표시소자의 제조장치

[청구항 1] 진공챔버와; 상기 진공챔버 내부에 위치하며 기판을 하부표면에 안치하는 서셉터와 상기 서셉터의 하부에 설치되며 상기 기판 상에 증착되는 박막의 패턴을 결정하는 새도우마스크와 상기 새도우마스크의 하부에 위치하며 상기 기판의 방향으로 캐리어가스를 분사하는 다수의 분사구를 가지는 캐리어가스 인젝터와 상기 캐리어가스 인젝터에 상기 캐리어가스를 공급하는 캐리어가스 공급유로와 상기 캐리어가스 인젝터의 상부에 위치하며, 원료물질을 기화시키는 다수의 증발기 를 포함하는 표시소자의 제조장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 캐리어가스인젝터와 상기 캐리어가스 공급유로는회전가능한것을특징으로 하는표시소자의 제조장치 [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 캐리어가스인젝터는, 양단이 밀폐된 관 형상으로서 상면에 상기 다수의 분사구를 가지며 중심부에서 상기 캐리어가스 공급유로연결되는표시소자의 제조장치 [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 캐리어가스인젝터는, 상면에 상기 다수의 분사구를 가지고 단부가 밀폐된 관 형상의 분기관이 2개 이상 방사대칭결합하여 이루어지는표시소자의 제조장치 [청구항 5] 제3항 또는 제4항에 있어서,상기 다수의 분사구는 중심부에서 외곽으로 갈수록 분포밀도지는표시소자의 제조장치 [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 다수의 분사구는 상기 캐리어가스 인젝터의 상면에 설치되고, 상기 캐리어가스 인젝터의 상부에는 다수의 제2 분사구를 가지는 인젝터 커버결합되는표시소자의 제조장치 [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 다수의 제2 분사구는원형또는장방형슬릿인것을특징으로 하는표시소자의 제조장치 [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 원형 분사구는 주변부배치되는표시소자의 제조장치 [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 캐리어가스 공급유로의 내부에는 상기 캐리어가스를 예열하기 위한 히터설치되는표시소자의 제조장치 [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 캐리어가스 공급유로는 상기 캐리어가스 인젝터를 지지하는 축의 내부에 길이방향으로 형성되며, 상기 축의 내부에는 일단이 상기 증발기에 연결되는 전원공급선설치되는표시소자의 제조장치 [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 캐리어가스 공급유로는 외부의 캐리어가스 공급부와 캐리어가스 공급관에 의해 연결되며, 상기 전원공급선의 타단은 상기 캐리어가스 공급관을 둘러싸는 슬립 링(slip ring)에 연결되고, 상기 슬립 링에는 타단이 외부 전원과 이어지는 외부전원공급선의 일단연결되는표시소자의 제조장치 [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 캐리어가스인젝터에 연결되고 상기 진공챔버의 저면에서 돌출되는 연장부에 의해 둘러싸이는 회전축을 포함하고, 상기 캐리어가스 공급유로는 상기 연장부에 의해 둘러싸이며, 상기 연장부의 내벽과 상기 회전축의 외벽 사이에는 마그네틱 시일구비되는표시소자의 제조장치 [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 연장부의 측벽에는 상기 진공챔버 내부의 기체가 상기 마그네틱 시일에 이르지 못하도록 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스 유입관이연결되는표시소자의 제조장치 [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 연장부에는 상기 마그네틱 시일을 냉각시키기 위한 냉각수단연결되는표시소자의 제조장치