문맥 (context)
[청구항2]
청구항 1에 있어서,상기 복수의 기판은 상기 서셉터의 중앙부를 중심으로 방사형배치된박막 증착 장치.
[청구항3]
청구항 2에 있어서,상기 밀폐 부재는 상기 반응 챔버의 상측에 마련되고, 상기 서셉터는 상기 반응 챔버의 하측마련되는박막 증착 장치.
[청구항4]
청구항 2에 있어서,상기 밀폐 부재는 상기 반응 챔버의 하측에 마련되고, 상기 서셉터는 상기 반응 챔버의 상측마련되는박막 증착 장치.
[청구항5]
청구항 2에 있어서,상기 밀폐 부재와 상기 서셉터 사이의 단면적이 상기 기판 상의 모든 영역동일한박막 증착 장치.
[청구항6]
청구항 3에 있어서,상기 밀폐 부재와 상기 서셉터 사이의 간격은 상기 반응 챔버의 중앙부로부터 외측점차 줄어드는박막 증착 장치.
[청구항7]
청구항 6에 있어서,상기 밀폐 부재는 상기 반응 챔버의 중앙부로부터 가장자리로 두께마련된박막 증착 장치.
[청구항8]
청구항 7에 있어서,상기 밀폐 부재는 챔버 덮개포함하는박막 증착 장치.
[청구항9]
청구항 8에 있어서,상기 밀폐 부재는 상기 챔버 덮개의 일면에 마련된 커버 부재더 포함하는박막 증착 장치.
[청구항10]
청구항 9에 있어서,상기 챔버 덮개는 상기 일면이 평탄하게 마련되고, 상기 커버 부재는 상기 반응 챔버의 중앙부로부터 가장자리로 두께마련된박막 증착 장치.
[청구항11]
청구항 5 또는 7에 있어서,셉터는 상기 반응 챔버의 중앙부로부터 가장자리로 두께마련된박막 증착 장치.
[청구항13]
청구항 12에 있어서,셉터와 상기 밀폐 부재 사이의 간격이 상기 서셉터 중앙부에서 외측 방향갈수록 감소하는박막 증착 장치.
[청구항14]
청구항 13에 있어서,셉터의 중앙부에서 상기 제 1 위치까지의 반경과 상기 제 1 위치에서의 상기 밀폐 부재까지의 간격의 곱이 상기 서셉터의 중앙부에서 상기 제 2 위치까지의 반경과 상기 제 2 위치에서의 상기 밀폐 부재까지의 간격의 곱동일한박막 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 6 및 청구항 13에 명시된 밀폐 부재와 서셉터 사이의 간격 변화 특성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation밀폐 부재와 서셉터 사이의 간격이 어떻게 변화하는지 청구항에서 찾아내야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 6과 청구항 13에서 간격에 관한 설명을 추출한다.
- 상기 밀폐 부재와 상기 서셉터 사이의 간격은 상기 반응 챔버의 중앙부로부터 외측점차 줄어드는
- 셉터와 상기 밀폐 부재 사이의 간격이 상기 서셉터 중앙부에서 외측 방향갈수록 감소하는
-
3근거 선택
evidence_selection간격의 변화 방향(중앙부에서 외측)과 변화 양상(감소/줄어듦)을 나타내는 문구를 선택한다.
- 중앙부로부터 외측점차 줄어드는
- 중앙부에서 외측 방향갈수록 감소하는
-
4논리 통합
logical_integration두 청구항의 내용이 일관되게 중앙에서 외측으로 갈수록 간격이 좁아짐을 의미함을 확인한다.
- 중앙부로부터 외측점차 줄어드는
- 중앙부에서 외측 방향갈수록 감소하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation밀폐 부재와 서셉터 사이의 간격은 반응 챔버의 중앙부에서 외측 방향으로 갈수록 점차 감소하거나 줄어드는 특성을 가진다.
- 중앙부로부터 외측점차 줄어드는
- 중앙부에서 외측 방향갈수록 감소하는
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 정리된 답변을 생성한다.
근거 (evidence)
- 상기 밀폐 부재와 상기 서셉터 사이의 간격은 상기 반응 챔버의 중앙부로부터 외측점차 줄어드는
- 셉터와 상기 밀폐 부재 사이의 간격이 상기 서셉터 중앙부에서 외측 방향갈수록 감소하는
- 중앙부로부터 외측점차 줄어드는
- 중앙부에서 외측 방향갈수록 감소하는
최종 답변 (final_answer)
밀폐 부재와 서셉터 사이의 간격은 반응 챔버의 중앙부(또는 서셉터의 중앙부)로부터 외측 방향으로 갈수록 점차 줄어들거나 감소하는 특성을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
밀폐 부재와 서셉터 사이의 간격이 중심부에서 주변부로 갈수록 좁아지는 구조적 특징을 설명함.