아이스 슬러리의 제조 장치 및 기판 처리 장치

[청구항2] 제1항에 있어서,체부가, 하단면이 저벽부에 의해서 폐색되고, 하단부로부터 상단부를 향해서 내경이 점차 작아지도록 형성된 직관과, 이 직관의 저벽부를 관통하여 직관 내부에 삽입 관통되고, 선단구가 상기 액체 도입구가 되며, 상기 과냉각 액체 공급 수단의 액체 공급관과 접속되는 액체 도입관부와, 상기 직관의 내부를 칸막이하여 상기 저벽부와의 사이에 기체 도입실이 형성되 도록 상기 저벽부와 간격을 두어 배치되고, 상기 기체 분출구가 되는 다수의 관통 세공이 형성된 격벽부와, 상기 기체 도입실에 연통하고, 상기 기체 공급 수단의 기체 공급관과 접속되는 기체 도입관부를 구비하여 구성되고, 상기 직관의 상단구가상기유출구되는것을특징으로 하는아이스 슬러리의 제조 장치. 제1항에 있어서,체부가, 하단면이 저벽부에 의해서 폐색되고, 하단부로부터 상단부를 향해서 내경이 점차 작아지도록 형성된 직관과, 이 직관의 저벽부를 관통하여 직관 내부에 삽입 관통되고, 선단구가 상기 액체 도입구가 되며, 상기 과냉각 액체 공급 수단의 액체 공급관과 접속되는 액체 도입관부와, 상기 직관의 내부를 칸막이하여 상기 저벽부와의 사이에 기체 도입실이 형성되 도록 상기 저벽부와 간격을 두어 배치되고, 상기 기체 분출구가 되는 다수의 관통 세공이 형성된 격벽부와, 상기 기체 도입실에 연통하고, 상기 기체 공급 수단의 기체 공급관과 접속되는 기체 도입관부를 구비하여 구성되고, 상기 직관의 상단구가상기유출구되는것을특징으로 하는아이스 슬러리의 제조 장치. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 직관이연직자세유지된것을특징으로 하는아이스 슬러리의 제조 장치. 제2항에 있어서,상기 직관이연직자세유지된것을특징으로 하는아이스 슬러리의 제조 장치. [청구항4] 제3항에 있어서,과냉각 해제용 기체가 이산화탄소로서, 이산화탄소가 용해하고 얼음의 미립자를 포함하는처리액제조하는것을특징으로 하는아이스 슬러리의 제조 장치. 제3항에 있어서,과냉각 해제용 기체가 이산화탄소로서, 이산화탄소가 용해하고 얼음의 미립자를 포함하는처리액제조하는것을특징으로 하는아이스 슬러리의 제조 장치. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 기판 지지 수단이, 기판을 지지하여 수평 방향으로 반송하는 기판 반송 수단이며, 상기 처리액 공급 수단에 의해, 상기 기판 반송 수단에 의해서 반송되는 기판의 주면에 얼음의 미립자를 포함하는 처리액이 공급되며, 기판의 주면 상에서 얼음의 미립자를 포함하는 처리액을 뒤섞는 뒤섞음부재더욱구비한것을특징으로 하는기판 처리 장치. 제5항에 있어서,상기 기판 지지 수단이, 기판을 지지하여 수평 방향으로 반송하는 기판 반송 수단이며, 상기 처리액 공급 수단에 의해, 상기 기판 반송 수단에 의해서 반송되는 기판의 주면에 얼음의 미립자를 포함하는 처리액이 공급되며, 기판의 주면 상에서 얼음의 미립자를 포함하는 처리액을 뒤섞는 뒤섞음부재더욱구비한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항7] 제6항에 있어서,상기 기판 반송 수단이, 기판의 반송 방향과 직교하는 방향에 있어서 기판을 경사시켜 지지하면서수평방향반송하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. 제6항에 있어서,상기 기판 반송 수단이, 기판의 반송 방향과 직교하는 방향에 있어서 기판을 경사시켜 지지하면서수평방향반송하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항8] 제5항에 있어서,상기 처리액 공급 수단이, 상기 기판 지지 수단에 의해서 지지된 기판의 주면에 얼음의 미립자를 포함하는 처리액을 고압으로 분출시키는노즐구비한것을특징으로 하는기판 처리 장치. 제5항에 있어서,상기 처리액 공급 수단이, 상기 기판 지지 수단에 의해서 지지된 기판의 주면에 얼음의 미립자를 포함하는 처리액을 고압으로 분출시키는노즐구비한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항9] 제5항에 있어서,기판의 처리가세정 처리인것을특징으로 하는기판 처리 장치. 제5항에 있어서,기판의 처리가세정 처리인것을특징으로 하는기판 처리 장치.