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절연성 타겟 재료, 절연성 타겟 재료의 제조 방법, 절연성복합 산화물막 및 디바이스

uuid
9a411b9a-d671-5bb1-a078-33476bd1034f
출원번호
1020060082240
출원연도
2006
IPC
C04B
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제1항에 있어서,상기b 원소가 zr 및 ti이고, 상기 c 원소인절연성 타겟 재료. 제1항에 있어서,상기b 원소가 zr 및 ti이고, 상기 c 원소인절연성 타겟 재료. [청구항3] 제2항에 있어서,의 범위로 nb를포함하는절연성 타겟 재료. 제2항에 있어서,의 범위로 nb를포함하는절연성 타겟 재료. [청구항4] 제1항에 있어서,추가로 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는,절연성 타겟 재료. 제1항에 있어서,추가로 상기 a 원소로서 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는,절연성 타겟 재료.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
절연성 타겟 재료의 b 원소 구성과 추가로 포함될 수 있는 a 원소의 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    절연성 타겟 재료의 b 원소 구성과 추가 a 원소의 함량 조건을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 2에서 b 원소가 zr 및 ti임을 확인하고, 청구항 4에서 a 원소에 대한 조건을 추출한다.

    • 상기b 원소가 zr 및 ti이고
    • 상기 a 원소로서 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는
  3. 3근거 선택evidence_selection

    b 원소의 종류(zr, ti)와 a 원소의 함량 및 종류(0.5 몰% 이상 si 또는 ge)를 핵심 근거로 선택한다.

    • 상기b 원소가 zr 및 ti이고
    • 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는
  4. 4논리 통합logical_integration

    b 원소는 zr과 ti로 구성되며, a 원소는 si 또는 ge를 0.5 몰% 이상 포함한다는 관계를 결합한다.

    • 상기b 원소가 zr 및 ti이고
    • 상기 a 원소로서 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    b 원소는 zr 및 ti이며, a 원소는 0.5 몰% 이상의 si 또는 ge 중 하나 이상을 포함하는 조건임을 도출한다.

    • 상기b 원소가 zr 및 ti이고
    • 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

    • 상기b 원소가 zr 및 ti이고
    • 상기 a 원소로서 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는
근거 (evidence)
  • 상기b 원소가 zr 및 ti이고
  • 상기 a 원소로서 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는
  • 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상포함하는
최종 답변 (final_answer)
절연성 타겟 재료의 b 원소는 zr 및 ti로 구성되며, a 원소는 0.5 몰% 이상의 si 및 ge 중 하나 이상을 추가로 포함한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
절연성 타겟 재료의 특정 원소(b) 구성과 특정 원소(a)의 첨가 조건(함량 및 종류)을 정의함.