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퀄츠 튜브 세정장치

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출원번호
1020010054341
출원연도
2001
IPC
C23C 16/44
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 가스 분사부가 상기 도아 상측에 위치한 상기 본체의 내측벽면에 설치되며, 상기 가스를 분사하기 위한노즐들갖는것을특징으로 하는퀄츠 튜브 세정장치. 제 1 항에 있어서,상기 가스 분사부가 상기 도아 상측에 위치한 상기 본체의 내측벽면에 설치되며, 상기 가스를 분사하기 위한노즐들갖는것을특징으로 하는퀄츠 튜브 세정장치. [청구항3] 제 2 항에 있어서,상기 가스 분사부가 상기 노즐들을 거쳐질소가스분사하는것을특징으로 하는퀄츠 튜브 세정장치. 제 2 항에 있어서,상기 가스 분사부가 상기 노즐들을 거쳐질소가스분사하는것을특징으로 하는퀄츠 튜브 세정장치. [청구항4] 제 1 항에 있어서,상기 가스 분사부와 연결된, 상기 본체의 외부의 가스 공급관에 상기 가스의 공급/중단을 하기 위한레귤레이터설치된것을특징으로 하는퀄츠 튜브 세정장치. 제 1 항에 있어서,상기 가스 분사부와 연결된, 상기 본체의 외부의 가스 공급관에 상기 가스의 공급/중단을 하기 위한레귤레이터설치된것을특징으로 하는퀄츠 튜브 세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
퀄츠 튜브 세정장치에서 가스 분사부는 어디에 설치되며, 가스의 공급 및 중단을 제어하기 위해 어떤 구성 요소가 사용되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    가스 분사부의 설치 위치와 가스 공급 제어 구성 요소를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 2에서 가스 분사부의 위치를, 청구항 4에서 가스 제어 구성 요소를 추출한다.

    • 상기 가스 분사부가 상기 도아 상측에 위치한 상기 본체의 내측벽면에 설치되며
    • 상기 가스 분사부와 연결된, 상기 본체의 외부의 가스 공급관에 상기 가스의 공급/중단을 하기 위한레귤레이터설치된것을
  3. 3근거 선택evidence_selection

    설치 위치에 관한 문구와 레귤레이터의 역할에 관한 문구를 선택한다.

    • 상기 가스 분사부가 상기 도아 상측에 위치한 상기 본체의 내측벽면에 설치되며
    • 상기 가스의 공급/중단을 하기 위한레귤레이터설치된것을
  4. 4논리 통합logical_integration

    가스 분사부는 본체의 내측벽면에 설치되며, 가스 공급관에 설치된 레귤레이터가 가스의 공급과 중단을 담당함을 연결한다.

    • 상기 가스 분사부가 상기 도아 상측에 위치한 상기 본체의 내측벽면에 설치되며
    • 상기 가스의 공급/중단을 하기 위한레귤레이터설치된것을
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    가스 분사부의 위치는 본체의 내측벽면이고, 제어 요소는 레귤레이터이다.

    • 상기 가스 분사부가 상기 도아 상측에 위치한 상기 본체의 내측벽면에 설치되며
    • 상기 가스의 공급/중단을 하기 위한레귤레이터설치된것을
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 가스 분사부가 상기 도아 상측에 위치한 상기 본체의 내측벽면에 설치되며
  • 상기 가스 분사부와 연결된, 상기 본체의 외부의 가스 공급관에 상기 가스의 공급/중단을 하기 위한레귤레이터설치된것을
  • 상기 가스의 공급/중단을 하기 위한레귤레이터설치된것을
최종 답변 (final_answer)
가스 분사부는 도아 상측에 위치한 본체의 내측벽면에 설치된다. 또한, 가스의 공급 및 중단을 제어하기 위해서는 가스 분사부와 연결된 본체 외부의 가스 공급관에 레귤레이터가 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 분사부의 물리적 설치 위치(본체 내측벽면)와 가스 유량 제어를 위한 구성 요소(레귤레이터)의 위치 및 기능을 정의함.