문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼의 주연 부위를 지지하고, 회전시키기 위한 회전척
상기 웨이퍼의 직경과 대응하는 원반 형상을 갖고, 상기 회전척에 지지된 웨이퍼의 하부면과 마주보도록 구비되며, 상기 웨이퍼를 세정하기 위한 초음파 진동을 제공하기 위한 초음파 진동부
상기 회전척에 지지된 웨이퍼의 하부면과 상기 초음파 진동부 사이에 상기 웨이퍼의 하부면을 세정하기 위한 제1세정액을 제공하기 위한 제1세정액 제공부; 및
상기 회전척에 지지된 웨이퍼의 상부면에 상기 웨이퍼의 상부면을 세정하기 위한 제2세정액을 제공하기 위한 제2세정액 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전력을 전달하며, 상기 회전척의 중심 부위에 연결되고, 중심축을 따라 관통공이 형성되어 있는 회전축을 더 포함하고,상기 제1세정액 제공부는 상기 관통공을 통해 상기 초음파 진동부를 관통하여설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 회전축에 지지된 웨이퍼의 하부면과 상기 초음파 진동부 사이의 간격을 조절하기 위해 상기 초음파 진동부를 상하 이동시키는구동부더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 제1세정액nan은탈이온수포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 제2세정액 제공부는,상기 웨이퍼의 상부면에 탈이온수를 전체적으로 분무하기 위한 스프레이 노즐;상기 웨이퍼의 상부면에 초음파 진동이 인가된 탈이온수를 제공하기 위한 초음파 노즐; 및상기 웨이퍼의 상부면에 케미컬을 제공하기 위한케미컬노즐포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 케미컬은,불산(hf) 및 탈이온수의 혼합액,수산화암모늄(nh4oh), 과산화수소(h2o2) 및 탈이온수의 혼합액,불화암모늄(nh4f), 불산(hf) 및 탈이온수의 혼합액, 또는인산(h3po4) 및 탈이온수를 포함하는혼합액인것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 웨이퍼의 상부면과 접촉되어 회전하며, 상기 웨이퍼의 상부면 중심 부위로부터 가장자리 부위로 이동하는 브러시; 및상기 브러시의 일측에 구비되어 상기 브러시와 함께 이동하며, 상기 웨이퍼의 상부면에 탈이온수를 제공하는린스 노즐더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 세정 장치에서 제1세정액이 제공되는 경로와 이를 위해 구성되는 구성요소 간의 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation웨이퍼 세정 장치 내에서 제1세정액이 공급되는 경로와 그 경로를 형성하는 구성요소 간의 유기적 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction제1세정액 제공부의 위치, 제1세정액이 공급되는 대상, 그리고 회전축의 구조적 특징을 추출한다.
- 상기 회전척에 지지된 웨이퍼의 하부면과 상기 초음파 진동부 사이에 상기 웨이퍼의 하부면을 세정하기 위한 제1세정액을 제공하기 위한 제1세정액 제공부
- 상기 회전척의 중심 부위에 연결되고, 중심축을 따라 관통공이 형성되어 있는 회전축
- 상기 제1세정액 제공부는 상기 관통공을 통해 상기 초음파 진동부를 관통하여설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치
-
3근거 선택
evidence_selection제1세정액의 경로와 관련된 핵심 구절인 제1세정액 제공부의 설치 방식과 회전축의 관통공 정보를 선택한다.
- 상기 제1세정액 제공부는 상기 관통공을 통해 상기 초음파 진동부를 관통하여설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치
-
4논리 통합
logical_integration회전축의 중심에 형성된 관통공을 통해 제1세정액 제공부가 초음파 진동부를 관통하여 설치됨으로써, 제1세정액이 웨이퍼 하부면과 초음파 진동부 사이로 공급되는 경로가 형성됨을 논리적으로 연결한다.
- 상기 제1세정액 제공부는 상기 관통공을 통해 상기 초음파 진동부를 관통하여설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치
-
5결론 도출
conclusion_formulation제1세정액은 회전축의 관통공을 통과하여 초음파 진동부를 관통하는 방식으로 설치된 제1세정액 제공부를 통해 웨이퍼 하부면으로 제공된다.
- 상기 제1세정액 제공부는 상기 관통공을 통해 상기 초음파 진동부를 관통하여설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 회전척에 지지된 웨이퍼의 하부면과 상기 초음파 진동부 사이에 상기 웨이퍼의 하부면을 세정하기 위한 제1세정액을 제공하기 위한 제1세정액 제공부
- 상기 회전척의 중심 부위에 연결되고, 중심축을 따라 관통공이 형성되어 있는 회전축
- 상기 제1세정액 제공부는 상기 관통공을 통해 상기 초음파 진동부를 관통하여설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 세정 장치
최종 답변 (final_answer)
웨이퍼 세정 장치에서 제1세정액은 웨이퍼의 하부면과 초음파 진동부 사이로 제공된다. 이를 위해 중심축을 따라 관통공이 형성된 회전축이 구성되며, 제1세정액 제공부는 이 회전축의 관통공을 통해 초음파 진동부를 관통하여 설치됨으로써 제1세정액이 공급되는 경로를 형성한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
회전축의 관통공 구조를 이용하여 제1세정액 제공부가 초음파 진동부를 관통하도록 배치함으로써, 웨이퍼 하부면 세정을 위한 세정액 공급 경로를 확보하는 기술이다.