에칭액, 에칭 방법 및 프린트 배선판

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 트리아졸계 화합물은 벤조트리아졸 (bta), bta-cooh, 톨릴트리아졸 (tta) 에서 선택된1종류이상화합물인것을특징으로 하는에칭액. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 트리아졸계 화합물의 농도는 1000ppm 을 초과하고,이하인것을특징으로 하는에칭액. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 트리아졸계 화합물의 농도는 1200∼2500ppm인것을특징으로 하는에칭액. [청구항 5] 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,양성(amphoteric)계면활성제또는비이온성계면활성제의적어도일방함유한것을특징으로 하는에칭액. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 양성 계면 활성제는 카르복시베타인형 알킬베타인 (알킬디메틸아미노아세트산베타인, 알킬디메틸아세트산베타인, 알킬디메틸알폭시메틸베타인, 알킬디메틸카르복시메틸렌암모늄베타인, 알킬디메틸암모늄아세테이트), 지방산아미드프로필베타인 (지방산아미드프로필디메틸아미노아세트산베타인, 알킬아미드프로필베타인, 알킬로일아미드프로필디메틸글리신, 알카노일아미노프로필디메틸암모늄아세테이트, 야자유 지방산아미드프로필베타인, 야자유 지방산아미드프로필디메틸아미노아세트산베타인) 에서 선택된1종류이상인것을특징으로 하는에칭액. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 비이온성 계면 활성제는 알코올에톡실레이트 [ae] (폴리옥시에틸렌알킬에테르, 알킬폴리옥시에틸렌에테르), 폴리옥시에틸렌(폴리옥시에틸렌폴리옥시프로필렌), 폴리옥시프로필렌글리콜(폴리옥시에틸렌폴리옥시프로필렌글리콜에테르, 폴리프로필렌글리콜폴리에틸렌글리콜에테르, 폴리옥시알킬렌 블록 폴리머), 지방산폴리에틸렌글리콜(아실폴리에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜지방산에스테르, 지방산폴리옥시에틸렌글리콜에스테르, peg 지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌알카노에이트[알카노에이트], 알킬카르보닐옥시폴리옥시에틸렌), 지방산폴리옥시에틸렌소르비탄(아실폴리옥시에틸렌소르비탄, 폴리옥시에틸렌소르비탄「모노∼트리」, 알카노에이트[알카노에이트], 폴리옥시에틸렌헥시탄지방산에스테르, 소르비탄지방산에스테르폴리에틸렌글리콜에테르, poe 소르비탄[모노∼트리]지방산에스테르[폴리소르베이트] 에서 선택된1종류이상인것을특징으로 하는에칭액. [청구항 8] 제 5 항에 있어서,상기 양성 계면 활성제 또는 상기 비이온성 계면 활성제의 농도는 2000∼11000ppm인것을특징으로 하는에칭액. [청구항 9] 제 5 항에 있어서,상기 양성 계면 활성제 또는 상기 비이온성 계면 활성제의 농도는 4000∼9700ppm인것을특징으로 하는에칭액. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기불균일한 미소한 요철은 회로 패턴의 표면에서 기판 표면으로 향하여 불규칙하게 연장되는 다수의 볼록부, 상기 볼록부와 볼록부 사이에 존재하는 오목부로 이루어진 1차 패임부 (depression), 및 상기 1차 패임부를 구성하는 요철 사이에 존재하는 보다 작은 요철로 이루어진2차패임부로이루어진것을특징으로 하는프린트 배선판. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 1차 패임부의 피치는 5∼20㎛ 임과 함께,상기1차패임부의깊이인것을특징으로 하는프린트 배선판. [청구항 22] 제 20 항에 있어서,상기 2차 패임부의 깊이는 상기 1차 패임부의 깊이의 1/10∼1/2 인 것특징으로 하는프린트 배선판.