문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 캠은 판형상 캠이며, 상기 캠 기구는, 상기 하우징에 슬라이딩 가능하게 지지된 상기 장척 부재를 상기 밸브체의 진퇴방향에 직교하는 방향으로 슬라이딩시키는 구동 수단과, 상기 장척 부재와 상기 밸브체 사이에 마련된 상기 판형상 캠의 캠면에 접촉해서 상기 밸브체를 구동하는 밸브체 구동용 롤러를 구비하고,상기장척부재의슬라이딩동작을상기밸브체의진퇴동작변환하는것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 판형상 캠은, 상기 장척 부재를 한방향으로 슬라이딩시킴으로써, 상기 밸브체 구동용 롤러에 접촉해서 그 밸브체 구동용 롤러를 상기 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 전진시켜서, 상기 기판 반출입구를 가압하면서 폐색하는 위치까지 이동시키는 제 1 캠면과, 상기 밸브체가 상기 기판 반출입구측으로부터 되밀려지는 힘을 상기 장척 부재에서 받는 것에 의해 상기 밸브체를 상기 폐색 위치에서 유지하는제2캠면갖는것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 판형상 캠은 상기 장척 부재의 밸브체측에 마련하고,상기 밸브체 구동용 롤러는, 상기 밸브체가 상기 기판 반출입구에 대향하는 위치에 있을 때에, 상기 장척 부재에 대향하도록상기밸브체마련한것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 판형상 캠은 상기 밸브체의 장척 부재측에 마련하고,상기 밸브체 구동용 롤러는, 상기 밸브체가 상기 기판 반출입구에 대향하는 위치에 있을 때에, 상기 밸브체에 대향하도록상기장척부재마련한것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 6]
제 2 항에 있어서,상기 밸브체 구동용 롤러는, 상기 밸브체의 길이방향을 따라 복수 배치하는 동시에, 상기 판형상 캠은, 상기 밸브체 구동용 롤러에 대응하는 개수만큼 마련하고,상기 장척 부재를 슬라이딩시킴으로써, 상기 밸브체 구동용 롤러 모두를 일제히 구동시켜서 상기 밸브체를 진퇴시키는 동시에, 상기 밸브체 구동용 롤러 모두에 의해 상기 밸브체를 가압하면서 상기 폐색 위치에서 유지할 수구성한것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 7]
제 2 항에 있어서,상기 장척 부재가 상기 밸브체로부터 받는 힘을 받아내도록 상기 장척 부재를 그 배면측으로부터 지지하는지지부재마련한것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 지지 부재는 상기 하우징의 배면판 또는 다른 챔버의 측벽에 마련한지지롤러로이루어지는것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 지지 부재는 상기 장척 부재에 마련한지지롤러로이루어지는것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 10]
제 7 항에 있어서,상기 지지 부재는 지지 롤러로 이루어지고,상기 지지 롤러는, 상기 밸브체가 상기 기판 반출입구를 가압하면서 폐색하는 위치에 있을 때에, 상기 판형상 캠 및 상기 밸브체 구동용 롤러와 상기 장척 부재를 사이에 두고 직선상에 나열되도록배치한것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 승강 구동 수단은 피스톤 로드를 신축시킴으로써 밸브체를 연직으로 승강시키는 액추에이터에 의해 구성하고,상기 피스톤 로드의 선단은, 이 피스톤 로드에 대하여 상기 밸브체를 상기 진퇴방향으로 슬라이딩 가능한 밸브체 슬라이드 기구를 거쳐서 상기 밸브체를 그하방지지하는것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 챔버는, 기판의 처리를 실행하는 처리실, 이 처리실에 접속되는 반송실, 이 반송실에 접속되는로드록실인것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 프레임은 상기 밸브체의 배면측으로부터 간극을 두고서 상기 하우징의 배면판 또는 다른 챔버의 측벽에 장착되고, 상기 밸브체 구동용 롤러는 상기 프레임내에 마련된 지지체에 회전 가능하게 장착되며,상기 지지체는, 상기 밸브체의 배면측에 돌출한 돌기부를 갖고, 상기 밸브체 구동용 롤러의 움직임에 따라 상기 돌기부가 상기 프레임에 형성된 구멍으로부터 돌몰하도록 슬라이딩 가능하게 구성하고, 상기 돌기부에 의해 상기 밸브체의 배면측으로부터 상기 밸브체를 개폐 구동하도록구성한것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 16]
제 15 항에 있어서,상기 장척 부재가 상기 밸브체로부터 받는 힘을 받아내도록 상기 장척 부재를 그 배면측으로부터 지지하는지지부재를상기프레임내마련한것을특징으로 하는게이트 밸브.
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기 지지 부재는 상기 프레임내에 마련한지지롤러로이루어지는것을특징으로 하는게이트 밸브.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
게이트 밸브에서 판형상 캠의 제1캠면과 제2캠면은 각각 어떠한 역할을 수행하여 밸브체의 동작을 제어하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation판형상 캠의 제1캠면과 제2캠면이 밸브체의 동작을 제어하는 각각의 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 제1캠면과 제2캠면의 기능에 관한 기술적 특징을 추출한다.
- 상기 장척 부재를 한방향으로 슬라이딩시킴으로써, 상기 밸브체 구동용 롤러에 접촉해서 그 밸브체 구동용 롤러를 상기 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 전진시켜서, 상기 기판 반출입구를 가압하면서 폐색하는 위치까지 이동시키는 제 1 캠면과, 상기 밸브체가 상기 기판 반출입구측으로부터 되밀려지는 힘을 상기 장척 부재에서 받는 것에 의해 상기 밸브체를 상기 폐색 위치에서 유지하는제2캠면
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3근거 선택
evidence_selection제1캠면은 밸브체를 폐쇄 방향으로 전진시켜 폐색시키는 역할이며, 제2캠면은 밸브체를 폐색 위치에서 유지하는 역할임을 확인한다.
- 상기 장척 부재를 한방향으로 슬라이딩시킴으로써, 상기 밸브체 구동용 롤러에 접촉해서 그 밸브체 구동용 롤러를 상기 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 전진시켜서, 상기 기판 반출입구를 가압하면서 폐색하는 위치까지 이동시키는 제 1 캠면과, 상기 밸브체가 상기 기판 반출입구측으로부터 되밀려지는 힘을 상기 장척 부재에서 받는 것에 의해 상기 밸브체를 상기 폐색 위치에서 유지하는제2캠면
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4논리 통합
logical_integration제1캠면은 장척 부재의 슬라이딩을 통해 밸브체를 폐쇄 위치로 이동시키는 구동 역할을 하고, 제2캠면은 외부의 되밀려지는 힘에 대응하여 밸브체가 폐색 위치를 유지하도록 지지하는 역할을 수행함을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제1캠면은 밸브체를 폐쇄 방향으로 전진시켜 기판 반출입구를 폐색하는 위치까지 이동시키는 역할을 하며, 제2캠면은 밸브체가 되밀려지는 힘을 받을 때 폐색 위치를 유지하도록 하는 역할을 한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 장척 부재를 한방향으로 슬라이딩시킴으로써, 상기 밸브체 구동용 롤러에 접촉해서 그 밸브체 구동용 롤러를 상기 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 전진시켜서, 상기 기판 반출입구를 가압하면서 폐색하는 위치까지 이동시키는 제 1 캠면과, 상기 밸브체가 상기 기판 반출입구측으로부터 되밀려지는 힘을 상기 장척 부재에서 받는 것에 의해 상기 밸브체를 상기 폐색 위치에서 유지하는제2캠면
최종 답변 (final_answer)
제1캠면은 장척 부재를 한 방향으로 슬라이딩시켜 밸브체 구동용 롤러를 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 전진시킴으로써, 기판 반출입구를 가압하며 폐색 위치까지 이동시키는 역할을 수행한다. 제2캠면은 밸브체가 기판 반출입구 측으로부터 되밀려지는 힘을 받을 때, 그 힘을 장척 부재로부터 전달받아 밸브체를 폐색 위치에서 유지하는 역할을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
판형상 캠의 각 캠면을 통해 밸브체의 폐쇄 동작(이동)과 폐쇄 상태의 유지(지지) 기능을 분리하여 제어함으로써 게이트 밸브의 안정적인 폐색 동작을 구현한다.