문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 여기 가스 공급유닛은,상기 여기 가스가 저장되는 여기 가스 탱크;그 토출구가 상기 상부 공간에 위치되는 여기 가스 노즐;상기 여기 가스 탱크와 상기 여기 가스 노즐을 연결하는 여기 가스 라인포함하는기판 처리 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 여기 가스 탱크는 병렬로 상기 여기 가스 노즐에 연결되는 제 1 여기 가스 탱크 및 제 2 여기 가스 탱크포함하는기판 처리 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 제 1 여기 가스 탱크는 헬륨, 아르곤 또는 질소 중 하나를 상기 여기 가스 노즐에 공급하고,상기 제 2 여기 가스 탱크는 수소를 상기 여기 가스 노즐공급하는기판 처리 장치.
[청구항 5]
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로파인가 유닛은,상기 마이크로파를 발생 시키는 마이크로파 전원;상기 마이크로파를 전송하는 도파관;상기 도파관의 내부공간에 위치되어, 전송된 상기 마이크로파의 모드를 변환하는 동축 변환기;상기 동축 변환기에서 상기 상부 공간으로 상기 마이크로파를 전달하는 안테나부재포함하는기판 처리 장치.
[청구항 6]
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로파의 주파수는 2.3ghz~2.6ghz인기판 처리 장치.
[청구항 7]
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 내부 공간으로 클리닝 가스를 공급하는 클리닝 가스 공급 유닛더 포함하는기판 처리 장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 클리닝 가스는 삼불화질소인기판 처리 장치.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 클리닝 가스 공급 유닛은 상기 클리닝 가스를 상기 하부 공간공급하는기판 처리 장치.
[청구항 10]
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 공정 챔버의 바닥에서 이격되어 위치되고, 그 중앙에 상기 기판 지지부재가 위치되는 배기 배플더 포함하는기판 처리 장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 배기 배플에는 상기 하부공간의 가스 또는 공정 부산물을 흡입하는 흡입홀들형성되는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 장치의 여기 가스 공급유닛 구성 중, 제1 여기 가스 탱크와 제2 여기 가스 탱크가 각각 상기 여기 가스 노즐에 공급하는 가스의 종류는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제1 여기 가스 탱크와 제2 여기 가스 탱크가 각각 노즐에 공급하는 가스의 종류를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 각 탱크가 공급하는 가스의 종류에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 제 1 여기 가스 탱크는 헬륨, 아르곤 또는 질소 중 하나를 상기 여기 가스 노즐에 공급하고,상기 제 2 여기 가스 탱크는 수소를 상기 여기 가스 노즐공급하는
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3근거 선택
evidence_selection제1 탱크의 가스(헬륨, 아르곤, 질소)와 제2 탱크의 가스(수소)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 제 1 여기 가스 탱크는 헬륨, 아르곤 또는 질소 중 하나를 상기 여기 가스 노즐에 공급하고,상기 제 2 여기 가스 탱크는 수소를 상기 여기 가스 노즐공급하는
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4논리 통합
logical_integration제1 탱크는 세 가지 가스 중 하나를 공급하고, 제2 탱크는 수소를 공급한다는 관계를 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 제1 탱크는 헬륨, 아르곤 또는 질소를 공급하고, 제2 탱크는 수소를 공급한다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 리스트 형식의 최종 답변을 생성한다.
근거 (evidence)
- 상기 제 1 여기 가스 탱크는 헬륨, 아르곤 또는 질소 중 하나를 상기 여기 가스 노즐에 공급하고,상기 제 2 여기 가스 탱크는 수소를 상기 여기 가스 노즐공급하는
최종 답변 (final_answer)
제1 여기 가스 탱크는 헬륨, 아르곤 또는 질소 중 하나를 공급하고, 제2 여기 가스 탱크는 수소를 공급한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 처리 장치의 여기 가스 공급유닛이 제1 및 제2 탱크로 구성되어, 서로 다른 종류의 여기 가스를 선택적 또는 병렬적으로 노즐에 공급할 수 있는 구성에 관한 것이다.