문맥 (context)
[청구항1]
가스가 제공되고, 상기 가스를 이용하여 기판 상에 막을 형성하기 위한 챔버
상기 챔버 내부에 구비되고, 상기 기판을 가열하기 위한 히터
상기 히터의 상부에 구비되고, 상기 기판을 지지하기 위한 서셉터
상기 기판을 지지하는 상기 서셉터의 제1면과 수직하는 상기 서셉터의 제2면으로부터 상기 서셉터의 내부로 상기 제1면과 평행하게 연장되는 제1홈에 장착되고, 상기 서셉터의 온도를 측정하기 위한 열전대; 및
상기 열전대를 감싸도록 구비되어 상기 제1홈에 결합되고, 상기 가스가 상기 제1홈과 상기 열전대 사이로 유입되는 것을 방지하며, 상기 서셉터에 상기 열전대를 고정시키기 위한 고정 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 막 형성 장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 고정 부재는 상기 서셉터와 동일한재질로이루어지는것을특징으로 하는막 형성 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 히터와 인접하는 상기 서셉터의 제3면에는 상기 서셉터를 접지시키기 위한 접지 라인이 연결되는 제2홈이 형성되어 있으며, 상기 제1면과 상기 제2홈 사이의 두께는상기제1면과상기제1홈사이의두께동일한것을특징으로 하는막 형성 장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 고정 부재 및 상기 접지 라인은 나사 결합 방식으로 상기 서셉터결합되는것을특징으로 하는막 형성 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
막 형성 장치에서 열전대는 서셉터의 어느 부분에 장착되며, 열전대를 보호하고 고정하기 위해 어떤 구성요소가 사용되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation열전대의 장착 위치와 이를 보호/고정하는 구성요소의 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction열전대의 위치, 고정 부재의 위치, 고정 부재의 기능을 추출한다.
- 제1홈에 장착되고
- 상기 열전대를 감싸도록 구비되어 상기 제1홈에 결합되고
- 상기 가스가 상기 제1홈과 상기 열전대 사이로 유입되는 것을 방지하며, 상기 서셉터에 상기 열전대를 고정시키기 위한 고정 부재
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3근거 선택
evidence_selection열전대의 위치를 나타내는 '제1홈'과 보호/고정 역할을 하는 '고정 부재' 관련 문구를 선택한다.
- 제1홈에 장착되고, 상기 서셉터의 온도를 측정하기 위한 열전대
- 상기 열전대를 감싸도록 구비되어 상기 제1홈에 결합되고, 상기 가스가 상기 제1홈과 상기 열전대 사이로 유입되는 것을 방지하며, 상기 서셉터에 상기 열전대를 고정시키기 위한 고정 부재
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4논리 통합
logical_integration열전대는 서셉터의 제1홈에 장착되며, 고정 부재가 열전대를 감싸서 제1홈에 결합됨으로써 가스 유입을 막고 열전대를 고정한다는 논리를 구성한다.
- 제1홈에 장착되고
- 상기 열전대를 감싸도록 구비되어 상기 제1홈에 결합되고
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5결론 도출
conclusion_formulation열전대는 제1홈에 장착되고, 고정 부재가 열전대를 감싸며 제1홈에 결합되어 가스 유입 방지 및 고정 역할을 수행한다.
- 제1홈에 장착되고
- 상기 가스가 상기 제1홈과 상기 열전대 사이로 유입되는 것을 방지하며, 상기 서셉터에 상기 열전대를 고정시키기 위한 고정 부재
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 제1홈에 장착되고
- 상기 열전대를 감싸도록 구비되어 상기 제1홈에 결합되고
- 상기 가스가 상기 제1홈과 상기 열전대 사이로 유입되는 것을 방지하며, 상기 서셉터에 상기 열전대를 고정시키기 위한 고정 부재
- 제1홈에 장착되고, 상기 서셉터의 온도를 측정하기 위한 열전대
- 상기 열전대를 감싸도록 구비되어 상기 제1홈에 결합되고, 상기 가스가 상기 제1홈과 상기 열전대 사이로 유입되는 것을 방지하며, 상기 서셉터에 상기 열전대를 고정시키기 위한 고정 부재
최종 답변 (final_answer)
열전대는 서셉터의 제1홈에 장착된다. 또한, 열전대를 감싸도록 구비되어 제1홈에 결합되는 고정 부재가 사용되며, 이 고정 부재는 가스가 제1홈과 열전대 사이로 유입되는 것을 방지하고 열전대를 서셉터에 고정하는 역할을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
열전대는 서셉터의 제1홈에 위치하며, 고정 부재가 이를 감싸서 가스 유입을 차단하고 물리적으로 고정한다.