문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기함체는 상호 간격을 가지며 각각 하면이 개방된 외부함체와 내부함체로 형성되고,상기 외부함체와 상기 내부함체 사이에는 단열재가충진된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제1항에 있어서,상기 가스 유입관은 소스가스 유입관 및 반응가스 유입관을 포함하고,상기 외부함체와 상기 내부함체 사이에는 단열재가 충진되며,상기 단열재에는 상기 히터, 상기 소스가스 유입관, 상기 반응가스 유입관 및 상기 가스 배출관이지지설치되는것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 단열재에는 히터, 냉각수 라인, 진공 흡입관, 소스가스 유입관, 반응가스 유입관 및 가스 배출관이지지설치된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제2항에 있어서,상기 단열재에는 냉각수 라인 및 진공 흡입관이더지지설치된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 외부함체와 상기 내부함체의 사이의 하단면에는 상기 히터, 상기 냉각수 라인, 상기 진공 흡입관, 상기 소스가스 유입관, 상기 반응가스 유입관 및 상기 가스 배출관과 연결된매니폴드설치된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제3항에 있어서,상기 외부함체와 상기 내부함체의 사이의 하단면에는 상기 히터, 상기 냉각수 라인, 상기 진공 흡입관, 상기 소스가스 유입관, 상기 반응가스 유입관 및 상기 가스 배출관과 연결된매니폴드설치된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 보트는,상면 테두리부측이 상기 매니폴드와 밀폐 결합되는 받침부;상기 받침부의 상면에 설치되고, 상기 내부함체의 내경 보다 작은 직경으로 형성되어 상기 함체의 내부에 삽입되는 원통 형상의 돌출부;상기 돌출부의 테두리부측을 따라 상호 간격을 가지면서 복수개 설치되며, 상기 기판의 테두리부측이 삽입 지지되는 복수의 지지홈이 각각 대응되게 형성된 지지바가지는것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제4항에 있어서,상기 보트는,상면 테두리부측이 상기 매니폴드와 밀폐 결합되는 받침부;상기 받침부의 상면에 설치되고, 상기 내부함체의 내경 보다 작은 직경으로 형성되어 상기 함체의 내부에 삽입되는 원통 형상의 돌출부;상기 돌출부의 테두리부측을 따라 상호 간격을 가지면서 복수개 설치되며, 상기 기판의 테두리부측이 삽입 지지되는 복수의 지지홈이 각각 대응되게 형성된 지지바가지는것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 돌출부는 회전가능하게 설치되고, 상기 돌출부의 내부에는보조히터설치되는것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제5항에 있어서,상기 돌출부는 회전가능하게 설치되고, 상기 돌출부의 내부에는보조히터설치되는것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항7]
제3항에 있어서,상기 소스가스 유입관 및 상기 반응가스 유입관의 일면에는 상기 함체의 내부로 소스가스 및 반응가스를 각각 토출하기 위한 복수의 토출공이 각각 형성되고,상기 가스 배출관의 일면에는 상기 함체의 내부로 토출된 소스가스 및 반응가스를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 복수의 흡입공이 형성되며,상기 토출공 및 상기 흡입공은, 상기 보트가 상기 함체에 결합되었을 때, 상기 지지바에 지지된 상호 인접하는상기기판과기판사이의간격각각위치되는것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제5항에 있어서,상기 소스가스 유입관 및 상기 반응가스 유입관의 일면에는 상기 함체의 내부로 소스가스 및 반응가스를 각각 토출하기 위한 복수의 토출공이 각각 형성되고,상기 가스 배출관의 일면에는 상기 함체의 내부로 토출된 소스가스 및 반응가스를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 복수의 흡입공이 형성되며,상기 토출공 및 상기 흡입공은, 상기 보트가 상기 함체에 결합되었을 때, 상기 지지바에 지지된 상호 인접하는상기기판과기판사이의간격각각위치되는것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항8]
제5항에 있어서,상기 매니폴드와 상기 받침부 사이에는실링부재개재된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제5항에 있어서,상기 매니폴드와 상기 받침부 사이에는실링부재개재된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항9]
제1항에 있어서,상기함체는알루미늄형성된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제1항에 있어서,상기함체는알루미늄형성된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항10]
제9항에 있어서,상기함체는애노다이징처리된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
제9항에 있어서,상기함체는애노다이징처리된것을특징으로 하는배치식 원자층 증착장치.
[청구항12]
제11항에 있어서,상기 배치식 원자층 증착장치는4개인것을특징으로 하는클러스터형 배치식 원자층 증착장치.
제11항에 있어서,상기 배치식 원자층 증착장치는4개인것을특징으로 하는클러스터형 배치식 원자층 증착장치.
[청구항13]
제12항에 있어서,여분의 상기함체를1개더포함하는것을특징으로 하는클러스터형 배치식 원자층 증착장치.
제12항에 있어서,여분의 상기함체를1개더포함하는것을특징으로 하는클러스터형 배치식 원자층 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
배치식 원자층 증착장치에 포함되는 보트의 구성 요소는 무엇이며, 각 구성 요소는 어떠한 구조적 특징을 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation보트의 구성 요소와 각 요소의 구조적 특징을 추출하는 과업을 수행한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5항에서 보트의 구성 요소인 받침부, 돌출부, 지지바를 확인한다.
- 상기 보트는
- 받침부
- 돌출부
- 지지바가
-
3근거 선택
evidence_selection각 구성 요소에 대한 상세 설명을 청구항 5항에서 선별한다.
- 상면 테두리부측이 상기 매니폴드와 밀폐 결합되는 받침부
- 상기 받침부의 상면에 설치되고, 상기 내부함체의 내경 보다 작은 직경으로 형성되어 상기 함체의 내부에 삽입되는 원통 형상의 돌출부
- 상기 돌출부의 테두리부측을 따라 상호 간격을 가지면서 복수개 설치되며, 상기 기판의 테두리부측이 삽입 지지되는 복수의 지지홈이 각각 대응되게 형성된 지지바
-
4논리 통합
logical_integration추출된 구성 요소와 특징을 매칭하여 체계적으로 정리한다.
- 받침부
- 돌출부
- 지지바
-
5결론 도출
conclusion_formulation보트는 받침부, 돌출부, 지지바로 구성되며 각각의 결합 및 형상 특징을 갖는다는 결론을 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 보트는
- 받침부
- 돌출부
- 지지바가
- 상면 테두리부측이 상기 매니폴드와 밀폐 결합되는 받침부
- 상기 받침부의 상면에 설치되고, 상기 내부함체의 내경 보다 작은 직경으로 형성되어 상기 함체의 내부에 삽입되는 원통 형상의 돌출부
- 상기 돌출부의 테두리부측을 따라 상호 간격을 가지면서 복수개 설치되며, 상기 기판의 테두리부측이 삽입 지지되는 복수의 지지홈이 각각 대응되게 형성된 지지바
- 지지바
최종 답변 (final_answer)
보트의 구성 요소와 특징은 다음과 같다.
1. 받침부: 상면 테두리부측이 매니폴드와 밀폐 결합되는 구조이다.
2. 돌출부: 받침부의 상면에 설치되며, 내부함체의 내경보다 작은 직경을 가진 원통 형상으로 함체 내부에 삽입된다.
3. 지지바: 돌출부의 테두리부측을 따라 상호 간격을 두고 복수 개 설치되며, 기판의 테두리부측이 삽입 지지될 수 있도록 복수의 지지홈이 대응되게 형성되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
보트는 매니폴드와 결합되는 받침부, 함체 내부에 삽입되는 원통형 돌출부, 그리고 기판을 지지하는 지지홈이 형성된 지지바로 구성된다.