증착 장치 및 증착 방법

[청구항 1] 기판에 증착 공정을 수행하는 증착 유닛 상기 기판을 이송하는 캐리어와 상기 캐리어를 이송하는 이송 부재를 포함하는 이송 유닛 상기 증착 유닛과 인접 배치되고 상기 캐리어의 보수를 수행하는 메인터넌스 유닛을 포함하고, 상기 이송 부재는, 상기 캐리어를 상기 증착 유닛에서 상기 메인터넌스 유닛으로 이송하기 위해 상기 증착 유닛과 상기 메인터넌스 유닛 사이에 배치된 메인터넌스 이송 부재를 포함하는 증착 장치 [청구항 2] 제1 항에 있어서,상기 증착 유닛은, 증착 챔버, 상기 증착 챔버 내에 배치되고 상기 기판에 증착 물질을 제공하는 증착 어셈블리, 상기 증착 챔버의 하측에 배치되고 상기 메인터넌스 유닛과 연결된 반송 챔버. 상기 증착 챔버와 상기 반송 챔버의 일측에 배치된 기판 공급 챔버, 및 상기 증착 챔버와 상기 반송 챔버의 타측에 배치된 기판 회수 챔버포함하는증착 장치. [청구항 3] 제2 항에 있어서,상기 이송 부재는, 상기 증착 챔버 내에 배치된 제1 이송 부재, 상기 반송 챔버 내에 배치된 제2 이송 부재를 더 포함하고, 상기 메인터넌스 이송 부재는 상기 제2 이송 부재에서 분지되어 상기 반송 챔버와 상기 메인터넌스 유닛 사이배치된증착 장치. [청구항 4] 제1 항에 있어서,상기 캐리어는, 본체부, 상기 본체부의 일면 상에 배치되어 상기 기판을 상기 본체부에 고정시키는 정전척, 상기 본체부의 일면 상에 배치되고 상기 본체부에 방착 부재를 결합시키는 적어도 하나의 제1 결합 부재 및상기 본체부의 외측에 배치되고 상기 이송 부재를 따라 상기 본체부를 이동시키는 캠 팔로워포함하는증착 장치. [청구항 5] 제4 항에 있어서,상기 이송 부재는,상기 캠 팔로워의 표면을 지지하는 적어도 하나의 지지면, 및 상기 캠 팔로워의 측면을 가이드하는 가이드면포함하는증착 장치. [청구항 6] 제1 항에 있어서,터넌스 유닛은,상기 캐리어의 보수를 수행하는 캐리어 메인터넌스부 및, 상기 캐리어에 결합되는 방착 부재를 교체하는 방착 부재 메인터넌스부포함하는증착 장치. [청구항 7] 제6 항에 있어서,상기 캐리어메인터넌스부는,상기 캐리어가 적재되어 고정되는 캐리어 스토커,상기 캐리어 스토커의 양측 측벽에 배치되며 상기 캐리어에 부착된 파티클을 제거하는 파티클 제거부, 및 상기 캐리어에 윤활유를 공급하는 주유부포함하는증착 장치. [청구항 8] 제7 항에 있어서,상기 캐리어 스토커는, 상기 파티클 제거부가 출입 가능하도록 상기 측벽에 형성되는 중공더 포함하는증착 장치. [청구항 9] 제7 항에 있어서,상기 캐리어 스토커는, 상기 캐리어가 복수개 적층되도록 다층형성되는증착 장치. [청구항 10] 제6 항에 있어서,상기 방착 부재메인터넌스부는,여분의 상기 방착 부재가 다층으로 적층되는 방착 부재 스토커 및상기 캐리어로부터 상기 방착 부재의 교체를 수행하는 방착 부재 교체부를 포함하며, 상기 방착 부재 교체부는 상기 캐리어 스토커와 상기 방착 부재 스토커 사이배치되는증착 장치. [청구항 11] 제1 항에 있어서,상기 캐리어의 보수 여부를 확인하는 제어부; 를 더 포함하고,상기 제어부는,상기 증착 유닛, 상기 이송 유닛 및 상기 메인터넌스 유닛에 각각 연결되며, 상기 메인터넌스 유닛이 상기 캐리어의 보수를 수행하도록 상기 증착 유닛, 상기 이송 유닛 및 상기 메인터넌스 유닛의 구동각각 제어하는증착 장치. [청구항 12] 기판에 증착 공정을 수행하는 공정 챔버를 포함하는 증착 유닛 상기 기판을 이송하는 캐리어를 포함하는 이송 유닛 상기 공정 챔버 일측에 배치되며, 상기 캐리어의 보수를 수행하는 메인터넌스 챔버를 포함하는 메인터넌스 유닛 상기 공정 챔버와 상기 메인터넌스 챔버 사이에 배치된 전환 챔버; 및 상기 공정 챔버 및 상기 전환 챔버와 연결된 제1 연결부 및 상기 전환 챔버 및 상기 메인터넌스 챔버와 연결된 제2 연결부를 포함하는 증착 장치 [청구항 13] 제12 항에 있어서,상기 공정 챔버는 진공 챔버로 구성되며, 상기 메인터넌스 챔버는 상압 챔버구성되는증착 장치. [청구항 14] 제 12항에 있어서,상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부는,상기 전환 챔버를 진공상태 또는 상압 상태로 전환하는 게이트 밸브포함하는증착 장치.