문맥 (context)
[청구항 1]
챔버와;
상기 챔버 내에 배치되고, 상면에 복수의 홀더 안착홈들이 형성되는 서셉터와
상기 홀더 안착홈에 삽입되고, 상면에 기판이 놓이는 기판 안착홈이 형성되는 기판홀더와
상기 기판 상으로 공정가스를 공급하는 분사유닛과; 그리고
상기 기판 안착홈을 세정하는 세정유닛을 포함하되
상기 세정유닛은,
상기 기판 안착홈에 부착된 공정부산물을 제거하는 브러시 부재를 포함하되
상기 브러시 부재는,
저면에 브러시모가 제공되고, 회전가능한 내축을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 브러시 부재는,상기 공정부산물을 진공 흡입하는 펌프와;내부가 상기 펌프와 연결되고, 중공의 통 형상을 가지는 외축을 더 포함하되;상기 내축은 상기 외축의 내부에 배치되고, 상기 내축과 상기 외축 사이에는 링 형상의 공간이 제공되며, 상기 링 형상의 공간은상기펌프연결되는것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치의 세정유닛에 포함된 브러시 부재가 공정부산물을 진공 흡입하기 위해 구성되는 구조적 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판처리장치의 세정유닛 내 브러시 부재가 공정부산물을 진공 흡입하기 위해 갖는 구조적 특징을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 브러시 부재가 공정부산물을 진공 흡입하는 펌프, 중공의 외축, 그리고 내축을 포함한다는 정보를 추출한다.
- 상기 브러시 부재는,상기 공정부산물을 진공 흡입하는 펌프와;내부가 상기 펌프와 연결되고, 중공의 통 형상을 가지는 외축을 더 포함하되;상기 내축은 상기 외축의 내부에 배치되고, 상기 내축과 상기 외축 사이에는 링 형상의 공간이 제공되며, 상기 링 형상의 공간은상기펌프연결되는것을특징으로 하는기판처리장치
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3근거 선택
evidence_selection진공 흡입 구조와 관련된 핵심 요소인 펌프, 중공의 외축, 내축, 그리고 이들 사이의 링 형상 공간을 선택한다.
- 상기 공정부산물을 진공 흡입하는 펌프와;내부가 상기 펌프와 연결되고, 중공의 통 형상을 가지는 외축을 더 포함하되;상기 내축은 상기 외축의 내부에 배치되고, 상기 내축과 상기 외축 사이에는 링 형상의 공간이 제공되며, 상기 링 형상의 공간은상기펌프연결
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4논리 통합
logical_integration내축과 외축 사이의 링 형상 공간이 펌프와 연결되어 있고, 외축의 내부가 펌프와 연결되어 있다는 점을 결합하여 흡입 구조를 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation브러시 부재는 펌프, 중공의 외축, 내축으로 구성되며, 내축과 외축 사이의 링 형상 공간이 펌프와 연결되어 부산물을 흡입하는 구조임을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구조적 특징을 요약하여 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 브러시 부재는,상기 공정부산물을 진공 흡입하는 펌프와;내부가 상기 펌프와 연결되고, 중공의 통 형상을 가지는 외축을 더 포함하되;상기 내축은 상기 외축의 내부에 배치되고, 상기 내축과 상기 외축 사이에는 링 형상의 공간이 제공되며, 상기 링 형상의 공간은상기펌프연결되는것을특징으로 하는기판처리장치
- 상기 공정부산물을 진공 흡입하는 펌프와;내부가 상기 펌프와 연결되고, 중공의 통 형상을 가지는 외축을 더 포함하되;상기 내축은 상기 외축의 내부에 배치되고, 상기 내축과 상기 외축 사이에는 링 형상의 공간이 제공되며, 상기 링 형상의 공간은상기펌프연결
최종 답변 (final_answer)
브러시 부재는 공정부산물을 진공 흡입하는 펌프, 내부가 펌프와 연결된 중공의 통 형상을 가진 외축, 그리고 외축 내부에 배치되는 내축을 포함한다. 특히, 내축과 외축 사이에 형성된 링 형상의 공간이 펌프와 연결되어 부산물을 흡입할 수 있는 구조를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
브러시 부재의 내축과 외축 사이에 형성된 링 형상의 공간을 펌프와 연결함으로써, 세정 과정에서 발생하는 공정부산물을 효율적으로 진공 흡입할 수 있는 구조적 특징을 나타낸다.