문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 기판, 서셉터, 리프트핀, 마스크 및 가이드가 외부와 차단되도록 하기 위한챔버를추가구비하는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
제 1 항에 있어서,상기 기판, 서셉터, 리프트핀, 섀도우 프레임 및 가이드가 외부와 차단되도록 하기 위한챔버더구비하는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 챔버는 상부의 소정부분에 경사면을 가지도록 절결되는 것을특징으로하는특징으로 하는화학기상 증착장비.
제 2 항에 있어서,상기 챔버는 상부의 소정부분에 경사면을 가지도록 경사진 것을특징으로하는특징으로 하는화학기상 증착장비.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 가이드는 110°내지 120。의 각을 지닌 "v"자 형태로 상기 챔버 상부의 경사면에 고정되도록형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
제 1 항에 있어서,상기 가이드는 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태로 상기 챔버 상부의 경사면에 고정되도록형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
[청구항5]
제 4 항에 있어서,상기 가이드의 장축길이는 상기 챔버 상부의 경사면의 장축길이와 2.9:1의비율형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
제 4 항에 있어서,상기 가이드의 장축길이는 상기 챔버 상부의 경사면의 장축길이와 2.9:1의비율형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
[청구항6]
제 4 항에 있어서,상기 가이드는 상기 챔버 상부의 경사면의 안쪽면과 4mm정도의이격거리형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
제 4 항에 있어서,상기 가이드는 상기 챔버 상부의 경사면의 안쪽면과 4mm정도의이격거리형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
[청구항7]
제 4 항에 있어서,상기 가이드의 안쪽면은 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지하기 위해양극처리되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
제 4 항에 있어서,상기 가이드의 안쪽면은 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지하기 위해양극처리되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
[청구항8]
제 1 항에 있어서,상기 섀도우 프레임은 상기 기판의 가장자리부근을 기준으로 4방향으로 3mm의 공간을 덮도록상기챔버상부의경사면의하단형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
제 1 항에 있어서,상기 마스크는 상기 기판의 가장자리부근을 기준으로 4방향 3mm의 공간을 덮도록상기챔버상부의경사면의하단형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상 증착장비에서 가이드의 구체적인 형상과 고정되는 위치는 무엇이며, 가이드 안쪽면의 처리 방식과 그 목적은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation가이드의 형상, 고정 위치, 안쪽면 처리 방식 및 목적을 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 4번과 7번에서 가이드의 형상, 고정 위치, 처리 방식, 목적에 관한 정보를 추출한다.
- 가이드는 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태로 상기 챔버 상부의 경사면에 고정되도록형성
- 가이드의 안쪽면은 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지하기 위해양극처리
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 네 가지 요소(형상, 위치, 처리, 목적)에 해당하는 문구를 선별한다.
- 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태
- 챔버 상부의 경사면에 고정
- 양극처리
- 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지
-
4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 가이드의 물리적 특성과 기능적 처리를 연결한다.
- 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태
- 챔버 상부의 경사면에 고정
- 양극처리되는것을특징으로 하는
- 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지하기 위해
-
5결론 도출
conclusion_formulation가이드는 'v'자 형태이며 챔버 상부 경사면에 고정되고, 안쪽면은 아킹 방지를 위해 양극처리된다는 결론을 도출한다.
- 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태로 상기 챔버 상부의 경사면에 고정
- 가이드의 안쪽면은 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지하기 위해양극처리
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 완성된 문장 형태로 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 가이드는 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태로 상기 챔버 상부의 경사면에 고정되도록형성
- 가이드의 안쪽면은 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지하기 위해양극처리
- 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태
- 챔버 상부의 경사면에 고정
- 양극처리
- 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지
- 양극처리되는것을특징으로 하는
- 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지하기 위해
- 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태로 상기 챔버 상부의 경사면에 고정
최종 답변 (final_answer)
가이드는 110°내지 120°의 각을 지닌 "v"자 형태이며, 챔버 상부의 경사면에 고정된다. 또한, 가이드의 안쪽면은 플라즈마 방전에 의한 아킹을 방지하기 위해 양극처리된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가이드의 기하학적 형상(v자형), 설치 위치(챔버 상부 경사면), 표면 처리(양극처리) 및 그 기능적 목적(아킹 방지)을 정의함.