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플라즈마 화학 증착 장치

uuid
92fbfbfb-28e5-564d-b212-34bdb474ea04
출원번호
1020077003974
출원연도
2004
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외에는다수의돌기형상형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. 제 1 항에 있어서,상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외에는다수의돌기형상형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. [청구항3] 제 2 항에 있어서,상기 돌기 형상은 원기둥형상인것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. 제 2 항에 있어서,상기 돌기 형상은 원기둥형상인것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. [청구항4] 제 1 항에 있어서,상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부로부터 중심을 향하여상기기판의표면과상기서셉터표면의간격변화하는것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. 제 1 항에 있어서,상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부로부터 중심을 향하여상기기판의표면과상기서셉터표면의간격변화하는것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. [청구항5] 제 4 항에 있어서,상기 기판 표면과 상기 서셉터 표면의 간격은 상기 서셉터표면의온도상관시키는것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. 제 4 항에 있어서,상기 기판 표면과 상기 서셉터 표면의 간격은 상기 서셉터표면의온도상관시키는것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. [청구항6] 제 1 항에 있어서,상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외는 상기 기판 표면과 상기 서셉터 표면이 비접촉 하게 되는 비접촉부가 형성되고, 상기 비접촉부는곡면형상인것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치. 제 1 항에 있어서,상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외는 상기 기판 표면과 상기 서셉터 표면이 비접촉 하게 되는 비접촉부가 형성되고, 상기 비접촉부는곡면형상인것을특징으로 하는플라즈마 화학 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 화학 증착 장치의 기판 탑재 영역 중 주연부 이외의 영역에는 어떠한 구조가 형성되며, 해당 구조의 형상은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    기판 탑재 영역의 주연부 이외 영역에 존재하는 구조와 그 형상을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 2항과 3항에서 돌기 형상에 관한 정보를, 청구항 6항에서 비접촉부에 관한 정보를 추출한다.

    • 상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외에는다수의돌기형상형성
    • 상기 돌기 형상은 원기둥형상
    • 상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외는 상기 기판 표면과 상기 서셉터 표면이 비접촉 하게 되는 비접촉부가 형성
    • 상기 비접촉부는곡면형상
  3. 3근거 선택evidence_selection

    주연부 이외 영역의 구성 요소인 '돌기 형상'과 '비접촉부' 및 각각의 형상 정보를 선택한다.

    • 다수의돌기형상
    • 원기둥형상
    • 비접촉부
    • 곡면형상
  4. 4논리 통합logical_integration

    주연부 이외 영역에는 돌기 형상이 형성될 수 있으며 이는 원기둥 형태이고, 동시에 비접촉부가 형성될 수 있으며 이는 곡면 형태임을 통합한다.

    • 상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외에는다수의돌기형상형성
    • 상기 돌기 형상은 원기둥형상
    • 상기 비접촉부는곡면형상
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    주연부 이외 영역에는 원기둥 형상의 다수 돌기 또는 곡면 형상의 비접촉부가 형성된다는 결론을 도출한다.

    • 다수의돌기형상
    • 원기둥형상
    • 비접촉부
    • 곡면형상
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외에는다수의돌기형상형성
  • 상기 돌기 형상은 원기둥형상
  • 상기 기판 탑재 영역의 상기 주연부 이외는 상기 기판 표면과 상기 서셉터 표면이 비접촉 하게 되는 비접촉부가 형성
  • 상기 비접촉부는곡면형상
  • 다수의돌기형상
  • 원기둥형상
  • 비접촉부
  • 곡면형상
최종 답변 (final_answer)
기판 탑재 영역의 주연부 이외의 영역에는 다수의 돌기 형상이 형성될 수 있으며, 이 돌기 형상은 원기둥 형상이다. 또한, 해당 영역에는 기판 표면과 서셉터 표면이 비접촉하게 되는 비접촉부가 형성될 수 있으며, 이 비접촉부는 곡면 형상이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 탑재 영역의 주연부 이외 영역에 형성되는 구조물(돌기, 비접촉부)과 그 구체적인 기하학적 형상(원기둥, 곡면)을 정의함.