문맥 (context)
[청구항1]
챔버와;
기판을 지지하는 기판지지유닛과
상기 기판 상으로 공정가스를 공급하는 분사유닛을 포함하되
상기 기판지지유닛은,
기판이 안착되는 기판홀더와
상면에 상기 기판홀더가 안착되는 홀더 안착홈이 형성되는 서셉터와
상기 서셉터를 회전시키는 회전축과
상기 기판홀더의 외측부를 지지하는 수평유지부재를 포함하되
상기 홀더 안착홈의 상면에는 가스를 분사하는 분사홀이 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 기판홀더의 외측부에는 원주방향을 따라 링 형상의 외측홈이 형성되고,상기 수평유지부재는,상기 외측홈에 삽입되는 삽입체와내부에서 상기 삽입체가 회전 가능하도록 상기 삽입체와 결합되는 브라켓을 포함하되;상기 홀더 안착홈을 제공하는 측면에는 상기 브라켓이 삽입되는 내측홈이 형성되고, 상기 삽입체는구또는롤러형상구름부재인것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판홀더의 외측부와 수평유지부재는 어떠한 구성요소를 통해 서로 결합 및 지지되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판홀더와 수평유지부재 사이의 결합 구조를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction기판홀더의 외측부 특징과 수평유지부재의 세부 구성을 추출한다.
- 기판홀더의 외측부에는 원주방향을 따라 링 형상의 외측홈이 형성되고
- 수평유지부재는,상기 외측홈에 삽입되는 삽입체와내부에서 상기 삽입체가 회전 가능하도록 상기 삽입체와 결합되는 브라켓을 포함
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3근거 선택
evidence_selection결합 관계를 설명하는 외측홈, 삽입체, 브라켓 관련 문구를 선택한다.
- 링 형상의 외측홈이 형성되고
- 외측홈에 삽입되는 삽입체
- 삽입체와 결합되는 브라켓
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4논리 통합
logical_integration기판홀더의 외측홈에 삽입체가 들어가고, 브라켓이 삽입체와 결합하여 전체적인 지지 구조를 형성함을 연결한다.
- 외측홈에 삽입되는 삽입체
- 상기 삽입체와 결합되는 브라켓
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5결론 도출
conclusion_formulation기판홀더의 외측홈에 삽입체가 삽입되고, 브라켓이 삽입체와 결합하여 수평유지부재를 구성한다는 결론을 도출한다.
- 외측홈에 삽입되는 삽입체와내부에서 상기 삽입체가 회전 가능하도록 상기 삽입체와 결합되는 브라켓을 포함
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 기판홀더의 외측부에는 원주방향을 따라 링 형상의 외측홈이 형성되고
- 수평유지부재는,상기 외측홈에 삽입되는 삽입체와내부에서 상기 삽입체가 회전 가능하도록 상기 삽입체와 결합되는 브라켓을 포함
- 링 형상의 외측홈이 형성되고
- 외측홈에 삽입되는 삽입체
- 삽입체와 결합되는 브라켓
- 상기 삽입체와 결합되는 브라켓
- 외측홈에 삽입되는 삽입체와내부에서 상기 삽입체가 회전 가능하도록 상기 삽입체와 결합되는 브라켓을 포함
최종 답변 (final_answer)
기판홀더의 외측부에 형성된 링 형상의 외측홈에 삽입체가 삽입되며, 수평유지부재의 구성요소인 브라켓이 삽입체와 결합하여 삽입체가 내부에서 회전 가능하도록 함으로써 결합 및 지지된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판홀더의 외측홈과 수평유지부재의 삽입체 및 브라켓 간의 상호 결합 구조를 통한 지지 방식