문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 정렬기구는 상기 서셉터에 지지된 기판의 상태를 보정하기 위한 경사면을 포함하고,상기 경사면은 상기 정렬홈의 외측 방향으로 경사지게 형성되며,상기 제1승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 경사면을 지나 상기 정렬홈에 삽입되도록 상기 서셉터하강시키는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 정렬기구는 상기 서셉터에 지지된 기판의 상태를 보정하기 위한 경사면을 포함하고,상기 경사면은 상기 접촉면의 위에 위치되어 상기 정렬홈의 외측방향으로 경사지게 형성되며,상기 제1승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 경사면을 지나 상기 정렬홈에 삽입되도록 상기 서셉터하강시키는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 섀도우 프레임은 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되는 차단면 및 상기 정렬기구에 지지되기 위한 지지면을 포함하되, 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판의 위에 위치되고 상기 지지면이 상기 정렬기구의 위에 위치되도록 상기 샤워헤드에 결합되고,상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 정렬기구에지지되게상기샤워헤드하강시키는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 섀도우 프레임은 상기 서셉터에 지지된 기판의 제1영역에 접촉되는 차단면 및 상기 정렬기구에 지지되기 위한 지지면을 포함하고,상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 정렬기구에지지되게상기샤워헤드하강시키는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 정렬기구는 상기 정렬홈의 외측 방향으로 경사지게 형성되는 경사면을 포함하고,상기 섀도우 프레임은 상기 경사면에 대응되는 기울기로 경사지게 형성되는 지지면을 포함하며,상기 제2승하강기구는 상기 지지면이 상기 경사면에접촉되게상기샤워헤드하강시키는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 정렬기구는 상기 서셉터에 지지된 기판의 상태를 보정하기 위한 경사면을 포함하고,상기 경사면은 상기 접촉면의 위에 위치되어 상기 정렬홈의 외측방향으로 경사지게 형성되며,상기 섀도우 프레임은 상기 정렬기구에 지지되기 위한 지지면을 포함하되, 상기 지지면이 상기 경사면의 위에 위치되도록 상기 샤워헤드에 결합되고,상기 지지면은 상기 경사면에 대응되는 기울기로 경사지게 형성되며,상기 제2승하강기구는 상기 지지면이 상기 경사면에접촉되게상기샤워헤드하강시키는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 정렬기구는 상기 서셉터에 지지된 기판의 상태를 보정하기 위한 경사면을 포함하고,상기 경사면은 상기 접촉면의 위에 위치되어 상기 정렬홈의 외측방향으로 경사지게 형성되며,상기 섀도우 프레임은 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되는 차단면 및 상기 경사면에 접촉되기 위한 지지면을 포함하되, 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판의 위에 위치되고 상기 지지면이 상기 경사면의 위에 위치되도록 상기 샤워헤드에 결합되고,상기 제1승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 경사면을 지나 상기 정렬홈에 삽입되게 상기 서셉터를 하강시키며,상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 경사면에접촉되게상기샤워헤드하강시키는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 정렬기구는 상기 정렬홈의 외측 방향으로 경사지게 형성되는 경사면을 포함하고,상기 섀도우 프레임은 상기 서셉터에 지지된 기판의 제1영역에 접촉되는 차단면 및 상기 경사면에 접촉되기 위한 지지면을 포함하며,상기 제1승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 경사면을 지나 상기 정렬홈에 삽입되게 상기 서셉터를 하강시키고,상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 경사면에접촉되게상기샤워헤드하강시키는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기 정렬홈은 상기 서셉터가 삽입될 수 있는크기형성되는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 정렬홈은 상기 서셉터와 동일하거나 상기 서셉터보다 큰크기형성되는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상증착장치에서 제1승하강기구와 제2승하강기구는 각각 어떠한 동작을 수행하며, 각 동작의 대상과 결과는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제1승하강기구와 제2승하강기구의 개별 동작 및 그에 따른 물리적 결과를 분석해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항에서 제1승하강기구와 관련된 문구와 제2승하강기구와 관련된 문구를 추출한다.
- 상기 제1승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 경사면을 지나 상기 정렬홈에 삽입되도록 상기 서셉터하강시키는것을
- 상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 정렬기구에지지되게상기샤워헤드하강시키는것을
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3근거 선택
evidence_selection제1승하강기구는 서셉터를 하강시켜 기판을 정렬홈에 삽입하는 역할을 하며, 제2승하강기구는 샤워헤드를 하강시켜 차단면과 지지면을 각각 기판과 경사면에 접촉시키는 역할을 함을 확인한다.
- 상기 제1승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 경사면을 지나 상기 정렬홈에 삽입되도록 상기 서셉터하강시키는것을
- 상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 경사면에접촉되게상기샤워헤드하강시키는것을
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4논리 통합
logical_integration제1승하강기구의 동작 대상은 서셉터이고 결과는 기판의 정렬홈 삽입이며, 제2승하강기구의 동작 대상은 샤워헤드이고 결과는 차단면/지지면의 접촉이다.
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5결론 도출
conclusion_formulation두 기구의 동작과 목적을 구분하여 정리한다.
- 상기 제1승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 경사면을 지나 상기 정렬홈에 삽입되도록 상기 서셉터하강시키는것을
- 상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 경사면에접촉되게상기샤워헤드하강시키는것을
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 구조화된 답변을 생성한다.
근거 (evidence)
- 상기 제1승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 경사면을 지나 상기 정렬홈에 삽입되도록 상기 서셉터하강시키는것을
- 상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 정렬기구에지지되게상기샤워헤드하강시키는것을
- 상기 제2승하강기구는 상기 차단면이 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되고 상기 지지면이 상기 경사면에접촉되게상기샤워헤드하강시키는것을
최종 답변 (final_answer)
제1승하강기구는 서셉터를 하강시키는 동작을 수행하며, 이를 통해 서셉터에 지지된 기판이 경사면을 지나 정렬홈에 삽입되도록 한다. 제2승하강기구는 샤워헤드를 하강시키는 동작을 수행하며, 이를 통해 섀도우 프레임의 차단면이 기판에 접촉되고 지지면이 경사면에 접촉되도록 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제1승하강기구는 서셉터의 하강을 통해 기판의 정렬을 유도하고, 제2승하강기구는 샤워헤드의 하강을 통해 섀도우 프레임의 차단면과 지지면을 각각 기판과 경사면에 밀착시킨다.