처리시스템

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 프로세스 스테이션에 상기 반입부를 시점으로서 수평 방향으로 연장하는 제 1의 반송로가 설치되고 상기 반입부로부터 미처리의 기판이 1매씩 상기 제 1의 반송로를 지나상기초기단계의처리장치반송되는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 반입부가 상기 반송 기구로부터 미처리의 기판을 2매 1조로 수취하여 상기 제 1의 반송로상의 소정의 재치 위치에 차례로 1매씩 재치 하는로더부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 로더부가,상기 제 1의 반송로상의 재치 위치의 윗쪽으로 설정된 제 1의 위치와 그보다 소정값만 높은 제 2의 위치에서 상기 반송 기구로부터 미처리의 2매의 기판을 각각 수취하여 일시적으로 지지하는 제 1 및 제 2의 일시 지지부와,상기 제 1의 반송로상의 재치 위치의 아래쪽에 설정된 원위치와 상기 재치 위치의 윗쪽으로 설정된 주행위치의 사이에 승강 이동 가능한 제 1의 리프트 부재를 갖고 ; 상기 반송 기구로부터 미처리의 2매의 기판이 상기 제 1 및 제 2의 일시 지지부에 각각 인도된 후에 상기 제 1의 리프트 부재를 상기 원위치와 상기 제 1의 위치의 사이에 왕복 이동시켜 상기 제 1의 일시 지지부로부터 1매째의 기판을 상기 재치 위치로 옮기고 그 1매째의 기판이 상기 제 1의 반송로상에서 상기 재치 위치를 떠난 후에 상기 제 1의 리프트 부재를 상기 원위치와 상기 제 2의 위치의 사이에 왕복 이동시켜 상기 제 2의 일시 지지부로부터 2매째의 기판을 상기 재치 위치로 옮기는 제 1의 이재부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기제 1의 일시 지지부가,상기 기판이 승강하는 영역의 외측에 설치된 수직의 제 1의 회전축을 중심으로 하여 상기 제 1의 위치와 상기 기판 승강 영역의 외측의 제 3의 위치의 사이에 선회 가능한 제 1의 지지 아암과, 상기 제 1의 지지 아암에 장착된 1개 또는 복수 라인의 지지 핀과, 상기 제 1의 지지 아암을 선회 구동하는 제 1의 지지 아암구동부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 6] 청구항 4 또는 5에 있어서,상기제 2의 일시 지지부가,상기 기판 승강 영역의 외측에 설치된 수직의 제 2의 회전축을 중심으로 하여 상기 제 2의 위치와 상기 기판 승강 영역의 외측의 제 4의 위치의 사이에 선회 가능한 제 2의 지지 아암과,상기 제 2의 지지 아암에 장착된 1개 또는 복수 라인의 지지 핀과, 상기 제 2의 지지 아암을 선회 구동하는 제 2의 지지 아암구동부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 7] 청구항 1, 2, 3, 4 중 어느 한항에 있어서,상기 프로세스 스테이션에 상기 반출부를 종점으로서 수평 방향으로 연장하는 제 2의 반송로가 설치되고 상기 최종단계의 처리 장치로부터 처리 완료의 기판이 1매씩 상기 제 2의 반송로를 지나상기반출부반송되는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 반출부가 상기 제 2의 반송로상의 소정의 반출 위치에서 처리 완료의 기판을 차례로 1매씩 들어올려 상기 반송 기구에 처리 완료의 기판을 2매 1조로 건네주는언로더부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 언로더부가,상기 제 2의 반송로상의 반출 위치로부터 올려진 처리 완료의 기판을 2매 1조로 상기 반송 기구에 건네주기 위해서 상기 반출 위치의 윗쪽으로 설정된 제 5의 위치와 그보다 소정값만 높은 제 6의 위치에 2매의 기판을 각각 일시적으로 지지하는 제 3 및 제 4의 일시 지지부와,상기 제 2의 반송로상의 반출 위치의 아래쪽으로 설정된 원위치와 상기 반출 위치의 윗쪽으로 설정된 주행 위치의 사이에 승강 이동 가능한 제 2의 리프트 부재를 가져 1매째의 기판이 상기 반출 위치에 도착하고 나서 상기 제 2의 리프트 부재를 상기 원위치와 상기 제 6의 위치의 사이에 왕복 이동시켜 그 1매째의 기판을 상기 반출 위치로부터 상기 제 4의 일시 지지부에 옮기고, 다음에 2매째의 기판이 상기 반출 위치에 도착하고 나서 상기 제 2의 리프트 부재를 상기 원위치와 상기 제 5의 위치의 사이에 왕복 이동시켜 그 2매째의 기판을 상기 반출 위치로부터 상기 제 3의 일시 지지부에 옮기는 제 2의 이재부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기제 3의 일시 지지부가,상기 기판이 승강하는 영역의 외측에 설치된 수직의 제 3의 회전축을 중심으로 하여 상기 제 5의 위치와 상기 기판 승강 영역의 외측의 제 7의 위치의 사이에 선회 가능한 제 3의 지지 아암과, 상기 제 3의 지지 아암에 장착된 1개 또는 복수 라인의 지지 핀과, 상기 제 3의 지지 아암을 선회 구동하는 제 3의 지지 아암구동부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 11] 청구항 9에 있어서,상기제 4의 일시 지지부가,상기 기판 승강 영역의 외측에 설치된 수직의 제 4의 회전축을 중심으로 하여 상기 제 6의 위치와 상기 기판 승강 영역의 외측의 제 8의 위치의 사이에 선회 가능한 제 4의 지지 아암과,상기 제 4의 지지 아암에 장착된 1개 또는 복수 라인의 지지 핀과, 상기 제 4의 지지 아암을 선회 구동하는 제 4의 지지 아암구동부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 12] 청구항 2, 3, 4, 5 중 어느 한항에 있어서,상기 반송 기구가 상기 카셋트로부터 함께 꺼낸 제 1의 기판 및 제 2의 기판을 상하 2단으로 정렬하여 상기 반입부에 반입하고 상기 반출부로부터 상기 반입부에 반입되었을 때와 같은 상하 위치 관계로 상하 2단으로 정렬되어진 상기 제 1의 기판 및 제 2의기판함께반출하는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 프로세스 스테이션이 상기 초기 단계의 처리 장치를 향해 상기 반입부에서 먼저 송출되는 상기 제 1의 기판과 후에 송출되는 상기 제 2의 기판의 반송 순서를 상기 반입부로부터 상기 복수의 처리 장치를 개재하여 상기 반출부까지 반송하는 도중에서 서로 교체하는교체부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 14] 청구항 13에 있어서,상기 프로세스 스테이션에 상기 반출부를 종점으로서 수평 방향으로 연장하는 제 2의 반송로가 설치되고 상기 최종단계의 처리 장치로부터 처리 완료의 기판이 1매씩 상기 제 2의 반송로를 지나 상기 반출부까지 반송되고, 상기 교체부가 상기 제 1 또는 제 2의 반송로의 어느쪽설치되는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 15] 청구항 14에 있어서,상기 교체부가,상기 제 1 혹은 제 2의 반송로상의 소정의 교체위치보다 윗쪽으로 설정된 제 9의 위치에서 상기 제 1의 기판을 일시적으로 지지하는 제 5의 일시 지지부와,상기 교체위치의 아래쪽으로 설정된 원위치와 상기 제 9의 위치의 사이에서 승강 이동 가능한 제 3의 리프트 부재를 갖고 상기 제 1의 기판이 상기 교체위치에 도착하고 나서 상기 제 3 리프트 부재를 상기 원위치와 상기 제 9의 위치의 사이에 왕복 이동시켜 상기 제 1의 기판을 상기 교체위치로부터 상기 제 9의 위치에 옮기고 상기 제 2의 기판이 상기 교체위치를 통과하고 나서 상기 제 3의 리프트 부재를 상기 원위치와 상기 제 9의 위치의 사이에 왕복 이동시켜 상기 제 1의 기판을 상기 제 9의 일시 지지부로부터 상기 교체위치에 옮기는 제 3의 이재부가지는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 16] 청구항 1, 2, 3, 4, 5 중 어느 한항에 있어서,상기 반송 기구가,상기 카셋트 스테이션과 상기 프로세스 스테이션의 상기 반입부와 상기 반출부의 사이에 이동 가능한 반송 본체와,상기 반송 본체에 장착된 수평 방향으로 원하는 스트로크로 진퇴 이동 가능한 반송 아암과,상기 반송 아암의 선단부에 상하 2단으로 고정된 기판 지지용의 제 1 및 제 2의 핀셋을 갖고,상기 카셋트로부터 상하에 연속하는 미처리의 제 1 및 제 2의 기판을 상기 제 1 및 제 2의 핀셋에 실어 동시에 꺼내고 그 다음에 그들 미처리의 제 1 및 제 2의 기판을 동시에 상기 반입부에 반입하고 상기 반출부로부터 처리 완료의 제 1 및 제 2의 기판을 상기 제 1 및 제 2의 핀셋에 실어 동시에 꺼내고 그 다음에 그들 처리 완료의 제 1 및 제 2의 기판을 동시에상기카셋트에되돌리는것을특징으로 하는처리 시스템. [청구항 17] 청구항 1, 2, 3, 4, 5 중 어느 한항에 있어서,상기 반송 기구가,상기 카셋트 스테이션과 상기 프로세스 스테이션의 반입부 및 반출부의 사이에서 이동 가능한 반송 본체와,상기 반송 본체에 장착된 수평 방향으로 원하는 스트로크로 왕복 이동 가능한 제 1 및 제 2의 반송 아암과,상기 제 1 및 제 2의 반송 아암의 선단부에 각각 고정된 기판 지지용의 제 1 및 제 2의 핀셋을 갖고,상기 카셋트로부터 임의의 제 1 및 제 2의 기판을 상기 제 1 및 제 2의 핀셋에 실어 동시 또는 차례로 꺼내어 그 다음에 그들 미처리의 제 1 및 제 2의 기판을 동시 또는 차례로 상기 반입부에 반입하고 상기 반출부로부터 처리 완료의 제 1 및 제 2의 기판을 상기 제 1 및 제 2의 핀셋에 실어 동시 또는 차례로 꺼내 그 다음에 그들 처리 완료의 제 1 및 제 2의 기판을 동시 또는 차례로 상기 카셋트에되돌리는것을특징으로 하는처리 시스템.