기판처리장치

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,셉터의 저면과 상기 서셉터지지부의 상면이 서로 이격되도록 하나 이상의 이격부가 상기 서셉터의 저면과 상기 서셉터지지부사이설치된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 이격부는 상기 서셉터 또는 상기 서셉터지지부에 결합되는이격부재포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 청구항 2에 있어서,상기 이격부는 상기 서셉터의 저면에 설치되는 이격부재와,상기 이격부재에 대응되는 위치에 상기 서셉터지지부에 결합되어 상기 이격부재와 슬라이딩가능하게 상기 이격부재를 지지하는슬라이딩플레이트포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 이격부재는 상기 서셉터의 저면에 끼움 결합되거나 체결부재에 의하여고정결합되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 청구항 4에 있어서,상기 이격부들 중 일부의 이격부재는 상기 서셉터지지부에 대하여 상기 서셉터의 중심을 기준으로 반경 방향으로만 슬라이딩 가능하게설치되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 청구항 4에 있어서,상기 슬라이딩플레이트에 대하여 상기 서셉터의 중심으로부터 반경방향으로의 상기 이격부재의 슬라이딩을 가이드하는 하나 이상의 가이드부재가 상기 슬라이딩플레이트에또는상기슬라이딩플레이트부근설치된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 청구항 4에 있어서,상기 이격부재는 상기 서셉터의 저면에 끼움 결합되거나 체결부재에 의하여 고정 결합되는 제1이격부재와, 상기 제1이격부재 및 상기 슬라이딩플레이트에 대하여 슬라이딩이 가능하게 상기 제1이격부재 및 상기 슬라이딩플레이트 사이에 개재되는제2이격부재포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 제1이격부재 및 상기 슬라이딩플레이트는 알루미늄 또는 알루미늄합금재질을 가지며, 상기 제2이격부재는세라믹재질가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 슬라이딩플레이트는 아노다이징처리된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 11] 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 하나의 항에 있어서,셉터지지부는상기 공정챔버를 관통하도록 설치되며 승강구동장치에 의하여 상하로 구동되는 지지로드와, 상기 지지로드의 상단에 설치되어 상기 서셉터의 저면을 지지하는지지플레이트포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기 지지플레이트는 상기 서셉터를 향하는 상면과 반대쪽 면인 저면 쪽에는 구조보강을 위하여 상기 지지로드를 중심으로 방사상으로 형성된복수의리브형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 13] 청구항 11에 있어서,상기 지지플레이트의 두께는 적어도 일부분에서 상기 지지로드로부터끝단감소하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 14] 청구항 11에 있어서,상기 공정챔버는 복수개의 상기 서셉터지지부들의 지지로드의 하단과 연결되는 구동플레이트가 추가로 설치되며,상기 승강구동장치는 상기 구동플레이트를 상하로 이동시켜 상기 서셉터지지부에 지지되는상기서셉터를상하이동시키는것을특징으로 하는기판처리장치.