문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 제1 가스분사수단은 서셉터의 내부에 형성되는 가스유동경로와, 상기 가스유동경로와 연결되고 상기 서셉터의 상면에 형성되는 가스분사구포함하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
제1항에 있어서,상기 제1 가스분사수단은 서셉터의 내부에 형성되는 가스유동경로와, 상기 가스유동경로와 연결되고 상기 서셉터의 상면에 형성되는 가스분사구포함하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 가스분사구는 상기 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부형성되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
제2항에 있어서,상기 가스분사구는 상기 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부형성되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 제1 가스분사수단은 서셉터의 외주에 인접하여 형성되는 가스유동경로와, 상기 가스유동경로와 연결되고 상기 서셉터의 상면 가장자리에 형성되는 가스분사구포함하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
제1항에 있어서,상기 제1 가스분사수단은 서셉터의 외주에 인접하여 형성되는 가스유동경로와, 상기 가스유동경로와 연결되고 상기 서셉터의 상면 가장자리에 형성되는 가스분사구포함하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 다수의 제 1 및 제 2 인젝터는 상기 서셉터를 중심으로 대칭적배치되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
제1항에 있어서,상기 다수의 인젝터는 상기 서셉터를 중심으로 대칭적배치되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
[청구항6]
제1항 또는 제5항에 있어서,상기 제 2 가스분사수단은 길이가 짧은 하나 상기 다수의 제1 인젝터와, 길이가 긴 하나 상기 다수의 제2 인젝터포함하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
제1항 또는 제5항에 있어서,상기 다수의 인젝터는 길이가 짧은 하나 이상의 제1 인젝터와, 길이가 긴 하나 이상의 제2 인젝터포함하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 다수의 인젝터는 챔버의 측벽관통하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
제6항에 있어서,상기 다수의 제 1 및 제 2 인젝터는 상기 챔버의 측벽관통하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
[청구항8]
제7항에 있어서,상기인젝터가 챔버의 측벽을 관통하는 각도는, 길이가 긴 제2 인젝터와 길이가 짧은 제1 인젝터설치되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
제7항에 있어서,상기 다수의 제 1 및 제 2 인젝터가 상기 챔버의 측벽을 관통하는 각도설치되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
[청구항9]
제6항에 있어서,상기 다수의 인젝터는 챔버의 측벽을 수평관통하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
제6항에 있어서,상기 다수의 제 1 및 제 2 인젝터는 상기 챔버의 측벽을 수평관통하는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
[청구항10]
제9항에 있어서,상기인젝터는 상기 챔버 내부에서 일부분이 상부절곡되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
제9항에 있어서,상기 다수의 제 1 및 제 2 인젝터는 상기 챔버 내부에서 일부분이 상부절곡되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
[청구항11]
제10항에 있어서,상기 상부로절곡되는각도는, 길이가 짧은 제1 인젝터와 길이가 긴 제2 인젝터가 서로 다른 고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
제10항에 있어서,상기 상부로절곡되는각도는, 상기 다수의 제 1 및 제 2 인젝터가 서로 다른 고밀도 플라즈마 화학기상증착장비.
[청구항12]
제1항에 있어서,상기 다수의 인젝터의 각 끝단에는 분사방향이 상기 서셉터의 상면과 직각을 이루도록 노즐형성되는고밀도 플라즈마 화학기상증착장비
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제1 가스분사수단은 어떠한 구성요소로 이루어져 있으며, 가스분사구는 서셉터의 어느 부위에 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation제1 가스분사수단의 구성 요소와 가스분사구의 위치를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 제1 가스분사수단의 구성과 가스분사구의 위치를, 청구항 3에서 가스분사구의 상세 위치를 추출한다.
- 제1 가스분사수단은 서셉터의 내부에 형성되는 가스유동경로와, 상기 가스유동경로와 연결되고 상기 서셉터의 상면에 형성되는 가스분사구포함
- 상기 가스분사구는 상기 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부형성
-
3근거 선택
evidence_selection가스분사수단의 구성인 가스유동경로와 가스분사구, 그리고 가스분사구의 위치인 서셉터 상면 및 기판안치부 주위 경사부 문구를 선택한다.
- 서셉터의 내부에 형성되는 가스유동경로
- 상기 서셉터의 상면에 형성되는 가스분사구
- 상기 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부
-
4논리 통합
logical_integration제1 가스분사수단은 가스유동경로와 가스분사구로 구성되며, 가스분사구는 서셉터 상면의 기판안치부 주위 경사부에 위치함을 통합한다.
- 제1 가스분사수단은 서셉터의 내부에 형성되는 가스유동경로와, 상기 가스유동경로와 연결되고 상기 서셉터의 상면에 형성되는 가스분사구포함
- 상기 가스분사구는 상기 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부형성
-
5결론 도출
conclusion_formulation제1 가스분사수단은 가스유동경로와 가스분사구로 구성되며, 가스분사구는 서셉터 상면의 기판안치부 주위 경사부에 형성된다는 결론을 도출한다.
- 제1 가스분사수단은 서셉터의 내부에 형성되는 가스유동경로와, 상기 가스유동경로와 연결되고 상기 서셉터의 상면에 형성되는 가스분사구포함
- 상기 가스분사구는 상기 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부형성
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 제1 가스분사수단은 서셉터의 내부에 형성되는 가스유동경로와, 상기 가스유동경로와 연결되고 상기 서셉터의 상면에 형성되는 가스분사구포함
- 상기 가스분사구는 상기 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부형성
- 서셉터의 내부에 형성되는 가스유동경로
- 상기 서셉터의 상면에 형성되는 가스분사구
- 상기 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부
최종 답변 (final_answer)
제1 가스분사수단은 서셉터 내부에 형성되는 가스유동경로와, 해당 가스유동경로와 연결되어 서셉터 상면에 형성되는 가스분사구를 포함한다. 이때 가스분사구는 서셉터의 기판안치부 주위의 경사부에 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제1 가스분사수단의 구성 요소(가스유동경로, 가스분사구)와 가스분사구의 구체적 위치(서셉터 상면의 기판안치부 주위 경사부)를 정의함.