문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 금속타겟은 프로세스기체가 충돌되는부분형성된것을특징으로 하는물리기상증착장치.
[청구항3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 금속타겟의 둘레를 따라코일있는것을특징으로 하는물리기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 금속타겟의 둘레를 따라코일있는것을특징으로 하는물리기상증착장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 금속타겟의 외측으로는 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로 금속타겟을2중설치된것을특징으로 하는물리기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 금속타겟의 외측으로는 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로 금속타겟을2중설치된것을특징으로 하는물리기상증착장치.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것을특징으로 하는물리기상증착장치.
제4항에 있어서,상기 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것을특징으로 하는물리기상증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
물리기상증착장치에서 금속타겟의 외측에 설치되는 구성요소들은 어떤 순서로 배치되며, 프로세스기체공급부의 끝단부는 어떠한 형태를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation금속타겟 외측의 구성요소 배치 순서와 프로세스기체공급부 끝단부의 특징을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4항과 5항에서 배치 순서와 끝단부 특징에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 금속타겟의 외측으로는 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로 금속타겟을2중설치된것
- 상기 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것
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3근거 선택
evidence_selection배치 순서(프로세스기체공급부 -> 쉴드기체공급부)와 끝단부 형태(금속절곡)에 관한 문구를 선택한다.
- 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로
- 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것
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4논리 통합
logical_integration금속타겟 외측에 프로세스기체공급부가 먼저 있고 그 다음에 쉴드기체공급부가 위치하며, 프로세스기체공급부 끝단은 금속으로 절곡되어 있음을 결합한다.
- 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로
- 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것
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5결론 도출
conclusion_formulation배치 순서는 프로세스기체공급부, 쉴드기체공급부 순이며 끝단부는 금속절곡된 형태이다.
- 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로
- 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 완성된 문장으로 답변을 작성한다.
- 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로
- 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것
근거 (evidence)
- 상기 금속타겟의 외측으로는 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로 금속타겟을2중설치된것
- 상기 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것
- 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부의 순으로
- 프로세스기체공급부의 끝단부는금속절곡된것
최종 답변 (final_answer)
금속타겟의 외측에는 프로세스기체공급부와 쉴드기체공급부가 순차적으로 2중 설치되어 있으며, 프로세스기체공급부의 끝단부는 금속절곡된 형태를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
금속타겟 외측의 구성요소 배치 순서(프로세스기체공급부 -> 쉴드기체공급부)와 프로세스기체공급부 끝단부의 구조적 특징(금속절곡)을 명시함.