문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,히터에서 발생한 열이 외부로 전파되지 못하도록 냉각하는 냉각 시스템이 상기 히터의 외부에 설치되어구성되는것을특징으로 하는반도체 확산장비의 히터 냉각장치.
[청구항3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 공기 흐름 유도수단은 히터의 하단부 외주면에 설치되며 블로 폼프와 연결되는 2개의 공기 인입 포트를 갖는 환형의 매니폴드와, 상기 매니폴드의 내측에 위치하는 페디스탈에 일정등간격을 유지하여 형성되는 것으로써 매니폴드에서 분사되는 냉각용 공기가 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간으로 흐르도록 안내하는복수개의공기안내공구성되는것을특징으로 하는반도체 확산장비의 히터 냉각장치.
[청구항4]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 배기수단은 반응관의 균열용 튜브를 지지하는 푸셔의 재기 포트를 포함하여 이 배기 포트와 수평하게 연결되는 배기 포트를 갖는 배기관과, 상기 배기관에 연결되는 메인 배기 라인을 포함하며, 상기 메인 배기 라인을 통하여 배기되는 공기를 가속하기 위한 블로 펌프와 상기 블로 펌프의 메인 배기 라인 연결부의 후단에 형성된 벤튜리를 포함하여 보다 빠른공기의배기구성된것을특징으로 하는반도체 확산장비의 히터 냉각장치.
[청구항5]
제2항에 있어서,상기 냉각 시스템은 냉각수 인입 포트 및 인출 포트를 구비하여 히터의 외주면을 감싸도록 설치되는 냉각 라인과, 상기 냉각라인에 결합되어 있는복수개의냉각핀구성되는것을특징으로 하는반도체 확산장비의 히터 냉각장치.
5. 제2항에 있어서
상기 냉각 시스템은 냉각수 인입 포트 및 인출 포트를 구비하여 히터의 외주면을 감싸도록 설치되는 냉각 라인과, 상기 냉각라인에 결합되어 있는 복수개의 냉각핀으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 확산장비의 히터 냉각장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
공기 흐름 유도수단은 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 냉각용 공기를 어디로 흐르도록 안내하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation공기 흐름 유도수단의 구성 요소와 냉각 공기의 흐름 경로를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 공기 흐름 유도수단의 구성과 기능을 추출한다.
- 상기 공기 흐름 유도수단은 히터의 하단부 외주면에 설치되며 블로 폼프와 연결되는 2개의 공기 인입 포트를 갖는 환형의 매니폴드와
- 상기 매니폴드의 내측에 위치하는 페디스탈에 일정등간격을 유지하여 형성되는 것으로써 매니폴드에서 분사되는 냉각용 공기가 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간으로 흐르도록 안내하는복수개의공기안내공구
-
3근거 선택
evidence_selection구성 요소인 '환형의 매니폴드'와 '복수개의 공기 안내공구', 그리고 흐름 경로인 '프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간'을 선택한다.
- 환형의 매니폴드
- 복수개의공기안내공구
- 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간
-
4논리 통합
logical_integration유도수단은 매니폴드와 공기 안내공구로 구성되며, 안내공구는 공기를 특정 공간으로 흐르게 유도한다.
- 환형의 매니폴드와
- 복수개의공기안내공구
- 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간으로 흐르도록 안내하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation공기 흐름 유도수단은 환형의 매니폴드와 복수개의 공기 안내공구로 구성되며, 냉각용 공기를 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간으로 흐르도록 안내한다.
- 환형의 매니폴드와
- 복수개의공기안내공구
- 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간으로 흐르도록 안내하는
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 공기 흐름 유도수단은 히터의 하단부 외주면에 설치되며 블로 폼프와 연결되는 2개의 공기 인입 포트를 갖는 환형의 매니폴드와
- 상기 매니폴드의 내측에 위치하는 페디스탈에 일정등간격을 유지하여 형성되는 것으로써 매니폴드에서 분사되는 냉각용 공기가 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간으로 흐르도록 안내하는복수개의공기안내공구
- 환형의 매니폴드
- 복수개의공기안내공구
- 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간
- 환형의 매니폴드와
- 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간으로 흐르도록 안내하는
최종 답변 (final_answer)
공기 흐름 유도수단은 2개의 공기 인입 포트를 갖는 환형의 매니폴드와 복수개의 공기 안내공구로 구성된다. 이 장치는 매니폴드에서 분사되는 냉각용 공기가 프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이의 공간으로 흐르도록 안내하는 역할을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
공기 흐름 유도수단의 물리적 구성(매니폴드, 공기 안내공구)과 그에 따른 공기 흐름의 목적지(프로세스 튜브와 균열용 튜브 사이 공간)를 정의함.