문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 금속 멤브레인은 평판 모양으로 이루어지고,상기 멤브레인 타입 히터는 복수가 상기 기화실 내부의 상기 입구와 상기 출구 사이에차례배치되는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 복수의 구멍 중에서 크기가 가장 큰 구멍들은 상기 금속 멤브레인의 외곽에 배치되고, 상기 복수의 구멍 중에서 가장 작은 구멍들은상기금속멤브레인의중앙배치되는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치.
[청구항5]
제 1 항에 있어서,상기 금속 멤브레인은 나선형으로 말린 모양으로 이루어지고,상기 멤브레인 타입 히터는 상기 복수의 구멍이상기기화용기의내면배치되는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치.
[청구항6]
제 5 항에 있어서,상기 멤브레인 타입 히터를 지지하기 위해 상기 기화실에 설치되는나선형모양의히터지지부재더포함하는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치.
[청구항7]
제 1 항에 있어서,상기 기화 용기는, 상기 멤브레인 타입 히터가 배치되는 본체부, 상기 입구와 상기 본체부 사이에 배치되고 상기 입구에서 상기 본체부 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 증가하는 확장부, 상기 본체부와 상기 출구 사이에 배치되고 상기 본체부에서 상기 출구 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 감소하는 축소부를포함하는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치.
[청구항8]
제 1 항에 있어서,상기 액체 소스의 기화를 촉진하기 위해 상기 분사 노즐에 설치되어 상기 분사 노즐을 통과하는 상기 액체 소스에 초음파를 인가하는초음파발진기더포함하는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 공정용 기화장치에서 기화 용기는 어떠한 부분들로 구성되며, 각 부분의 폭은 입구와 출구 방향에 따라 어떻게 변화하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기화 용기의 구성 요소와 각 구성 요소의 폭 변화 특성을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 기화 용기의 구성 요소인 본체부, 확장부, 축소부를 추출한다.
- 상기 기화 용기는, 상기 멤브레인 타입 히터가 배치되는 본체부, 상기 입구와 상기 본체부 사이에 배치되고 상기 입구에서 상기 본체부 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 증가하는 확장부, 상기 본체부와 상기 출구 사이에 배치되고 상기 본체부에서 상기 출구 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 감소하는 축소부를포함하는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치
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3근거 선택
evidence_selection확장부의 폭 변화와 축소부의 폭 변화에 관한 구체적인 문구를 선택한다.
- 상기 입구에서 상기 본체부 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 증가하는 확장부
- 상기 본체부에서 상기 출구 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 감소하는 축소부
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4논리 통합
logical_integration기화 용기는 본체부, 확장부, 축소부로 구성되며, 확장부는 입구에서 본체부로 갈수록 폭이 증가하고, 축소부는 본체부에서 출구로 갈수록 폭이 감소함을 연결한다.
- 상기 기화 용기는, 상기 멤브레인 타입 히터가 배치되는 본체부, 상기 입구와 상기 본체부 사이에 배치되고 상기 입구에서 상기 본체부 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 증가하는 확장부, 상기 본체부와 상기 출구 사이에 배치되고 상기 본체부에서 상기 출구 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 감소하는 축소부를포함하는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치
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5결론 도출
conclusion_formulation기화 용기의 구성과 폭의 변화 양상을 정리하여 답변을 구성한다.
- 상기 기화 용기는, 상기 멤브레인 타입 히터가 배치되는 본체부, 상기 입구와 상기 본체부 사이에 배치되고 상기 입구에서 상기 본체부 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 증가하는 확장부, 상기 본체부와 상기 출구 사이에 배치되고 상기 본체부에서 상기 출구 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 감소하는 축소부를포함하는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 구조화된 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 기화 용기는, 상기 멤브레인 타입 히터가 배치되는 본체부, 상기 입구와 상기 본체부 사이에 배치되고 상기 입구에서 상기 본체부 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 증가하는 확장부, 상기 본체부와 상기 출구 사이에 배치되고 상기 본체부에서 상기 출구 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 감소하는 축소부를포함하는것을특징으로 하는반도체 공정용 기화장치
- 상기 입구에서 상기 본체부 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 증가하는 확장부
- 상기 본체부에서 상기 출구 쪽으로 갈수록 그 폭이 점진적으로 감소하는 축소부
최종 답변 (final_answer)
기화 용기는 본체부, 확장부, 축소부로 구성된다. 각 부분의 폭 변화는 다음과 같다.
1. 확장부: 입구에서 본체부 쪽으로 갈수록 폭이 점진적으로 증가한다.
2. 축소부: 본체부에서 출구 쪽으로 갈수록 폭이 점진적으로 감소한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기화 용기는 본체부를 중심으로 입구 측에는 폭이 증가하는 확장부가, 출구 측에는 폭이 감소하는 축소부가 배치된 구조를 가진다.