문맥 (context)
[청구항1]
기판 상에 막을 형성하는 공정을 수행하기 위한 반응 챔버
상기 반응 챔버의 내부에 배치되며, 상기 기판을 지지하기 위한 서셉터; 및
상기 반응 챔버의 일측에 연결되어 상기 막을 형성하기 위한 반응 가스를 상기 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급하기 위한 가스 인젝터(injector)를 포함하되,
상기 가스 인젝터에는 상기 반응 가스를 공급하기 위한 다수의 노즐들이 형성되어 있으며, 상기 다수의 노즐들은 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위로 향하여 점차 감소되는 길이를 각각 갖는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 다수의 노즐들은 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위로 향하여 점차 감소되는단면적각각갖는것을특징으로 하는원자층 증착 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 반응 챔버와 인접하는 상기 가스 인젝터의 일측면에 연결되며, 상기 가스 인젝터로부터 공급되는 반응 가스를 완충시켜 수용하기 위한 버퍼 공간을 제공하고, 수용된 반응 가스를 상기 반응 챔버로 균일하게 공급하기 위한완충기더포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 완충기는 상기 수용된 반응 가스를 상기 반응 챔버로 균일하게 공급하기 위한다수의제2노즐들갖는것을특징으로 하는원자층 증착 장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 반응 가스를 공급하기 위한 메인 배관; 및상기 메인 배관으로부터 분기되어 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위를 향하여 연장되며, 상기 다수의 노즐들과 연결되는 한쌍의서브배관들더포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,셉터와 연결되며, 상기 서셉터에 지지된 기판을 가열하기 위한히터더포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치.
[청구항7]
제1항에 있어서,상기 반응 챔버로 공급된 반응 가스를 배출하기 위한배출배관더포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
원자층 증착 장치에서 가스 인젝터에 형성된 다수의 노즐은 어떠한 구조적 특징을 가지며, 이 노즐들이 반응 가스를 공급하는 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스 인젝터의 노즐 구조적 특징과 가스 공급 방식에 대해 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 가스 인젝터의 노즐 구성과 가스 공급 방향에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 가스 인젝터에는 상기 반응 가스를 공급하기 위한 다수의 노즐들이 형성되어 있으며
- 상기 다수의 노즐들은 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위로 향하여 점차 감소되는 길이를 각각 갖는 것
- 상기 막을 형성하기 위한 반응 가스를 상기 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급하기 위한 가스 인젝터
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3근거 선택
evidence_selection노즐의 길이 변화 패턴과 가스 공급 방향에 관한 핵심 문구를 선택한다.
- 상기 다수의 노즐들은 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위로 향하여 점차 감소되는 길이를 각각 갖는 것
- 상기 막을 형성하기 위한 반응 가스를 상기 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급
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4논리 통합
logical_integration노즐의 길이는 에지에서 중심으로 갈수록 짧아지는 구조이며, 가스는 기판 상부면과 평행하게 공급된다는 점을 결합한다.
- 상기 다수의 노즐들은 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위로 향하여 점차 감소되는 길이를 각각 갖는 것
- 상기 막을 형성하기 위한 반응 가스를 상기 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 인젝터의 노즐은 에지에서 중심부로 갈수록 길이가 점차 감소하는 구조를 가지며, 가스는 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급된다는 결론을 도출한다.
- 상기 다수의 노즐들은 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위로 향하여 점차 감소되는 길이를 각각 갖는 것
- 상기 막을 형성하기 위한 반응 가스를 상기 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 구조적 특징과 공급 방식을 정리하여 답변을 생성한다.
- 상기 다수의 노즐들은 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위로 향하여 점차 감소되는 길이를 각각 갖는 것
- 상기 막을 형성하기 위한 반응 가스를 상기 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급
근거 (evidence)
- 상기 가스 인젝터에는 상기 반응 가스를 공급하기 위한 다수의 노즐들이 형성되어 있으며
- 상기 다수의 노즐들은 상기 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 상기 가스 인젝터의 중심 부위로 향하여 점차 감소되는 길이를 각각 갖는 것
- 상기 막을 형성하기 위한 반응 가스를 상기 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급하기 위한 가스 인젝터
- 상기 막을 형성하기 위한 반응 가스를 상기 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급
최종 답변 (final_answer)
가스 인젝터에 형성된 다수의 노즐은 가스 인젝터의 양측 에지 부위로부터 중심 부위로 향할수록 그 길이가 점차 감소하는 구조적 특징을 가진다. 또한, 이 노즐들을 통해 반응 가스는 서셉터에 지지된 기판의 상부면과 평행한 방향으로 공급된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 인젝터의 노즐은 에지에서 중심부로 갈수록 길이가 짧아지는 비대칭적/점진적 구조를 가지며, 가스를 기판 상부면과 평행하게 분사한다.