문맥 (context)
[청구항1]
웨이퍼가 안착되는 서셉터
상기 웨이퍼에 증착되는 증착물질을 포함한 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부; 및
상기 서셉터를 둘러싸도록 배치되며, 상기 반응가스를 배기하는 가스 배기부
를 포함하며,
상기 가스 배기부는 상기 서셉터와의 대향면에 적어도 하나의 경사면을 구비하는 증착 장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 가스 배기부는링형상인것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 가스 배기부는 중력 방향으로의 단면이 상기 경사면을 포함하는다각형인것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 다각형은 상기 다각형의 밑변과 직교하는수직면을적어도하나포함하는것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항5]
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,셉터, 상기 반응가스 공급부 및 상기 가스 배기부를 수용하는 챔버; 및상기 챔버를 덮는커버부더포함하는것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 커버부에는 상기 챔버 내부로 분위기가스를 공급하는분위기가스 공급부구비되어있는것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 경사면에는배기홀형성되어있는것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항8]
제7항에 있어서,상기 배기홀nan은상기분위기가스더배기하는것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항9]
제5항에 있어서,상기 배기홀은 상기 서셉터로부터의연장선과동일높이위치하는것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항10]
제5항에 있어서,상기 배기홀은 상기 서셉터로부터의연장선보다하부위치하는것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항11]
제1항에 있어서,셉터는 메인 플레이트 및 메인 플레이트 상에 배열되며 홈부에 수용된서브 플레이트포함하는것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항12]
제11항에 있어서,상기 홈부에 유동가스를 공급하는유동가스 공급부더구비되는것을특징으로 하는증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증착 장치에서 가스 배기부의 형상 및 단면 구조와 관련된 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation가스 배기부의 형상 및 단면 구조에 관한 청구항 내용을 추출하여 정리해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1, 2, 3, 4에서 가스 배기부의 구조적 특징을 추출한다.
- 상기 가스 배기부는 상기 서셉터와의 대향면에 적어도 하나의 경사면을 구비
- 상기 가스 배기부는링형상
- 상기 가스 배기부는 중력 방향으로의 단면이 상기 경사면을 포함하는다각형
-
3근거 선택
evidence_selection가스 배기부의 형상(링형상), 단면(다각형), 구성 요소(경사면, 수직면)와 관련된 문구를 선택한다.
- 링형상
- 중력 방향으로의 단면이 상기 경사면을 포함하는다각형
- 상기 다각형은 상기 다각형의 밑변과 직교하는수직면을적어도하나포함
-
4논리 통합
logical_integration가스 배기부는 링 형태이며, 단면은 경사면을 포함하는 다각형이고, 이 다각형은 수직면을 포함할 수 있다는 점을 결합한다.
- 링형상
- 중력 방향으로의 단면이 상기 경사면을 포함하는다각형
- 상기 다각형은 상기 다각형의 밑변과 직교하는수직면을적어도하나포함
-
5결론 도출
conclusion_formulation가스 배기부의 특징을 링형상, 경사면을 포함하는 다각형 단면, 수직면 포함 여부로 요약한다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 리스트 형식으로 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 가스 배기부는 상기 서셉터와의 대향면에 적어도 하나의 경사면을 구비
- 상기 가스 배기부는링형상
- 상기 가스 배기부는 중력 방향으로의 단면이 상기 경사면을 포함하는다각형
- 링형상
- 중력 방향으로의 단면이 상기 경사면을 포함하는다각형
- 상기 다각형은 상기 다각형의 밑변과 직교하는수직면을적어도하나포함
최종 답변 (final_answer)
가스 배기부의 구조적 특징은 다음과 같다.
1. 서셉터와의 대향면에 적어도 하나의 경사면을 구비한다.
2. 링 형상을 가진다.
3. 중력 방향으로의 단면이 경사면을 포함하는 다각형이다.
4. 해당 다각형은 밑변과 직교하는 수직면을 적어도 하나 포함할 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 배기부는 링 형태를 띠며, 중력 방향 단면이 경사면을 포함하는 다각형 구조를 가짐으로써 배기 효율을 고려한 설계를 보여준다.