문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 관통 구멍의 측벽부에제1절연막구비하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 반도체 기판의 표면에 형성된 에피택셜층과, 상기 에피택셜층에 형성된 제2 도전형의 불순물 확산층과, 상기 불순물 확산층의 표층부터 상기 에피택셜층의 소정 깊이 위치까지 형성된 트렌치 홈과, 상기 트렌치 홈 내에 제2 절연막을 개재하여 도전층이 매설되어서 이루어지는 게이트 전극을 구비하고, 상기 소스층은, 상기 불순물 확산층의 표층에, 상기 트렌치 홈에인접형성되어있는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 드레인층은, 상기 제1 절연막 및 상기 제2 금속막을 피복하는제3금속막포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 드레인층은, 상기 제3 금속막을 피복하고, 상기 관통 구멍 내에 완전하게 혹은 불완전하게 충전된배선층포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 제2 금속막은 스퍼터법 또는 증착법에 의해 형성되는금속막으로이루어지는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 7]
제4항에 있어서,상기 제3 금속막은 배리어메탈막으로이루어지는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 관통 구멍의 측벽부에제1절연막구비하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 10]
제8항 또는 제9항에 있어서,상기 반도체 기판의 표면에 형성된 에피택셜층과,상기 에피택셜층에 형성된 제2 도전형의 불순물 확산층과, 상기 불순물 확산층의 표층부터 상기 에피택셜층의 소정 깊이 위치까지 형성된 트렌치 홈과,상기 트렌치 홈 내에 제2 절연막을 개재하여 도전층이 매설되어 이루어지는 게이트 전극을 구비하고, 상기 소스층은, 상기 불순물 확산층의 표층에, 상기 트렌치 홈에인접형성되어있는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 드레인층은, 상기 제1 절연막 및 상기 제2 금속막을 피복하는제3금속막포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 드레인층은, 상기 제3 금속막을 피복하고, 상기 관통 구멍 내에 완전하게 혹은 불완전하게 충전된배선층포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 13]
제8항에 있어서,상기 제2 금속막은 스퍼터법 또는 증착법에 의해 형성되는금속막으로이루어지는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 14]
제11항에 있어서,상기 제3 금속막은 배리어메탈막으로이루어지는것을특징으로 하는반도체 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제4항 및 제5항의 내용을 바탕으로, 드레인층이 포함하는 구성 요소들의 적층 또는 피복 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제4항과 제5항을 참조하여 드레인층을 구성하는 요소들의 적층 및 피복 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction제4항에서 드레인층은 제1 절연막 및 제2 금속막을 피복하는 제3 금속막을 포함함을 확인한다.
- 상기 드레인층은, 상기 제1 절연막 및 상기 제2 금속막을 피복하는제3금속막포함하는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection제5항에서 드레인층은 제3 금속막을 피복하고 배선층을 포함한다는 내용을 추출한다.
- 상기 드레인층은, 상기 제3 금속막을 피복하고, 상기 관통 구멍 내에 완전하게 혹은 불완전하게 충전된배선층포함하는것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration제1 절연막/제2 금속막 위에 제3 금속막이 피복되고, 그 위에 배선층이 피복되는 계층적 구조를 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation드레인층은 제1 절연막 및 제2 금속막을 피복하는 제3 금속막과, 해당 제3 금속막을 피복하는 배선층으로 구성됨을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 답변하기 위해 구성 요소 간의 피복 관계를 구조화하여 기술한다.
근거 (evidence)
- 상기 드레인층은, 상기 제1 절연막 및 상기 제2 금속막을 피복하는제3금속막포함하는것을특징으로 하는
- 상기 드레인층은, 상기 제3 금속막을 피복하고, 상기 관통 구멍 내에 완전하게 혹은 불완전하게 충전된배선층포함하는것을특징으로 하는
최종 답변 (final_answer)
드레인층의 구성 요소 간 피복 관계는 다음과 같다.
1. 제3 금속막: 제1 절연막 및 제2 금속막을 피복함.
2. 배선층: 상기 제3 금속막을 피복하며, 관통 구멍 내에 완전하게 또는 불완전하게 충전됨.
핵심 해석 (core_interpretation)
드레인층은 제1 절연막과 제2 금속막 위에 제3 금속막이 형성되고, 그 상부에 배선층이 적층되는 계층적 피복 구조를 가진다.