문맥 (context)
[청구항1]
중공형의 내부공간을 갖는 챔버 본체
상기 챔버 본체 내에서 구비되며, 기판이 안착되는 포켓이 적어도 하나 형성된 서셉터
상기 서셉터의 하부에 구비되어 상기 기판을 가열하는 가열수단
상기 챔버 본체에 상부측에 구비되며, 내부에 반응가스를 수용하기 위한 저장실을 형성하고, 상기 서셉터와의 사이에 반응공간을 형성하며, 상기 서셉터의 표면을 따라서 반응가스가 흐르도록 상기 반응공간으로 상기 반응가스를 공급하는 챔버 덮개; 및
상기 챔버 본체의 내주 벽면에 외주면이 밀착되도록 결합되며, 내주면이 흑연(graphite), 탄화 규소(sic), 탄소(c) 및 y 2 o 3 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 물질로 코팅된 차단부재
를 포함하는 화학 기상 증착 장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 차단부재는석영으로이루어진것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 가열수단은 전기히터, 고주파유도, 적외선방사 및 레이저로 이루어진 군에서 선택된하나인것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 챔버 덮개는 상기 서셉터 위로 반응가스를 거의 수직방향으로 분사하는샤워헤드형구조구비된것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 챔버 본체는스테인레스 스틸이루어진것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기 차단부재는 상기 챔버 본체의 내주 벽면을 따라 형성되되, 상기 가열수단 보다 상부에 위치하도록형성된것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항7]
제1항에 있어서,셉터의 측면과 마주하는 상기 차단부재의 내주면코팅된것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항8]
제1항에 있어서,상기 반응공간의 높이는 10mm내지인것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항9]
제1항에 있어서,상기 반응가스는 상기 챔버 본체의 외주측에 구비되는 가스배출부를 통해외부배기되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항10]
제9항에 있어서,상기 가스배출부는상기차단부재의상부측형성된것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학 기상 증착 장치에서 챔버 본체의 내주 벽면에 결합되는 차단부재의 결합 방식, 코팅 물질의 종류, 그리고 위치적 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation차단부재의 결합 방식, 코팅 물질, 위치적 특징을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1, 2, 6을 통해 차단부재의 정보를 추출한다.
- 상기 챔버 본체의 내주 벽면에 외주면이 밀착되도록 결합되며
- 내주면이 흑연(graphite), 탄화 규소(sic), 탄소(c) 및 y 2 o 3 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 물질로 코팅된 차단부재
- 상기 가열수단 보다 상부에 위치하도록형성된것
-
3근거 선택
evidence_selection결합 방식(밀착 결합), 코팅 물질(흑연, 탄화 규소, 탄소, y 2 o 3), 위치(가열수단 상부)에 해당하는 문구를 선택한다.
- 상기 챔버 본체의 내주 벽면에 외주면이 밀착되도록 결합되며
- 내주면이 흑연(graphite), 탄화 규소(sic), 탄소(c) 및 y 2 o 3 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 물질로 코팅된
- 상기 가열수단 보다 상부에 위치하도록형성된
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합 방식, 물질, 위치의 세 가지 측면으로 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation차단부재는 챔버 본체 내주 벽면에 외주면이 밀착되어 결합되며, 내주면은 흑연, 탄화 규소, 탄소, y 2 o 3 중 하나로 코팅되어 있고, 가열수단보다 상부에 위치한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 완성된 문장으로 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 챔버 본체의 내주 벽면에 외주면이 밀착되도록 결합되며
- 내주면이 흑연(graphite), 탄화 규소(sic), 탄소(c) 및 y 2 o 3 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 물질로 코팅된 차단부재
- 상기 가열수단 보다 상부에 위치하도록형성된것
- 내주면이 흑연(graphite), 탄화 규소(sic), 탄소(c) 및 y 2 o 3 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 물질로 코팅된
- 상기 가열수단 보다 상부에 위치하도록형성된
최종 답변 (final_answer)
차단부재는 챔버 본체의 내주 벽면에 외주면이 밀착되도록 결합된다. 차단부재의 내주면은 흑연(graphite), 탄화 규소(sic), 탄소(c) 및 y 2 o 3로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 물질로 코팅되어 있으며, 위치적으로는 가열수단보다 상부에 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
차단부재의 결합 구조, 코팅 재질, 그리고 가열수단과의 상대적 위치 관계를 파악하는 것이다.