문맥 (context)
[청구항2]
제 1항에 있어서,셉터는 상기 기판을 지지하는 기판지지판과,상기 기판지지판의 테두리부를 지지하는 측벽과,상기 측벽을 지지하는 측벽지지판을 포함하며, 상기 복수의 히팅코일, 상기 복수의 양극블록 및 상기 음극블록은상기기판지지판과상기측벽지지판의사이배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항3]
제 2항에 있어서,중공이 형성되고 상기 챔버를 관통하여 상기 측벽지지판을 지지하며, 상기 서셉터가 회전되도록 하는 회전축을 더 포함하며, 상기 복수의 양극선 및 상기 음극선은 상기 중공을 통해상기복수의양극블록및상기음극블록각각연결되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항4]
제 3항에 있어서,상기 회전축과 상기 측벽지지판의 사이에 배치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항5]
제 4항에 있어서,상기 기밀부재는자성유체씰인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항6]
제 4항에 있어서,상기 회전축의 직경 및 상기 기밀부재의 직경은 상기 복수의 양극선 및 상기 음극선의 개수에 따라결정되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항7]
제 1항에 있어서,상기 복수의 히팅코일과 상기 복수의 양극블록 및 상기 음극블록의 사이에 배치되는복수의방열판더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항8]
제 1항에 있어서,상기 복수의 히팅코일은 상기 서셉터와 동심을 이루도록 배치되며, 상기 서셉터에는 상기 복수의 히팅코일에 대응되는 위치에복수개의상기기판지지되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항9]
제 1항에 있어서,상기 복수의 양극블록 및 상기 음극블록은 동(銅)을 포함하는전도체재질판상으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상 증착장치에서 서셉터를 구성하는 세부 요소는 무엇이며, 회전축은 서셉터 및 전극 요소들과 어떠한 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation서셉터의 구성 요소와 회전축의 역할 및 연결 구조를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2항에서 서셉터의 구성 요소를, 청구항 3항에서 회전축의 기능과 연결 구조를 추출한다.
- 셉터는 상기 기판을 지지하는 기판지지판과,상기 기판지지판의 테두리부를 지지하는 측벽과,상기 측벽을 지지하는 측벽지지판을 포함하며
- 상기 서셉터가 회전되도록 하는 회전축을 더 포함하며
- 상기 복수의 양극선 및 상기 음극선은 상기 중공을 통해상기복수의양극블록및상기음극블록각각연결되는
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3근거 선택
evidence_selection서셉터 구성(기판지지판, 측벽, 측벽지지판), 회전축의 기능(서셉터 회전, 측벽지지판 지지), 연결 방식(중공을 통한 전극 연결)에 관한 문구를 선택한다.
- 셉터는 상기 기판을 지지하는 기판지지판과,상기 기판지지판의 테두리부를 지지하는 측벽과,상기 측벽을 지지하는 측벽지지판을 포함하며
- 상기 서셉터가 회전되도록 하는 회전축을 더 포함하며
- 상기 복수의 양극선 및 상기 음극선은 상기 중공을 통해상기복수의양극블록및상기음극블록각각연결되는
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4논리 통합
logical_integration서셉터는 세 가지 부품으로 구성되며, 회전축은 중공을 통해 전극을 연결하면서 서셉터를 회전시키는 역할을 수행함을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation서셉터의 구성 요소와 회전축의 기능적/구조적 관계를 정리하여 답변을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 질문에 대한 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 셉터는 상기 기판을 지지하는 기판지지판과,상기 기판지지판의 테두리부를 지지하는 측벽과,상기 측벽을 지지하는 측벽지지판을 포함하며
- 상기 서셉터가 회전되도록 하는 회전축을 더 포함하며
- 상기 복수의 양극선 및 상기 음극선은 상기 중공을 통해상기복수의양극블록및상기음극블록각각연결되는
최종 답변 (final_answer)
서셉터는 기판을 지지하는 기판지지판, 기판지지판의 테두리부를 지지하는 측벽, 그리고 측벽을 지지하는 측벽지지판으로 구성된다. 회전축은 중공이 형성되어 측벽지지판을 지지하며, 서셉터가 회전되도록 하는 기능을 수행한다. 또한, 복수의 양극선 및 음극선은 이 회전축의 중공을 통해 각각의 양극블록 및 음극블록과 연결된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터의 물리적 구성 요소(기판지지판, 측벽, 측벽지지판)와 회전축의 구조적 역할(서셉터 회전 및 전극 연결 통로로서의 중공 제공)을 정의함.