문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 플레튼은 일 가장자리의 회전축을 기준으로 피봇 회전하여 일면이 상기 전극영역펼쳐지는평판표시장치용 스퍼터.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 회전축과 상기 중심축은 서로 동일방향인평판표시장치용 스퍼터.
[청구항 4]
제 2항에 있어서,상기 회전축과 상기 중심축은방향인평판표시장치용 스퍼터.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,셉터는 접지되고 상기 백킹플레이트로는 dc 전압인가되는평판표시장치용 스퍼터.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 챔버하우징은 상기 전극영역을 개방하는 적어도 하나의 도어더욱 포함하는평판표시장치용 스퍼터.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,상기 다면체 내로 실장되어 공정 진행 중 상기 백킹플레이트 내면에 근접한 상태로 스캔 이동되는 마그네틱바를더욱 포함하는평판표시장치용 스퍼터.
[청구항 8]
제 1항에 있어서,상기 백킹플레이트는 상기 다면체 각각의 외면에 부착되며 전기적으로 절연된 두 개이상인평판표시장치용 스퍼터.
[청구항 9]
제 8항에 있어서,상기 각각의 백킹플레이트 외면에고정되는평판표시장치용 스퍼터.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 각각의재질인평판표시장치용 스퍼터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
평판표시장치용 스퍼터에서 플래튼의 회전축과 중심축은 서로 어떤 관계를 가지는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation질문에서 요구하는 플래튼의 회전축과 중심축 사이의 관계를 청구항 문맥에서 찾아야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 회전축과 중심축의 관계에 대한 구체적인 기술 내용이 언급되어 있다.
- 상기 회전축과 상기 중심축은 서로 동일방향인평판표시장치용 스퍼터
-
3근거 선택
evidence_selection회전축과 중심축의 관계를 직접적으로 설명하는 청구항 3의 구절을 선택한다.
- 상기 회전축과 상기 중심축은 서로 동일방향인평판표시장치용 스퍼터
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 회전축과 중심축이 서로 동일한 방향임을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation플래튼의 회전축과 중심축은 서로 동일한 방향 관계를 가진다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 형태의 답변을 생성한다.
근거 (evidence)
- 상기 회전축과 상기 중심축은 서로 동일방향인평판표시장치용 스퍼터
최종 답변 (final_answer)
플래튼의 회전축과 중심축은 서로 동일 방향일 수 있다. 이때 플래튼은 일 가장자리의 회전축을 기준으로 피봇 회전하여 일면이 전극영역으로 펼쳐진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 플래튼의 회전축과 중심축이 동일한 방향을 유지하도록 설계하여 스퍼터 장치의 구동 구조를 정의하고 있다.