플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 카트는 배기 처리후이며 상기 배기관의 봉지·절단 전에, 상기 배기관 장착부의 이 배기관을 통하여, 상기 한 쌍의 기판 사이에 방전 가스를 주입하기 위한방전가스공급장치구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 3] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 배기 장치는 배기 펌프와, 배기되도록 개폐가 자유롭게 개방되는 배기 밸브와, 상기 한 쌍의 기판간 압력이 설정 압력에 도달한 것을 검출하여 상기 배기 밸브를 폐쇄하는배기밸브컨트롤러구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 4] 청구항 2에 있어서,상기 방전 가스 공급 장치는 방전 가스 공급원과, 이 방전 가스 공급원으로부터 상기 배기관에 방전 가스를 공급하도록 개폐가 자유롭게 개방되는 공급 밸브와, 상기 한 쌍의 기판간 압력이 설정 압력에 도달한 것을 검출하여 상기 공급 밸브를 폐쇄하는공급밸브컨트롤러구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 5] 청구항 1 또는 2에 있어서,카트마다 주행·정지 조작을 행하는 것이 가능한 구동 기구를 구비하는 동시에, 정지한 상기 카트를 상기 순환 경로에 대해 고정 상태로 하기 위해서, 이 카트에 결합과 분리가 자유롭게 결합하는록크장치구비되는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 6] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 제어 수단은 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판의 상기 기판 탑재부에 대한 탑재 조작과 동시에 한쪽의 이 기판에 상기 배기관을 대면시키는 조립을 완료하기 위해서, 이 배기관을 상기 배기관 장착부에 장착한 후에, 상기 한 쌍의 기판을 상기 기판 탑재부에 탑재하도록상기작업로봇제어하는것을특징으로 하는플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 7] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 배기관을 상기 반입계로부터 상기 카트의 상기 배기관 장착부에 공급하기 위해서, 이 카트의 실(實) 정지 위치 정보 및 이 배기관 장착부의 이 배기관의 실 장착 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 실 정지 위치 정보 및 실 장착 위치 정보에 기초하여, 상기 작업 로봇에 의한 배기관 공급 동작의 제어 정보를 출력하는공급 동작설정수단구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 공급 동작 설정 수단은 미리 설정되어 있는 상기 카트의 기준 정지 위치 정보에 기초하여 실 정지 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 기준 정지 위치에 대한 실 정지 위치의 편차로부터 상기 카트의 정지 위치를 수정하며, 미리 설정되어 있는 카트 정지 위치로부터의 상기 배기관 장착부의 기준 설치 위치 정보에 기초하여 실 설치 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 기준 설치 위치에 대한 실 설치 위치의 편차로부터 상기 배기관 장착부의 설치 위치를 수정하며, 상기 배기관의 실 장착 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 장착 위치에 대한 실 장착 위치의 편차로부터 이 배기관의 장착 위치를 수정하며, 수정한 수정 공급 동작을 상기 작업 로봇에 의한배기관공급 동작의제어정보출력하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 9] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 배기관을 상기 반입계로부터 꺼내기 위해서, 꺼냄 대기 위치에 있어서의 이 배기관의 실 대기 상태 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 대기 상태 정보에 대한 실 대기 상태 정보의 편차에 기초하여 꺼냄 동작을 수정하며, 수정한 수정 꺼냄 동작을 제어 정보로서 출력하는 배기관 꺼냄동작수정수단구비하는것을특징으로 하는플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 10] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 배기관을 상기 배기관 장착부에 장착하기 위해서, 이 작업 로봇에 의한 이 배기관의 실 파지 상태 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 파지 상태 정보에 대한 실 파지 상태 정보의 편차에 기초하여 장착 동작을 수정하며, 수정한 수정 장착 동작을 제어 정보로서 출력하는배기관장착동작수정수단구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 11] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 배기관 장착부는, 상기 배기 장치에 연통시켜 형성되며 상기 배기관을 위쪽을 향하게 하여 장착하기 위한 장착 구멍과, 이 장착 구멍에 설치되며 상기 배기관에 접리(接離) 가능하게 압접되어 이 배기관의 주위를 기밀하게 실링(sealing)하는환상실구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기 환상 실의 상태 변화에 관계없이 항상 상기 배기관을 위쪽으로부터 탑재되는 상기 한 쌍의 기판의 한쪽에 압접시키기 위해서, 상기 배기관 장착부를 상하 방향으로 이동이 자유롭게 하는 상하 슬라이드 기구를 구비하는 동시에, 상기 배기관 장착부를 위쪽을 향하여 부세(附勢)하는부세수단구비한것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 13] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 기판 탑재부에는, 복수의 칸막이부에 의해서 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판을 개별적으로 장입하는 기판 장입용 공간이 형성되는 동시에, 상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 각 한 쌍의 기판을 상기 기판 탑재부에 탑재하기 위해서, 상기 기판 장입용 공간의 치수를 화상 정보로서 취득하고, 취득된 치수 정보에 기초하여, 상기 한 쌍의 기판의 상기 기판 장입용 공간에 대한 장입 여부의 제어 정보를 출력하는장입조작판정수단구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 14] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 반입계로부터 공급되는 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판의 통기 구멍을 상기 카트의 상기 배기관 장착부의 상기 배기관에 합치시키기 위해서, 이 배기관 장착부에 장착된 이 배기관의 중심 위치 정보 및 이 한 쌍의 기판의 탑재 대기 위치에 있어서의 이 통기 구멍의 중심 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 중심 위치 정보를 이용하여, 미리 상기 작업 로봇에 설정되어 있는 상기 한 쌍의 기판을 탑재 대기 위치로부터 상기 기판 탑재부에 공급하는 기준 탑재 동작에 의한 상기 배기관과 상기 통기 구멍의 중심 위치의 오차를 산출하고, 오차에 기초하여 수정한 수정 탑재 동작을 제어 정보로서 출력하는탑재동작수정수단구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 15] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 기판 탑재부는 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판을 복수 개소에서 개개로 지지하는 복수의 서포트를 구비하고, 이들 복수의 서포트 가운데, 상기 배기관에 근접하는 적어도 하나의 근접 위치 서포트를 제외한 다른 원격 위치 서포트는 상기 한 쌍의 기판을 이 근접 위치 서포트에 비해서 상대 이동하기지지하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 16] 청구항 15에 있어서,상기 원격 위치 서포트는요동가능한것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 17] 청구항 15에 있어서,상기 원격 위치 서포트는 전동 축심이 상기 배기관의 중심 위치 방향과 직교시켜 배치되며, 그 위에 상기 한 쌍의 기판을 지지하는롤러기구구성되는것을특징으로 하는플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 18] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 제어 수단에 의한 자동 제어로 2 분할로 개폐가 자유롭게 작동되며, 상기 배기관의 봉지·절단을 행하기 위해 닫혀져 이 배기관 주위를 둘러싸는히터구비한것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 19] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 제어 수단에 의한 자동 제어로 작동되며, 상기 배기관의 봉지·절단을 행하기 위해서, 이 배기관을 용융시키는 버너 및 이 배기관을 연신시키도록 상기 배기관 장착부를 하강시키는하강수단구비되는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템. [청구항 20] 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 패널을 상기 카트의 상기 기판 탑재부로부터 상기 반출계에 언로딩하기 위해서, 이 카트의 실 정지 위치 정보 및 이 패널의 실 탑재 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 실 정지 위치 정보 및 실 탑재 위치 정보에 기초하여, 상기 작업 로봇에 의한 상기 패널의 언로딩 동작의 제어 정보를 출력하는언로딩동작 설정수단구비하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.