문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 분사유닛에는 일정 간격을 따라 연결홀이 구비되며, 상기 흡입유닛에는 상기 연결홀과 연통되는연통홀형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 분사유닛에는 일정 간격을 따라 연결홀이 구비되며, 상기 흡입유닛에는 상기 연결홀과 연통되는연통홀형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 흡입유닛은,상기분사유닛의중앙부구비되는것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 흡입유닛은,상기분사유닛의중앙부구비되는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 흡입유닛에는,상기 공정챔버와 연통하여 상기 공정챔버 내의 가스를 흡입하는흡입홀형성되는것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 흡입유닛에는,상기 공정챔버와 연통하여 상기 공정챔버 내의 가스를 흡입하는흡입홀형성되는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 흡입홀은,상기 서셉터에 안착된 기판의 개수에 대응된개수구비되는것을특징으로 하는박막 증착장치.
제4항에 있어서,상기 흡입홀은,상기 서셉터에 안착된 기판의 개수에 대응된개수구비되는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기 분사유닛의 내부에는,상기 서셉터에 안착된 기판의 개수에 대응된구획영역형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 분사유닛의 내부에는,상기 서셉터에 안착된 기판의 개수에 대응된구획영역형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막 증착장치의 흡입유닛은 어떤 구조적 특징을 가지며, 공정챔버 내의 가스를 흡입하기 위해 어떠한 구성을 포함하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation흡입유닛의 구조적 특징과 가스 흡입을 위한 구성 요소를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2, 3, 4에서 흡입유닛의 연통홀, 위치, 흡입홀에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 흡입유닛에는 상기 연결홀과 연통되는연통홀형성된것
- 상기 흡입유닛은,상기분사유닛의중앙부구비되는것
- 상기 흡입유닛에는,상기 공정챔버와 연통하여 상기 공정챔버 내의 가스를 흡입하는흡입홀형성되는것
-
3근거 선택
evidence_selection흡입유닛의 구조(연통홀, 위치)와 기능적 구성(흡입홀)에 해당하는 문구를 선택한다.
- 상기 흡입유닛에는 상기 연결홀과 연통되는연통홀형성된것
- 상기 흡입유닛은,상기분사유닛의중앙부구비되는것
- 상기 흡입유닛에는,상기 공정챔버와 연통하여 상기 공정챔버 내의 가스를 흡입하는흡입홀형성되는것
-
4논리 통합
logical_integration연통홀은 분사유닛의 연결홀과 연통되며, 흡입유닛은 분사유닛 중앙에 위치하고, 흡입홀을 통해 공정챔버의 가스를 흡입하는 구조임을 종합한다.
- 상기 흡입유닛에는 상기 연결홀과 연통되는연통홀형성된것
- 상기 흡입유닛은,상기분사유닛의중앙부구비되는것
- 상기 흡입유닛에는,상기 공정챔버와 연통하여 상기 공정챔버 내의 가스를 흡입하는흡입홀형성되는것
-
5결론 도출
conclusion_formulation흡입유닛은 분사유닛 중앙에 위치하며, 연결홀과 연통되는 연통홀 및 공정챔버와 연통되어 가스를 흡입하는 흡입홀을 갖는다.
- 상기 흡입유닛은,상기분사유닛의중앙부구비되는것
- 상기 흡입유닛에는 상기 연결홀과 연통되는연통홀형성된것
- 상기 흡입유닛에는,상기 공정챔버와 연통하여 상기 공정챔버 내의 가스를 흡입하는흡입홀형성되는것
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 완성된 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 흡입유닛에는 상기 연결홀과 연통되는연통홀형성된것
- 상기 흡입유닛은,상기분사유닛의중앙부구비되는것
- 상기 흡입유닛에는,상기 공정챔버와 연통하여 상기 공정챔버 내의 가스를 흡입하는흡입홀형성되는것
최종 답변 (final_answer)
흡입유닛은 분사유닛의 중앙부에 구비되며, 분사유닛의 연결홀과 연통되는 연통홀을 갖는다. 또한, 공정챔버와 연통하여 공정챔버 내의 가스를 흡입하기 위한 흡입홀을 포함한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
흡입유닛의 위치(분사유닛 중앙), 연결 구조(연통홀), 가스 흡입 기능(흡입홀)을 포함하는 구성적 특징을 설명함.