도포막용 건조장치

[청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 2개의 지지수단은 모두 상기 기판의 하면에 상단이 각각 접촉 가능한 복수의 지지핀을 갖고, 어느 한쪽의 지지수단은 평면으로 볼 때에 상기 건조 에리어의 영역 내에 배치된 이동체 상에 복수의 지지핀을 배열해서 구성되며, 또한 상기 이동체의 일부를 상기 구동수단이 배치된바깥쪽 영역연장시킨것을특징으로 하는도포막용 건조장치. 제 1 항에 있어서,상기 2개의 지지수단은 모두 상기 기판의 하면에 상단이 각각 접촉 가능한 복수의 지지핀을 갖고, 어느 한쪽의 지지수단은 평면으로 볼 때에 상기 건조 에리어의 영역 내에 배치된 이동체 상에 복수의 지지핀을 배열해서 구성되며, 또한 상기 이동체의 일부를 상기 구동수단이 배치된바깥쪽 영역연장시킨것을특징으로 하는도포막용 건조장치. [청구항3] 제 2 항에 있어서,상기 2개의 지지수단 중상기 이동체를 갖는 지지수단과 다른 지지수단은, 상기 이동체의 하방 또는 상방에 정치 설치된 가열수단으로서의 핫플레이트 상에복수의지지핀을배열구성되어있는것을특징으로 하는도포막용 건조장치. 제 2 항에 있어서,상기 2개의 지지수단 중상기 이동체를 갖는 지지수단과 다른 지지수단은, 상기 이동체의 하방 또는 상방에 정치 설치된 가열수단으로서의 핫플레이트 상에복수의지지핀을배열구성되어있는것을특징으로 하는도포막용 건조장치. [청구항4] 제 3항에 있어서. 상기 핫플레이트가 상하방향으로 복수단으로 배열됨과 아울러 상하에 인접하는 핫플레이트의 상호간에 상기 건조 에리어가 각각 형성되고, 또한 각 건조 에리어마다 각각의 바깥쪽 영역에상기구동수단설치되어있는것을특징으로 하는도포막용 건조장치. [청구항5] 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 건조에리어는 평면으로 볼 때에 있어서의 둘레가장자리부가 주 케이싱에 의해 덮여져서 밀폐상 공간으로 됨과 아울러 상기 주 케이싱의 외면측에 구동수단을 수납하는 수납 공간을 갖는 보조 케이싱이 부착되고, 상기 이동체의 일부의 상기 바깥쪽 영역까지의 연장부가 상기 밀폐상 공간과 상기 수납 공간 사이를 관통해서구동수단연결되어있는것을특징으로 하는도포막용 건조장치. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 건조에리어는 평면으로 볼 때에 있어서의 둘레가장자리부가 주 케이싱에 의해 덮여져서 밀폐상 공간으로 됨과 아울러 상기 주 케이싱의 외면측에 구동수단을 수납하는 수납 공간을 갖는 보조 케이싱이 부착되고, 상기 이동체의 일부의 상기 바깥쪽 영역까지의 연장부가 상기 밀폐상 공간과 상기 수납 공간 사이를 관통해서구동수단연결되어있는것을특징으로 하는도포막용 건조장치. [청구항6] 제 5 항에 있어서,동체의 연장부가 상기 밀폐상 공간과 상기 수납 공간 사이를 관통하고 있는 부위에밀봉수단장착되어있는것을특징으로 하는도포막용 건조장치. 제 5 항에 있어서,동체의 연장부가 상기 밀폐상 공간과 상기 수납 공간 사이를 관통하고 있는 부위에밀봉수단장착되어있는것을특징으로 하는도포막용 건조장치. [청구항7] 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,동체와 그 하방에 존재하는 상기 핫플레이트 사이에, 상기 이동체의 하방으로의 휨을 방지하기 위한 탄성 바이어싱 수단을 끼워설치한것을특징으로 하는도포막용 건조장치. 제 3 항에 있어서,동체와 그 하방에 존재하는 상기 핫플레이트 사이에, 상기 이동체의 하방으로의 휨을 방지하기 위한 탄성 바이어싱 수단을 끼워설치한것을특징으로 하는도포막용 건조장치.