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유기금속화학기상증착장치

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출원번호
1020140137955
출원연도
2014
IPC
C23C 16/44
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 반응공간형성유닛은, 상기 서셉터부의 상부에 배치되는 열차폐리드를 가지는 상부판과, 상기 상부판에 연결되는 측부판과, 상기 서셉터부의 상부면에 대응하는 위치에 개구가 형성된하부판포함하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 반응공간형성유닛은 상기 가스공급부의 복수의 가스공급라인에 연결되는 복수의 노즐이 각각 삽입되는 복수의 가스안내판을 구비하며, 상기 복수의 가스안내판 각각은 상기 노즐로부터 상기 서셉터부를 향하여 경사져형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 복수의 가스안내판은 최상단의 제 1 가스안내판의 경사각도가 가장 크고, 하부로 갈수록 점차 경사각도가 감소하도록설치되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 복수의 가스안내판은 상기 노즐측을 향한 끝단이 상기 노즐을 중심으로부채꼴형상형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,셉터부는, 복수의 기판이 안착되고 가열되는 히터블럭과, 상기 히터블럭을 둘러싸도록 배치되어 상기 히터블럭을 가열하는 유도가열부와, 상기 히터블럭과 상기 유도가열부 사이에 배치되는 열적 배리어와, 상기 히터블럭을 지지지하는샤프트구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 7] 제 4 항에 있어서,상기 샤프트와 상기 기판수용챔버의 바닥플랜지부 사이에는씰링부형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 8] 제 3 항에 있어서,상기 가스공급부의 상기 복수의 가스안내판이 체결된 가스가이드블럭에 연결되어 상기 복수의 가스안내판을 상기 서셉터부측을 향하여 전후로 이동시켜 위치를 조절하는가스안내판위치조절부더욱구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 복수의 가스안내판의 상기 서셉터부측을 향한 끝단은열차폐리드의하부위치되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 10] 제 2 항에 있어서,상기 열차폐리드는상기상부판질화붕소로이루어지는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 챔버리드와 상기 바닥플랜지부에는 냉각매체가 유동하는냉각유로형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
유기금속화학기상증착장치의 반응공간형성유닛에 포함되는 복수의 가스안내판은 설치 위치에 따라 경사각도가 어떻게 변화하며, 각 가스안내판의 끝단 형상은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    가스안내판의 설치 위치에 따른 경사각도 변화와 끝단 형상을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4에서 경사각도 변화를, 청구항 5에서 끝단 형상에 대한 정보를 추출한다.

    • 최상단의 제 1 가스안내판의 경사각도가 가장 크고, 하부로 갈수록 점차 경사각도가 감소하도록설치되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치
    • 상기 복수의 가스안내판은 상기 노즐측을 향한 끝단이 상기 노즐을 중심으로부채꼴형상형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    경사각도와 끝단 형상을 직접 설명하는 청구항 4와 5의 구절을 선택한다.

    • 최상단의 제 1 가스안내판의 경사각도가 가장 크고, 하부로 갈수록 점차 경사각도가 감소하도록설치되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치
    • 상기 복수의 가스안내판은 상기 노즐측을 향한 끝단이 상기 노즐을 중심으로부채꼴형상형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치
  4. 4논리 통합logical_integration

    경사각도는 상단에서 하단으로 갈수록 감소하며, 끝단은 노즐을 중심으로 부채꼴 모양임을 결합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    경사각도는 최상단에서 가장 크고 하부로 갈수록 감소하며, 끝단은 노즐을 중심으로 부채꼴 형상을 가진다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 완성된 문장으로 답변을 생성한다.

근거 (evidence)
  • 최상단의 제 1 가스안내판의 경사각도가 가장 크고, 하부로 갈수록 점차 경사각도가 감소하도록설치되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치
  • 상기 복수의 가스안내판은 상기 노즐측을 향한 끝단이 상기 노즐을 중심으로부채꼴형상형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치
최종 답변 (final_answer)
복수의 가스안내판은 최상단의 제 1 가스안내판의 경사각도가 가장 크고, 하부로 갈수록 점차 경사각도가 감소하도록 설치되며, 각 가스안내판의 노즐측을 향한 끝단은 상기 노즐을 중심으로 부채꼴 형상을 형성한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스안내판의 경사각도를 상단에서 하단으로 갈수록 점진적으로 감소시키고 끝단을 부채꼴 형상으로 설계하여 가스 흐름을 최적화하는 기술이다.