문맥 (context)
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 밸브구동부의 좌우 측면과 롤링플레이트(220) 사이에는롤베어링더포함되는것을특징으로 하는사각 게이트 진공밸브.
[청구항5]
제 1항 또는 제 4항에 있어서,상기 냉각부는 상기 메인샤프트 또는 상기 밸브하우징의 상판의 내부에 형성된 냉각수유체관특징으로 하는사각 게이트 진공밸브.
[청구항6]
제 1항에 있어서,상기 밸브구동부는 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310);상기 피스톤에 결합되고 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320);상기 피스톤을 지지하며 상기 피스톤을 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면에 평행한 방향으로 구동할 수 있도록하는실린더포함하는것을특징으로 하는사각 게이트 진공밸브.
[청구항7]
제 1항에 있어서,상기 무빙유닛(230)의 좌, 우 측면에는 록베어링(410)이 더 포함되고, 상기 하우징(100)의 하부의 좌, 우 내측면에는 상기 록베어링을 정지시키는록킹브라켓포함하는것을특징으로 하는사각 게이트 진공밸브.
[청구항8]
제 7항에 있어서,상기 록킹브라켓(420)은 상기 록베어링(410)을 정지시키기 위하여 돌출부(423)가 형성된록킹지지부포함하는것을특징으로 하는사각 게이트 진공밸브.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
사각 게이트 진공밸브의 밸브구동부를 구성하는 요소들은 무엇이며, 피스톤과 피스톤샤프트는 각각 어떠한 특징을 가지는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation밸브구동부의 구성요소와 피스톤 및 피스톤샤프트의 특징을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 밸브구동부의 구성요소인 피스톤, 피스톤샤프트, 실린더를 추출한다.
- 밸브구동부는 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310)
- 피스톤에 결합되고 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320)
- 상기 피스톤을 지지하며 상기 피스톤을 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면에 평행한 방향으로 구동할 수 있도록하는실린더
-
3근거 선택
evidence_selection피스톤의 구동 방식과 피스톤샤프트의 이동 방향에 관한 핵심 문구를 선택한다.
- 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310)
- 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320)
-
4논리 통합
logical_integration밸브구동부는 피스톤, 피스톤샤프트, 실린더로 구성되며, 피스톤은 압축공기로 구동되고 피스톤샤프트는 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동함을 통합한다.
- 밸브구동부는 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310)
- 피스톤에 결합되고 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320)
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 구성요소와 각각의 특징을 정리하여 결론을 도출한다.
- 밸브구동부는 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310);상기 피스톤에 결합되고 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320);상기 피스톤을 지지하며 상기 피스톤을 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면에 평행한 방향으로 구동할 수 있도록하는실린더
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 밸브구동부는 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310)
- 피스톤에 결합되고 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320)
- 상기 피스톤을 지지하며 상기 피스톤을 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면에 평행한 방향으로 구동할 수 있도록하는실린더
- 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310)
- 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320)
- 밸브구동부는 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310);상기 피스톤에 결합되고 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320);상기 피스톤을 지지하며 상기 피스톤을 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면에 평행한 방향으로 구동할 수 있도록하는실린더
최종 답변 (final_answer)
밸브구동부는 피스톤(310), 피스톤샤프트(320), 그리고 실린더로 구성된다. 피스톤(310)은 압축공기에 의해 구동되는 특징이 있으며, 피스톤샤프트(320)는 피스톤에 결합되어 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행한 방향으로 이동하는 특징을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
청구항 6에 명시된 밸브구동부의 구성요소(피스톤, 피스톤샤프트, 실린더)와 각 구성요소의 구동 및 이동 특성을 기술함.