실린더형 가스 유입 요소를 구비하는 ＭＯＣＶＤ 반응기

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 가스 유입 요소(4)로부터 나가는 공정 가스 유동 내의 유속 기울기(velocity gradient)를 최소화하기 위해, 상기 가스 출구 개구들(25)의 에지는, 오직 상기 외부 벽의 스톨(stall) 에지이며, 일자 또는 둥근 부분 만을 가지는 외곽선을 따라서 꼬이지 않도록(kink-free) 형성되는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 가스 출구 개구들(25)은, 상기 가스 유입 챔버(8, 9, 10) 쪽으로 향하는 내부 벽으로부터 상기 가스 유입 챔버에 대응되는 상기 환형 벽(22, 23, 24)의 외부 벽으로, 일정 개구 영역을 가지며 일직선으로 연장하는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 가스 출구 개구들의 개구 영역은 2 mm2 내지 5 mm2 인 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 가스 출구 개구들의 개구 영역의 길이(l)와 너비(w)의 비율은 2 내지 6인 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 가스 출구 개구들(25)의 개구 영역의 합은 상기 환형 벽들(22, 23, 24)의 총 외부 영역의 15% 내지 50%에 상당하는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 가스 출구 개구들(25)이 수직선에 대해 30° 내지 60°의 각도로 경사져서 연장하는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,환형 벽(23)의 가스 출구 개구들(25)은 서로 겹치는 복수의 열로 배열되며, 서로 다른 열의 가스 출구 개구들(25)은 수직 방향으로 서로 겹치는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,개의 인접 가스 출구 개구들(25) 사이의 간격(d)은, 상기 두 개의 인접 가스 출구 개구들(25)이 서로 수직 방향으로 겹치도록 그리고 상기 간격이 1 mm가 되도록, 선택되는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 환형 벽들은 퀄츠(quartz) 또는 흑연으로 구성되는 환형 바디들에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 환형 바디들은 둥근 원반 형태의 수평 웹들(12, 13, 26)의 에지 상에 위치되는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 가스 유입 요소(4)의 전단(21)은, 상기 최하부 가스 유입 챔버(10)를 상기 전단(21) 쪽으로 한정하는(delimiting) 상기 수평 웹(26)이 상기 공정 챔버(1) 쪽으로 향하여 있는 상기 서셉터(2)의 표면(2′)과 정렬되도록, 상기 서셉터(2)의 중앙 컷-아웃(cut-out) 내에 놓이는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 최상부 가스 유입 챔버(8)의 상부 벽(29)은 상기 공정 챔버(1) 쪽으로 향하여 있는 상기 공정 챔버 천장(3)의 하부 측(3′)과 정렬되는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 14] 제11항에 있어서,상기 가스 유입 챔버들(8, 9, 10) 쪽으로 향하여 있는 상기 수평 웹(12, 13, 26)의 표면에 평탄한 벽의(smooth-walled) 굴곡진 코스(course)를 가지는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 공정 챔버의 직경은 500 내지 700 mm 이며, 상기 환형 벽들(22, 23, 24)의 균일한 외부 직경은 35 내지 50 mm 인 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 공정 챔버(1)의 직경은 500 내지 700 mm 이며, 상기 공정 챔버(1)의 높이는 25 내지 30 mm 인 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 가스 유입 챔버들(8, 9, 10)의 높이는 가스의 유동 방향을 따라 증가하는 것을 특징으로 하는,층들증착하기 위한장치.