3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 틸트 플레이트(20)에는 피대상물의 평면도에 따라 제어부를 통해 상기 기울기조절수단(30)을 제어하여 틸트 플레이트(20)의 평면도를 가변조절 할 수 있도록 피대상물과의 거리를 측정하는 거리센서(40)가 설치되는 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 거리센서(40)는 상기 기울기조절수단(30)이 설치되는 각 지점과 일대일 대응하는 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 틸트 플레이트(20)의 적어도 3점을 지지하는 기울기조절수단(30) 중 하나는 비구동식이고 나머지는 구동식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 기울기조절수단(30)은 압전 액츄에이터(31)인 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 기울기조절수단(30)은 상기 베이스 플레이트(11)에 설치되는 모터(35)와, 상기 모터(35)의 볼스크류(36)에 회전가능하게 결합되어 직선운동함과 아울러 상기 틸트 플레이트(20)에 자유운동 가능하게 결합되는 너트봉(37)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치. [청구항 7] 제 4 항에 있어서,상기 기울기조절수단(30) 중 구동식은 압전 액츄에이터(31)인 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 베이스 플레이트(11)의 일측에는 베이스 플레이트(11)를 직선운동시킬 수 있도록 lm가이드(50)가 설치되는 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치. [청구항 9] 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 틸트 플레이트(20)에는 3점을 지지하는 기울기조절수단(30)의 중앙 위치에 틸트 플레이트(20)와 함께 가변되면서 피대상물을 측정/검사할 수 있도록 카메라(22)가 설치된 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 틸트 플레이트(20)는 "t"자 형태로 형성되어 상기 기울기조절수단(30) 및 거리센서(40)가 각 단부측에 설치되되 상기 거리센서(40)는 상기 베이스 플레이트(11)를 벗어나도록 설치된 것을 특징으로 하는 3점 지지이용한고정밀 틸트 스테이지 장치.