레이저 가공 장치

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 피가공면을 촬상하기 위하여, 적어도 일부가 상기 조사 광학계와 동축(同軸)에 배치된 촬상 광학계, 및상기 촬상 광학계로 투영되는 상을 취득하는 촬상부를 포함하고,상기 제1 광축과, 상기 피가공면으로부터 상기 촬상 광학계를 거쳐 상기 촬상부에 이르는 제2 광축이 동일한 평면상있는,레이저 가공 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기촬상부에서 취득된 화상에 화상 처리를 행하여, 상기 피가공면의 결함 추출을 행하고, 추출된 결함의 정보에 기초하여, 결함 부분을 제거하기 위해 상기 공간 변조 소자를 구동하는 변조 데이터를 생성하는 화상 처리부포함하는,레이저 가공 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기촬상부는, 광전 변환 요소가, 4개의 변으로 에워싸인 직사각형 영역 내에서 상기 4개의 변의 서로 직교하는 2변이 연장되는 방향으로 각각 배열된 촬상 소자를 가지고,상기 촬상 소자의 직사각형 영역의 상기 서로 직교하는 2변의 방향은, 상기 조사 광학계에 의해 상기 피가공면에 투영되는 상기 공간 변조 소자의 직사각형 영역의 상기 서로 직교하는 2변의 방향으로 합치하는 위치 관계배치되는,레이저 가공 장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 화상 처리부는, 상기 촬상부가 취득한 상을, 상기 제2 광축을 중심으로 하여 회전 변환하는 좌표 변환 수단을 포함하고,상기 좌표 변환 수단은, 상기 촬상부가 취득한 상을, 상기 조사 광학계에 의해 상기 피가공면에 투영되는 상기 공간 변조 소자의 직사각형 영역의 상기 서로 직교하는 2변의 방향의 상기 제2 광축에 대한 회전량회전시키는,레이저 가공 장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 레이저 광원, 상기 공간 변조 소자, 및 상기 조사 광학계를 일체로 유지하는 지지 부재, 및상기 지지 부재를, 상기 제1 광축 중, 상기 피가공면에 입사하는 광축 부분을 회전 중심축으로서 회전 가능하게 유지하는 회전 유지 기구더 포함하는,레이저 가공 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 회전 유지 기구는, 상기 촬상부를 상기 피가공면에 입사하는 광축 부분을 회전 중심축으로서 회전시키고, 피가공면 위의 촬상 영역 및 상기 촬상 영역과 대응하는 가공 가능 영역회전시키는,레이저 가공 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 화상 처리부는, 상기 결함 검출된 결함 부분을 포함하는 직사각형을 산출하고, 상기 직사각형의 장변 및 단변의 방향이 상기 촬상부의 장변 및 단변과 각각 평행으로 되는 회전각을 산출하고, 상기 회전 유지 기구를 상기 회전각에 따라 결함을 포함하는 직사각형으로 되도록 회전시키는 장치 제어부포함하는,레이저 가공 장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 회전 유지 기구의 회전의 각도를 입력에 의해 지시하기 위한 사용자 인터페이스포함하는,레이저 가공 장치. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 회전 유지 기구는, 수동으로 회전 가능한 회전스테이지로 이루어지는,레이저 가공 장치.