문맥 (context)
[청구항1]
스핀들, 포크, 샤워헤드를 포함하며, 위치 정렬 작업이 요구되는 반도체 소자용 증착 장치에 있어서,
상기 스핀들을 기준으로 전후진/상하 이동되고, 중앙에 홀이 형성된 블레이드
가운데 부분에 상기 스핀들이 회전가능하게 결합되고, 상기 블레이드가 상기 스핀들 측으로 최대한 전진된 경우 상기 홀과 일치되도록 상기 스핀들과 끝단 사이의 영역에 고정홈이 형성된 히터 블록
상기 블레이드 및 상기 히터 블록 사이에 위치되며, 가운데 부분에 관통홀이 형성된 삽입판
쌍을 이루는 상기 포크 사이의 거리와 직경이 동일한 본체부와, 상기 본체부의 저면에 형성되고 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부를 포함하는 고정핀을 포함하는 반도체 소자용 증착 장치
[청구항2]
제1항에 있어서,체부는 원기둥 형태를 이루고,상기 핀부는 상기 본체부저면의정중앙형성된것을특징으로 하는반도체 소자용 증착 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 고정홈은다수개로서, 상기 포크가 대기 상태에서 정렬된 경우 2개씩 쌍을 이루는 상기 포크 사이 마다 형성되거나,한개형성된것을특징으로 하는반도체 소자용 증착 장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 고정홈과 상기 포크 사이의 거리는 7.25mm내지인것을특징으로 하는반도체 소자용 증착 장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 고정홈과 상기 히터 블록의 끝단 사이의 거리는 95mm내지인것을특징으로 하는반도체 소자용 증착 장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기 고정홈, 상기 홀, 상기 관통홀은 동일한형태및크기가지는것을특징으로 하는반도체 소자용 증착 장치.
[청구항7]
제1항에 있어서,부의 직경은 상기 고정홈에 착탈가능하게 끼워질 수 있도록 상기 고정홈의 직경에대응되게형성된것을특징으로 하는반도체 소자용 증착 장치.
[청구항8]
제1항에 있어서,상기 삽입판의 두께는 7.25mm내지인것을특징으로 하는반도체 소자용 증착 장치.
[청구항9]
제1항에 있어서,상기 삽입판의 두께는 상기 고정홈과 상기 포크 사이의 거리와 동일한수치가지는것을특징으로 하는반도체 소자용 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 소자용 증착 장치에 포함된 고정핀은 어떠한 구성 요소로 이루어져 있으며, 각 구성 요소는 무엇과 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation고정핀의 구성 요소와 결합 관계를 파악하는 것이 과제이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 고정핀의 구성 요소인 본체부와 핀부를 추출한다.
- 쌍을 이루는 상기 포크 사이의 거리와 직경이 동일한 본체부
- 상기 본체부의 저면에 형성되고 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부를 포함하는 고정핀
-
3근거 선택
evidence_selection본체부의 특징과 핀부의 위치, 관통 대상, 결합 대상을 특정한다.
- 본체부와, 상기 본체부의 저면에 형성되고
- 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여
- 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부
-
4논리 통합
logical_integration고정핀은 본체부와 핀부로 구성되며, 핀부는 본체부 저면에 위치하여 홀과 관통홀을 지나 고정홈에 결합됨을 연결한다.
- 상기 본체부의 저면에 형성되고 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부
-
5결론 도출
conclusion_formulation고정핀의 구성과 결합 관계를 정리하여 답변을 도출한다.
- 본체부와, 상기 본체부의 저면에 형성되고 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부를 포함하는 고정핀
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 구조화된 답변을 생성한다.
- 본체부와, 상기 본체부의 저면에 형성되고 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부를 포함하는 고정핀
근거 (evidence)
- 쌍을 이루는 상기 포크 사이의 거리와 직경이 동일한 본체부
- 상기 본체부의 저면에 형성되고 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부를 포함하는 고정핀
- 본체부와, 상기 본체부의 저면에 형성되고
- 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여
- 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부
- 상기 본체부의 저면에 형성되고 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부
- 본체부와, 상기 본체부의 저면에 형성되고 상기 홀, 상기 관통홀을 관통하여 상기 고정홈에 착탈가능하게 결합되는 핀부를 포함하는 고정핀
최종 답변 (final_answer)
고정핀은 다음과 같은 구성 요소와 결합 관계를 가진다.
1. 구성 요소: 본체부, 핀부
2. 결합 관계:
- 본체부: 쌍을 이루는 포크 사이의 거리와 직경이 동일하게 형성됨.
- 핀부: 본체부의 저면에 형성되며, 블레이드의 홀과 삽입판의 관통홀을 관통하여 히터 블록의 고정홈에 착탈가능하게 결합됨.
핵심 해석 (core_interpretation)
고정핀은 본체부와 핀부로 구성되며, 핀부는 본체부 저면에 위치하여 블레이드의 홀과 삽입판의 관통홀을 관통한 뒤 히터 블록의 고정홈에 결합되는 구조를 가진다.