문맥 (context)
[청구항1]
안착부를 구비하고 히터 코일이 내장된 히터 블록을 포함하는 발열부; 및
상기 발열부의 안착부에 수납되는 것으로, 내부의 증착재가 배출되는 개구부와, 상기 개구부의 가장자리에서 외측을 향해 연장된 플랜지부를 갖는 도가니
를 포함하고,
상기 플랜지부는 적어도 상기 발열부의 히터 블록의 상단을 덮도록 연장되고,
상기 히터 블록의 상단에는 상기 도가니를 지지하는 지지 플레이트가 구비된 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 발열부에는 상기 도가니를 지지하는지지플레이트더구비된것을특징으로 하는증착 소스 유닛.
[청구항3]
제 1항에 있어서,상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된것을특징으로 하는증착 소스 유닛.
제 1항에 있어서,상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된것을특징으로 하는증착 소스 유닛.
[청구항4]
챔버와, 챔버 내에 이송되는 피증착체에 증착재를 증착시키는 증착 소스 유닛을 포함하는 증착장치로서, 상기 증착 소스 유닛은,
안착부를 구비하고 히터 코일이 내장된 히터 블록을 포함하는 발열부; 및
상기 발열부의 안착부에 수납되는 것으로, 내부의 증착재가 배출되는 개구부와, 상기 개구부의 가장자리에서 외측을 향해 적어도 상기 발열부의 히터 블록의 상단을 덮도록 연장된 플랜지부를 갖는 도가니
를 포함하고,
상기 히터 블록의 상단에는 상기 도가니를 지지하는 지지 플레이트가 구비된 것을 특징으로 하는 증착 장치
[청구항5]
제 4항에 있어서,상기 발열부에는 상기 도가니를 지지하는지지플레이트더구비된것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항6]
제 4항에 있어서,상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된것을특징으로 하는증착 장치.
제 4항에 있어서,상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된것을특징으로 하는증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증착 소스 유닛을 구성하는 주요 구성 요소는 무엇이며, 도가니의 플랜지부는 히터 블록 및 격벽과 어떠한 구조적 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation증착 소스 유닛의 구성 요소와 도가니 플랜지부의 구조적 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1과 3에서 발열부, 도가니, 격벽 및 플랜지부의 특징을 추출한다.
- 안착부를 구비하고 히터 코일이 내장된 히터 블록을 포함하는 발열부
- 내부의 증착재가 배출되는 개구부와, 상기 개구부의 가장자리에서 외측을 향해 연장된 플랜지부를 갖는 도가니
- 상기 플랜지부는 적어도 상기 발열부의 히터 블록의 상단을 덮도록 연장되고
- 상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된
-
3근거 선택
evidence_selection구성 요소(발열부, 도가니)와 플랜지부의 관계(히터 블록 상단 덮음, 격벽에 구비됨)에 관한 문구를 선택한다.
- 발열부; 및
- 도가니 를 포함하고
- 상기 플랜지부는 적어도 상기 발열부의 히터 블록의 상단을 덮도록 연장되고
- 상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된
-
4논리 통합
logical_integration발열부(히터 블록 포함)와 도가니(플랜지부 포함)가 기본 구성이며, 플랜지부는 히터 블록 상단을 덮고 격벽의 일부가 된다는 점을 연결한다.
- 발열부; 및
- 도가니 를 포함하고
- 상기 플랜지부는 적어도 상기 발열부의 히터 블록의 상단을 덮도록 연장되고
- 상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된
-
5결론 도출
conclusion_formulation증착 소스 유닛은 발열부와 도가니로 구성되며, 플랜지부는 히터 블록 상단을 덮는 동시에 격벽의 일부를 형성한다.
- 발열부; 및
- 도가니 를 포함하고
- 상기 플랜지부는 적어도 상기 발열부의 히터 블록의 상단을 덮도록 연장되고
- 상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 발열부; 및
- 도가니 를 포함하고
- 상기 플랜지부는 적어도 상기 발열부의 히터 블록의 상단을 덮도록 연장되고
- 상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된
근거 (evidence)
- 안착부를 구비하고 히터 코일이 내장된 히터 블록을 포함하는 발열부
- 내부의 증착재가 배출되는 개구부와, 상기 개구부의 가장자리에서 외측을 향해 연장된 플랜지부를 갖는 도가니
- 상기 플랜지부는 적어도 상기 발열부의 히터 블록의 상단을 덮도록 연장되고
- 상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된
- 발열부; 및
- 도가니 를 포함하고
- 상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된
최종 답변 (final_answer)
증착 소스 유닛은 히터 코일이 내장된 히터 블록을 포함하는 발열부와 도가니로 구성된다. 도가니의 플랜지부는 발열부의 히터 블록 상단을 덮도록 연장되어 있으며, 발열부를 둘러싸는 격벽의 적어도 일부분을 구성한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
증착 소스 유닛은 발열부와 도가니의 결합체이며, 도가니의 플랜지부가 히터 블록의 상단을 덮는 동시에 격벽의 일부 역할을 수행하는 구조를 가진다.