및 제어 대상을 추출한다.
- 상기 측정 부재가 측정한 탈이온수의 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가면
- 상기 저장 용기 내 탈이온수를 충진하도록 상기 펌프 및 상기 밸브를 제어하는 제어부
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3근거 선택
evidence_selection제어 조건인 '저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가는 상황'과 제어 동작인 '펌프 및 밸브를 통한 탈이온수 충진'을 선택한다.
- 상기 측정 부재가 측정한 탈이온수의 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가면
- 상기 저장 용기 내 탈이온수를 충진하도록 상기 펌프 및 상기 밸브를 제어하는 제어부
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4논리 통합
logical_integration측정 부재가 저장량을 측정하고, 그 값이 기준치 이하가 되면 제어부가 펌프와 밸브를 작동시켜 충진을 수행하는 논리 구조를 결합한다.
- 상기 측정 부재가 측정한 탈이온수의 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가면
- 상기 저장 용기 내 탈이온수를 충진하도록 상기 펌프 및 상기 밸브를 제어하는 제어부
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5결론 도출
conclusion_formulation제어 조건은 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가는 것이며, 동작은 펌프와 밸브를 제어하여 탈이온수를 충진하는 것이다.
- 상기 측정 부재가 측정한 탈이온수의 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가면
- 상기 저장 용기 내 탈이온수를 충진하도록 상기 펌프 및 상기 밸브를 제어하는 제어부
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 정리된 답변을 생성한다.
- 상기 측정 부재가 측정한 탈이온수의 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가면
- 상기 저장 용기 내 탈이온수를 충진하도록 상기 펌프 및 상기 밸브를 제어하는 제어부
근거 (evidence)
- 상기 측정 부재가 측정한 탈이온수의 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가면
- 상기 저장 용기 내 탈이온수를 충진하도록 상기 펌프 및 상기 밸브를 제어하는 제어부
최종 답변 (final_answer)
제어부가 동작하는 조건은 측정 부재가 측정한 탈이온수의 저장량이 기설정된 저장량 이하로 내려가는 경우이다. 이 조건이 충족되면 제어부는 저장 용기 내 탈이온수를 충진하기 위해 펌프 및 밸브를 제어한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
측정 부재를 통해 탈이온수 저장량을 모니터링하고, 기준치 이하 시 제어부가 펌프와 밸브를 조작하여 탈이온수를 자동으로 충진하는 시스템의 제어 로직을 설명함.