정전기적으로 구동되는 래치 가능 액추에이터 시스템

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 래치 수단은상기 액추에이터의 양측 단부에서 상기 중앙전극의 바깥 쪽에 각각 배치된 캐치들; 및상기 측 가동체들에 각각 인접하여 상기 기판 위에 형성된 래치 부재들을 포함하며,상기 래치 부재 각각은 그 대응된 캐치와 맞물릴 수 있는 멈춤쇠(detent)를 가지며,상기 캐치 각각은 상기 액추에이터의 이동에 따라 2가지 상태를 취하되, 그 중 하나의 상태는 상기 캐치가 상기 액추에이터를 래치하기 위해 상기 멈춤쇠에 맞물릴 수 있는 래치 인에이블 상태(latch-enable condition)이고, 다른 상태는 상기 캐치가 상기 멈춤쇠와 맞물리지 않는 래치 디스에이블 상태(latch-disabled condition)이며, 상기 캐치들 중 하나의 캐치가 상기 래치 디스에이블 위치에 있을 때 다른 캐치는 상기 래치 인에이블 위치에 있으며,상기 캐치 각각은 상기 액추에이터의 이동에 따라, 상기 래치 인에이블 위치에서 상기 래치 인에이블 위치로 진입하여 그 대응된 멈춤쇠와의 래치 맞물림을 유지하며,상기 언래치 수단은 상기 측 가동체 각각을 상기 래치 부재들 중 각각 대응된 래치 부재에 기계적으로 각각 결합하는 해제 링크를 포함하며,상기 해제 링크 각각은, 상기 측 가동체들 중 상기 래치 부재에 결합된 측 가동체가 상기 시프트된 위치로 이동하는 것에 응답하여, 상기 래치 부재 중 대응하는 래치 부재를 상기 멈춤쇠와 상기 캐치의 맞물림을 해제하도록 이동시키고, 이에 의해 상기 액추에이터가 언래치하는것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 해제 링크는 상기 기판 위에 형성된하나이상의스프링포함하는것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 래치 부재들nan은각각상기측전극들과전기적절연되어있는것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 래치 부재는, 상기 래치 인에이블 상태에서 상기 멈춤쇠가 상기 대응된 캐치와 맞물리는 래치 위치와, 상기 래치 디스에이블 상태에서 상기 멈춤쇠가 상기 캐치로부터 해제되는 해제 위치 사이를 이동할 수 있도록 상기 기판으로부터탄성적지지되는것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 캐치들각각은 모두 상기 액추에이터가 상기 중립 위치에 있을 때 상기 래치 디스에이블 상태를 유지하며, 상기 해제 링크는, 상기 측 가동체들 중 상기 대응된 측 가동체가 그 시프트된 위치로 이동하는 것에 응답하여, 상기 래치 부재를 상기 해제 위치로 이동시키고 상기 래치 인에이블 상태를 유지하고 있던 상기 캐치들 중 상기 대응된 캐치가 상기 래치 디스에이블 상태로 될 수 있게 하며, 이에 의해 상기 액추에이터를 언래치시켜 상기 작동 위치들 중 하나의 작동 위치로부터 벗어날 수 있게 하며,상기 캐치 각각은, 상기 액추에이터가 다른 캐치에서 언래치되는 방향으로 이동할 때 상기 래치 부재들 중 대응된 래치 부재를 상기 래치 위치에서 상기 해제 위치로 이동시키기 위해 상기 대응된 래치 부재와 맞물릴 수 있게 되고, 그 후 상기 하나의 캐치가 상기 래치 디스에이블 상태에서 상기 래치 인에이블 상태로 되어 상기 래치 부재가 상기 하나의 캐치와 래치해서 맞물림을 형성하는 래치 위치로탄성적복귀하는것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 구동 수단은 상기 측 가동체들 중 하나의 측 가동체의 측 전극과 중앙 전극들 사이에 전압차를 인가함으로써, 상기 액추에이터가 상기 중립 위치에서 상기 작동 위치들 중 하나의 작동 위치로 이동하도록상기액추에이터를상기하나의측가동체로정전기적구성된것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 구동 수단은 상기 측 가동체들 중 하나의 측 가동체의 상기 측 전극들과 상기 중앙 전극들 사이에 전압차를 인가함으로써, 상기 액추에이터가 상기 작동 위치들 중 다른 작동 위치에서 상기 하나의 작동 위치로 이동하도록상기액추에이터를상기하나의측가동체로정전기적구성된것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 구동 수단은 상기 측 가동체 둘 다의 상기 측 전극들과 상기 중앙 전극들 사이에 전압차를 인가함으로써, 상기 액추에이터가 상기 작동 위치들 중 어느 하나의 작동 위치에서 상기 중립 위치로 이동하도록구성된것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 래치 수단은, 상기 액추에이터와 상기 측 가동체들 중 어느 하나의 측 가동체 사이에 상기 정전기적 인력이 없을 때 상기 액추에이터를 상기 중립 위치를 중심으로 유지하는 리테이너 수단포함하는액추에이터 시스템. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 래치 수단은상기 측 가동체 각각에 인접하여 상기 기판으로부터 탄성적으로 지지되며, 그 한쪽의 단부는 상기 기판에 고정되고 다른 쪽의 자유 단부(free end)에 멈춤쇠가 형성되는, 적어도 하나의 래치 부재; 및상기 멈춤쇠를 해제 가능하게 수용하기 위해 상기 액추에이터의 양측 단부에 각각 형성되며, 상기 멈춤쇠와 맞물릴 수 있는 캐치를 그 개방 단부에 구비하는 소켓을 포함하며,상기 캐치들 중 하나는, 상기 액추에이터가 상기 작동 위치들 중 어느 하나의 작동 위치에 있을 때 상기 액추에이터를 래치하기 위해 상기 소켓의 외측으로 상기 멈춤쇠와 접경하며,상기 캐치들 중 하나는, 상기 액추에이터가 상기 측 가동체들 중 하나에 정전기적으로 끌어당겨져 이동할 때 상기 멈춤쇠가 상기 소켓의 외측으로 벗어날 수 있도록 하기 위해 상기 래치 부재를 탄성적으로 변형하도록 상기 소켓의 내측에서 상기 멈춤쇠와 맞물리며, 이에 의해 상기 래치 부재는 상기 소켓의 외측에서 상기 캐치와 맞물리도록 탄성적으로 복귀할 수 있으며,상기 언래치 수단은 상기 측 가동체와 함께 이동될 수 있도록 상기 측 가동체 각각에 형성된 해제 레버를 포함하며, 상기 해제 레버는, 상기 적어도 하나의 래치 부재를 탄성적으로 변형하도록 상기 적어도 하나의 래치 부재와 맞물리어, 상기 멈춤쇠를 상기 캐치로부터 해제하고, 상기 측 가동체들 중 하나가 상기 정전기적 인력에 의해 상기 액추에이터 쪽으로 이동할 때 상기 멈춤쇠가 상기 소켓 쪽으로 전진할 수있는것을특징으로 하는액추에이터 시스템. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 소켓 각각은, 그 내측에 리테이너 돌기부가 상기 선형 축을 따라 상기 캐치로부터 내측으로 이격되어 제공되며, 상기 리테이너 돌기부는 상기 액추에이터가 상기 중립 위치에 있을 때 상기 멈춤쇠에 가까이 있으며, 상기 액추에이터와 상기 측 가동체들 중 어느 하나 사이에 상기 정전기적 인력이 없을 때는 상기 액추에이터를 그중립위치를중심유지하는것을특징으로 하는액추에이터 시스템.