문맥 (context)
[청구항 1]
기판처리유닛에 있어서,
기판을 특정 위치에 유지하기 위한 기판홀딩기구를 포함하되, 상기 기판홀딩기구는 홀딩 위치에 있는 상기 기판의 주변부 상에 복수 개수의 롤러를 구비하고, 상기 복수 개수의 롤러는 상기 기판의 주변부를 그 측면으로부터 상기 홀딩 위치 부근에 지지하여 상기 기판을 유지하도록 되어 있으며,
상기 기판홀딩기구에 의해 유지되는 상기 기판에 특정 처리를 행하기 위한 처리기구; 및
상기 기판을 상기 홀딩 위치의 부근으로 안내하기 위한 가이드핀이 제공된 기판안내기구를 포함하여 이루어지고,
상기 롤러 각각은 대경부(large diameter portion) 및 상기 대경부 상방에 형성된 소경부(small diameter portion)로 이루어진 통합 구조를 가지되, 상기 대경부의 상부는 상기 기판의 이송 시에 상기 기판을 임시로 배치하기 위한 숄더부를 구비하며,
상기 숄더부에는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리유닛
[청구항 2]
기판처리유닛에 있어서,
기판을 특정 위치에 유지하기 위한 기판홀딩기구를 포함하되, 상기 기판홀딩 기구는 홀딩 위치에 있는 상기 기판의 주변부 상에 복수 개수의 롤러를 구비하고, 상기 복수 개수의 롤러는 상기 기판의 주변부를 그 측면으로부터 상기 홀딩 위치 부근에 지지하여 상기 기판을 유지하도록 되어 있으며,
상기 기판홀딩기구에 의해 유지되는 상기 기판에 특정 처리를 행하기 위한 처리기구; 및
상기 기판을 상기 홀딩 위치의 부근으로 안내하기 위한 가이드핀이 제공된 기판안내기구를 포함하되, 상기 기판안내기구는 상기 기판의 이송 시에 상기 기판을 임시로 배치하기 위한 임시배치툴을 구비하고,
상기 롤러 각각은 대경부 및 상기 대경부 상방에 형성된 소경부로 이루어진 통합 구조를 가지되, 상기 대경부의 상부는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성된 숄더부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리유닛
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판은 디스크 형상이고,상기 기판안내기구의 가이드핀은 상기 홀딩 위치에 유지된 기판 주위에 배치되며, 상기 기판이 유지되거나 해제될 때 변위되는 경우에도 상기 기판을 상기 홀딩 위치의 부근으로 안내하는기능가지는것을특징으로 하는기판처리유닛.
[청구항 4]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판안내기구의 가이드핀의 상부는, 상기 기판의 이송 시에 상기 기판의 변위를 완화시키는 기능을 제공하도록 가늘어지는(tapered off) 것특징으로 하는기판처리유닛.
[청구항 5]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판안내기구의 가이드핀은, 상기 홀딩 위치에 있는 기판이 처리될 때 상기 기판과의 간섭을 피하기 위해 상기 기판의 주변부로부터 이격된위치배치되는것을특징으로 하는기판처리유닛.
[청구항 6]
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 롤러들은 회전기구와 함께 회전되도록 되어 있고,상기 기판은 상기 롤러들의 회전에 의해회전되는것을특징으로 하는기판처리유닛.
[청구항 8]
기판세정처리유닛에 있어서,
기판을 특정 홀딩 위치에 유지하기 위한 복수 개수의 롤러를 포함하되, 상기 롤러는 대경부 및 상기 대경부 상방에 형성된 소경부로 이루어진 통합 구조를 가지며, 상기 대경부의 상부는 이송 중인 기판이 임시로 배치되도록 허용하는 숄더부를 구비하고, 상기 숄더부에는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어, 상기 기판의 주변부를 그 측면으로부터 상기 홀딩 위치의 부근에 지지하여 상기 기판을 유지시키며,
상기 기판을 상기 홀딩 위치의 부근으로 안내하기 위한 가이드핀
상기 롤러에 의해 유지된 상기 기판에 세정액을 공급하기 위한 세정노즐; 및
상기 롤러에 의해 유지된 상기 기판의 표면과 접촉시키기 위한 브러시를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판세정처리유닛
[청구항 9]
기판도금장치에 있어서,
기판에 예비도금처리 및 도금처리를 행하기 위한 예비도금처리및도금유닛
상기 예비도금처리 및 도금처리를 겪은 기판을 상기 예비도금처리및도금유닛으로 세정하기 위한 제8항에 따른 기판세정처리유닛; 및
상기 예비도금처리 및 도금처리를 겪은 기판을 상기 예비도금처리및도금유닛으로부터 상기 기판세정처리유닛으로 이송하고, 상기 기판을 상기 기판세정처리유닛으로부터 배출하기 위한 기판이송로봇을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판도금장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리유닛의 롤러에 구비된 숄더부의 구조적 특징과 해당 구조가 기판 이송 시 수행하는 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판처리유닛 롤러에 구비된 숄더부의 구조적 특징과 기판 이송 시의 역할을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1, 2, 8에서 숄더부의 구조와 역할에 관한 정보를 확인한다.
- 상기 대경부의 상부는 상기 기판의 이송 시에 상기 기판을 임시로 배치하기 위한 숄더부를 구비하며, 상기 숄더부에는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어 있는 것
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3근거 선택
evidence_selection숄더부의 구조(경사면)와 역할(기판 임시 배치 및 지지)을 나타내는 구절을 선택한다.
- 상기 대경부의 상부는 상기 기판의 이송 시에 상기 기판을 임시로 배치하기 위한 숄더부를 구비하며, 상기 숄더부에는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어 있는 것
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4논리 통합
logical_integration숄더부는 대경부 상단에 위치하며, 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어진 경사면을 가진 구조임을 파악하고, 이것이 기판을 임시로 배치하고 지지하는 역할을 함을 연결한다.
- 상기 대경부의 상부는 상기 기판의 이송 시에 상기 기판을 임시로 배치하기 위한 숄더부를 구비하며, 상기 숄더부에는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어 있는 것
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5결론 도출
conclusion_formulation구조적 특징은 '기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성된 구조'이며, 역할은 '기판 이송 시 기판을 임시로 배치하고 주변부를 지지하여 유지하는 것'으로 정리한다.
- 상기 대경부의 상부는 상기 기판의 이송 시에 상기 기판을 임시로 배치하기 위한 숄더부를 구비하며, 상기 숄더부에는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어 있는 것
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구조와 역할을 명확히 구분하여 답변을 생성한다.
- 상기 대경부의 상부는 상기 기판의 이송 시에 상기 기판을 임시로 배치하기 위한 숄더부를 구비하며, 상기 숄더부에는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어 있는 것
근거 (evidence)
- 상기 대경부의 상부는 상기 기판의 이송 시에 상기 기판을 임시로 배치하기 위한 숄더부를 구비하며, 상기 숄더부에는 상기 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어 있는 것
최종 답변 (final_answer)
숄더부의 구조적 특징은 대경부의 상부에 형성되어 있으며, 기판의 주변부를 향해 아래로 기울어지는 경사면이 형성되어 있다는 점이다. 해당 구조의 역할은 기판 이송 시에 기판을 임시로 배치하고, 기판의 주변부를 지지하여 유지하는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
롤러의 대경부 상단에 경사면을 가진 숄더부를 형성함으로써, 기판 이송 과정에서 기판을 안정적으로 임시 배치하고 주변부를 지지할 수 있는 구조를 제공한다.