금속유기 화학기상 증착장치

[청구항1] 하부로 개방된 상부덮개와 상부로 개방된 하부덮개를 갖추어 상하합형시 일정크기의 내부공간을 형성하는 반응챔버 상기 상,하부덮개에 구비되는 상,하부 중공축에 각각 회전가능하게 조립되는 상,하부 서셉터를 갖추어 서로 마주하는 상,하부 서셉터의 대응면에 적어도 하나 이상의 웨이퍼가 배치되는 웨이퍼 배치부 상기 상부 덮개와 상부 서셉터사이에 구비되는 상부 히터와, 상기 하부 덮개와 하부 서셉터사이에 구비되는 하부 히터를 갖추어 상기 상,하부 서셉터에 복사열을 제공하는 가열부 상기 상,하부 중공축을 회전중심으로 하여 상,하부 서섭터를 일방향으로 회전시키는 동력을 제공하는 회전구동부 상기 상,하부덮개의 외측테두리에 접하도록 배치되고, 상기 반응챔버의 내부공간과 연결되는 가스공급구를 갖추어 서로 마주하는 상,하부 서셉터의 대응면사이로 반응가스를 공급하는 가스공급부: 및 상기 상,하부 중공축을 통하여 상기 웨이퍼와 반응완료된 반응가스를 외부로 배출하는 가스배기부 를 포함하는 금속유기 화학기상 증착장치 [청구항2] 제1항에 있어서,상기 반응챔버의 일측에는 덮개회동부를 추가 포함하며, 상기 덮개회동부는 상기 상부덮개 또는 하부덮개중 어느 하나에 연결되는 일단이 연결되는 회동아암과, 상기 회동아암과 상단이 힌지축을 매개로 하여 연결되는고정아암포함함을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치. [청구항3] 제1항에 있어서,상기 상부 서셉터는 상기 상부 서셉터에 일단 고정단이 고정되고, 상기 웨이퍼의 표면에 타단 자유단이 탄성적으로 접하도록 굽힘변형된복수개의탄성와이어구비함을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치. [청구항4] 제1항에 있어서,상기 상,하부히터는 상기 상,하부 서셉터를 동일한 온도로 가열하거나 서로 다른 온도로 가열하도록독립적제어됨을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치. [청구항5] 제1항에 있어서,상기 회전 구동부는 상기 상부 서셉터의 외주면에 형성된 피동기어와 기어물림되는 구동기어를 선단에 장착한 구동축을 구비하는 상부 회전모터와, 상기 하부서셉터의 외주면에 형성된 피동기어와 기어물림되는 구동기어를 선단에 장착한 구동축을 구비하는하부회전모터포함함을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 상,하부 회전모터는 상기 상,하부 서셉터를 동일한 방향 및 동일한 속도로회전구동함을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치. [청구항7] 제1항에 있어서,상기 상부덮개와 하부덮개에는 상기 상,하부 서셉터의 외부면이나 상기 상,하부 히터에 각각 근접하도록 배치되어 가열온도를 측정하는 상,하부 온도센서각각구비함을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치. [청구항8] 제1항에 있어서,상기 가스공급부는 상기 상,하부덮개의 외측테두리에 접하도록 배치되는 환고리형의 삽입부재와 상기 반응챔버의 내부공간측으로 개구되도록 상기 삽입부재에 구비되는 급기구 및 상기 급기구와 급기라인을 매개로 연결되는가스공급구포함함을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치. [청구항9] 제8항에 있어서,상기 급기구로부터 공급되는 반응가스의 공급위치는 상기 상,하부서셉터사이의상하간격중심서로일치됨을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치. [청구항10] 제1항에 있어서,상기 가스배기부는 상기 상,하부 중공축의 출구단으로 부터 상기 상,하부 덮개의 외측으로 일정길이 연장되는 배기라인으로 구비되거나 상기 상,하부 중공축의 출구단에 조립되는배기라인구비됨을특징으로 하는금속유기 화학기상 증착장치.