게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 실링부재용 공기제거부는 상기 제1 블레이드의 외벽에서 상기 그루브를 향해 관통되어 상기 그루브 내의 잔류 공기를 제거하는실링부재용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 실링부재용 공기제거부는 상기 제1 블레이드의 외벽에서 상기 그루브를 향해 관통되어 상기 그루브 내의 잔류 공기를 제거하는실링부재용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 그루브는 도브 테일(dove tail) 단면 형상을 가지며,상기 실링부재용 공기빼기홀은 상기 제1 블레이드의 외벽 둘레를 따라다수개배치되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제2항에 있어서,상기 그루브는 도브 테일(dove tail) 단면 형상을 가지며,상기 실링부재용 공기빼기홀은 상기 제1 블레이드의 외벽 둘레를 따라다수개배치되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항4] 제1항에 있어서,상기 밸브 챔버는 상기 제1 진공챔버의 반대편에 제2 진공 챔버가 배치되어 상기 제1 및 제2 진공 챔버 사이에 개재되는역압대응형밸브챔버인것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 제2 진공챔버의 개구부와 연통되는 상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 배치되어 상기 제2 개구부를 개폐하는 제2 블레이드(blade);상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 결합되고 상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 피크 스토퍼(peek stopper); 및상기 피크 스토퍼에 마련되어 상기 피크 스토퍼에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하는피크스토퍼용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항7] 제6항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 피크 스토퍼의 외벽에서 상기 다수의 볼트공을 향해 관통되어상기다수의볼트공내의잔류공기제거하는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제6항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 피크 스토퍼의 외벽에서 상기 다수의 볼트공을 향해 관통되어상기다수의볼트공내의잔류공기제거하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항8] 제7항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공 모두에연통되게일체마련되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제7항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공 모두에연통되게일체마련되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항9] 제7항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공에하나씩대응되게마련되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제7항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공에하나씩대응되게마련되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항10] 제5항에 있어서,상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 상기 피크 스토퍼의 표면은 경사진경사면형성하는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 상기 피크 스토퍼의 표면은 경사진경사면형성하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항11] 제5항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항12] 제11항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. 제11항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제12항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항15] 제14항에 있어서,상기 그루브는 도브 테일(dove tail) 단면 형상을 가지며,상기 실링부재용 공기제거부는 상기 제1 블레이드의 외벽에서 상기 그루브를 향해 관통되어 상기 그루브 내의 잔류 공기를 제거하되 상기 제1 블레이드의 외벽 둘레를 따라 다수 개 배치되는실링부재용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. 제14항에 있어서,상기 그루브는 도브 테일(dove tail) 단면 형상을 가지며,상기 실링부재용 공기제거부는 상기 제1 블레이드의 외벽에서 상기 그루브를 향해 관통되어 상기 그루브 내의 잔류 공기를 제거하되 상기 제1 블레이드의 외벽 둘레를 따라 다수 개 배치되는실링부재용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항16] 제14항에 있어서,상기 게이트 밸브를 사이에 두고 상기 제1 진공챔버의 반대편에 배치되는 제2 진공챔버를 더 포함하며,상기 게이트 밸브는 제1 및 제2 진공 챔버 사이에 개재되어 제1 및 제2 진공 챔버의 개구부를 선택적으로 개폐하는역압대응형게이트밸브인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항17] 제16항에 있어서,상기 게이트 밸브는,상기 제2 진공챔버의 개구부와 연통되는 상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 배치되어 상기 제2 개구부를 개폐하는 제2 블레이드(blade);상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 결합되고 상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 피크 스토퍼(peek stopper); 및상기 피크 스토퍼에 마련되어 상기 피크 스토퍼에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하는피크스토퍼용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항18] 제14항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. 제17항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항19] 제16항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. 제14항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항20] 제19항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. 제19항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항21] 제16항에 있어서,상기 제1 진공챔버와 상기 제2 진공챔버는 oled(organic light emitting diodes) 제작을 위한진공챔버인것을특징으로 하는진공처리장치. 제14항에 있어서,상기 제1 진공챔버와 상기 제2 진공챔버는 oled(organic light emitting diodes) 제작을 위한진공챔버인것을특징으로 하는진공처리장치.