문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 정류부는,상기 챔버 내의 상부에 위치하는상부덮개더포함하는것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 상부 덮개는도넛형상의판형성되는것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항4]
제2항에 있어서,상기 측면부는 제1 측면부 및 제2 측면부로 구성되고,상기제1 측면부와상기제2 측면부위치하는것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 제1 측면부 및 상기 제2 측면부 각각은 원주면의 일부를 이루는형상인것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항6]
제4항에 있어서,상기 날개는 상기 제1 측면부로부터 연장되는 제1 날개 및 상기 제2 측면부로부터 연장되는 제2 날개로 구성되고,상기 제1 날개와 상기 제1 측면부가 접하는 부분에서 상기 제1 날개와 상기 제1 측면부가 이루는 각 및 상기 제2 날개와 상기 제2 측면부가 접하는 부분에서 상기 제2 날개와 상기 제2 측면부가 이루는각예각인것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 제1 날개 및 상기 제2 날개는평면형상인것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항8]
제6항에 있어서,상기 제1 날개는 상기 제1 측면부가 위치하는 방향으로 오목한 곡면 형상이고,상기 제2 날개는 상기 제2 측면부가 위치하는 방향으로 오목한곡면형상인것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항9]
제6항에 있어서,상기 제1 측면부 및 상기 제1 날개의 상단에는 제1 결합부가 형성되고, 상기 제2 측면부 및 상기 제2 날개의 상단에는 제2 결합부가 형성되어,상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부를 통해 상기 제1 측면부와 상기 제1 날개 및 상기 제2 측면부와 상기 제2 날개가상기상부덮개접합되는것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항10]
제9항에 있어서,상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부는 각각 도넛 형상의 일부를 이루는형상인것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항11]
제1항에 있어서,상기 원형 홀더는 회전력을 전달하기 위한 회전체에 적층되어설치되는것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항12]
제1항에 있어서,상기 공급부와 상기 배기관nan은서로반대측설치되는것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
[청구항13]
제1항에 있어서,상기 챔버의 외측에 설치되어 상기 챔버를 가열하는히터더포함하는것을특징으로 하는배치식 에피택셜층 형성장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
상부 덮개의 형상과 측면부 및 날개의 구성, 그리고 이들이 상부 덮개에 접합되는 구체적인 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation상부 덮개의 형상, 측면부/날개의 구성, 그리고 접합 메커니즘을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction상부 덮개는 도넛 형상의 판형이며, 측면부는 제1 및 제2 측면부로, 날개는 제1 및 제2 날개로 구성됨을 추출한다.
- 상기 상부 덮개는도넛형상의판형성되는것을특징으로 하는
- 상기 측면부는 제1 측면부 및 제2 측면부로 구성되고
- 상기 날개는 상기 제1 측면부로부터 연장되는 제1 날개 및 상기 제2 측면부로부터 연장되는 제2 날개로 구성되고
-
3근거 선택
evidence_selection접합 방식과 관련된 결합부의 위치 및 역할을 설명하는 청구항 9의 내용을 선택한다.
- 상기 제1 측면부 및 상기 제1 날개의 상단에는 제1 결합부가 형성되고
- 상기 제2 측면부 및 상기 제2 날개의 상단에는 제2 결합부가 형성되어
- 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부를 통해 상기 제1 측면부와 상기 제1 날개 및 상기 제2 측면부와 상기 제2 날개가상기상부덮개접합되는것을특징으로 하는
-
4논리 통합
logical_integration도넛 형상의 상부 덮개에 제1/제2 측면부와 날개가 결합부(제1/제2 결합부)를 매개로 하여 접합되는 구조를 통합한다.
- 상기 상부 덮개는도넛형상의판형성되는것을특징으로 하는
- 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부를 통해 상기 제1 측면부와 상기 제1 날개 및 상기 제2 측면부와 상기 제2 날개가상기상부덮개접합되는것을특징으로 하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation상부 덮개는 도넛 형상의 판이며, 측면부와 날개는 각각 제1 및 제2 세트로 구성되고, 이들은 상단에 형성된 결합부를 통해 상부 덮개에 접합된다는 결론을 도출한다.
- 상기 상부 덮개는도넛형상의판형성되는것을특징으로 하는
- 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부를 통해 상기 제1 측면부와 상기 제1 날개 및 상기 제2 측면부와 상기 제2 날개가상기상부덮개접합되는것을특징으로 하는
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 완성된 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 상부 덮개는도넛형상의판형성되는것을특징으로 하는
- 상기 측면부는 제1 측면부 및 제2 측면부로 구성되고
- 상기 날개는 상기 제1 측면부로부터 연장되는 제1 날개 및 상기 제2 측면부로부터 연장되는 제2 날개로 구성되고
- 상기 제1 측면부 및 상기 제1 날개의 상단에는 제1 결합부가 형성되고
- 상기 제2 측면부 및 상기 제2 날개의 상단에는 제2 결합부가 형성되어
- 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부를 통해 상기 제1 측면부와 상기 제1 날개 및 상기 제2 측면부와 상기 제2 날개가상기상부덮개접합되는것을특징으로 하는
최종 답변 (final_answer)
상부 덮개는 도넛 형상의 판 형태로 구성된다. 측면부는 제1 측면부와 제2 측면부로 구성되며, 날개는 제1 측면부로부터 연장되는 제1 날개와 제2 측면부로부터 연장되는 제2 날개로 구성된다. 이들의 접합은 제1 측면부 및 제1 날개의 상단에 형성된 제1 결합부와, 제2 측면부 및 제2 날개의 상단에 형성된 제2 결합부를 통해 상부 덮개에 이루어진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
상부 덮개의 기하학적 형상(도넛형 판)과 구성 요소(제1/제2 측면부 및 날개)의 관계, 그리고 결합부(제1/제2 결합부)를 이용한 접합 구조를 설명함.